Deeltjes neerslag versus. deeltjes in de lucht

Transcriptie

1 Deeltjes neerslag versus deeltjes in de lucht Wat is de relatie tussen die twee? Cees van Duijn 1 Deeltjes neerslag versus deeltjes in de lucht Deeltjes, nou en? Hoeveel deeltjes mogen het zijn? Hoe komen deeltjes van A naar B? En hoe gaan ze van B naar C? Deeltjes in de lucht. Hoe meet ik ze? Deeltjes neerslag. Hoe meet ik dat? Wat heb ik aan zulke metingen? Cees van Duijn 2 1

2 Deeltjes, nou en? Deeltjes zijn er altijd Deeltjes kunnen heel groot zijn Deeltjes kunnen heel klein zijn Deeltjes kunnen heel vervelende gevolgen hebben Cees van Duijn 3 Hoeveel deeltjes mogen het zijn? Meer actuelere gevolgen van deeltjes Dragers van ziekteverwekkers Verstoringen in optische beelden Verstoppingen van kanaaltjes Uiteindelijk gaat het om de deeltjes die op kritische oppervlakken terecht komen Cees van Duijn 4 2

3 Hoeveel deeltjes mogen het zijn? Eisen aan hoeveelheden deeltjes Deeltjesmetingen op kritische oppervlakken zijn erg complex Verschillende soorten deeltjes hebben een verschillend gedrag (meetbaarheid, verplaatsing e.d.) Meeste processen zijn gericht op minimalisatie van verstoringen Het moet gewoon schoon zijn Wanneer is iets schoon? Schone oppervlakken bestaan niet (Cees van Duijn) Cees van Duijn 5 Hoe komen deeltjes van A naar B? Vanuit de lucht op een oppervlak: < 10 µm (Weinig kans ) > 30 µm (Weinig kans ) µm (Grote kans ) Van het ene oppervlak naar het andere oppervlak: Ongewenste luchtstromen ten gevolge van bewegingen. Warmtestromen (lichaamswarmte). Handelingen die worden uitgevoerd. Verstoring van de neerwaartse laminaire luchtstroom in de schone ruimte. Cees van Duijn 6 3

4 En hoe gaan ze van B naar C? Vanaf een oppervlak in de lucht < 10 µm Hoge plakkans > 30 µm Gemakkelijk weer weg µm Hangt af van oppervlak Van de ene plek naar de andere plek: Ongewenste luchtstromen ten gevolge van bewegingen. < 10 µm Hoge plakkans > 30 µm Gemakkelijk verplaatsbaar µm Beetje verplaatsbaar Cees van Duijn 7 En hoe gaan ze van B naar C? Cees van Duijn 8 4

5 Het meten van deeltjes Deeltjes in de lucht. Hoe meet ik ze? Deeltjes neerslag. Hoe meet ik dat? Wat heb ik aan zulke metingen? Cees van Duijn 9 In lucht Op oppervlakken Deeltjesverdelingen Hangt af van reinheid Hangt af van de soort vervuiling < 10 µm > 30 µm Log(N) Log(Ø) [µm] Cees van Duijn 10 5

6 Het meten van deeltjes Verdeling van deeltjes Meetapparatuur Echte oppervlakte metingen zijn te complex < 10 µm > 30 µm Aireborne counter Boulder counter Particle deposition counter Cees van Duijn 11 Deeltjes in de lucht. Hoe meet ik ze? Aanzuig trechter sensor Pompje 1,0 ft³ /min Uitlezing [ N particles / 1 ft 3 ] Cees van Duijn 12 6

7 Deeltjes in de lucht. Hoe meet ik ze? Aanzuig trechter sensor Pompje 1,0 ft³ /min Cees van Duijn 13 Deeltjes in de lucht. Hoe meet ik ze? Aanzuig trechter sensor Pompje 1,0 ft³ /min Cees van Duijn 14 7

8 Deeltjes in de lucht. Hoe meet ik ze? Aanzuig trechter sensor Pompje 1,0 ft³ /min Cees van Duijn 15 Deeltjes neerslag. Hoe meet ik dat? Uitlezing [ N particles / h. dm 2 ] Transparant medium Sensor Cees van Duijn 16 8

9 Deeltjes neerslag. Hoe meet ik dat? Transparant medium Uitlezing [ N particles / h. dm 2 ] Cees van Duijn 17 Wat heb ik aan zulke metingen? Voorbeeld 1: Combinatie metingen aan uitval door grotere deeltjes tijdens een productieproces Boulder counter Meerdere personen in ruimte [ N particles / 5 ft 3 ] Deeltjesneerslag metingen [ N particles / t. dm 2 ] Warmtestroom (t = 1 uur) Ingreep (t = enkele minuten) Cees van Duijn 18 9

10 Wat heb ik aan zulke metingen? Voorbeeld 1: Combinatie metingen aan uitval door grotere deeltjes tijdens een productieproces Boulder counter Toename deeltjes in de lucht gemeten tijdens ingrepen door meerdere personen Kwaliteit crossflow systeem blijkt uitstekend Deeltjesneerslag metingen Vervuiling ten gevolge van een warmtestroom richting de onderkant van het product Vervuiling tijdens een eenvoudige ingreep Cees van Duijn 19 Wat heb ik aan zulke metingen? Voorbeeld 2: Deeltjesneerslag metingen in huiskamer Nauwelijks neerslag als er geen activiteiten plaatsvinden Grote deeltjesneerslag verschillen meetbaar op locaties vlak bij elkaar Cees van Duijn 20 10

11 Wat heb ik aan zulke metingen? Wat is het doel van een cleanroom? Een omgeving scheppen waarin het eenvoudiger is om vervuiling van kritische oppervlakken te minimaliseren (Cees van Duijn) Wat is het principe? Vervuiling van deeltjes vanuit de lucht minimaliseren Transport van deeltjes naar kritische oppervlakken minimaliseren Cees van Duijn 21 Wat heb ik aan zulke metingen? Airborne metingen Zeer geschikt om de kwaliteit van de cleanroom te monitoren Minder geschikt om vervuiling door handelingen te beoordelen Deeltjesneerslag Zeer geschikt om op lokaal niveau vervuiling door handelingen te beoordelen Minder geschikt om de kwaliteit van een ruimte te beoordelen Cees van Duijn 22 11

12 Deeltjes neerslag versus deeltjes in de lucht Wat is de relatie tussen die twee? Cees van Duijn 23 12