Inhoud algemeen. Particle deposition monitoring Particle deposition monitoring. Regen Meter

Transcriptie

1 Particle deposition monitoring 206 SAC Nederland b.v. Nicolaas A.W.J. Thevissen Ing Inhoud algemeen ~ 40 sheets veel beelden Wat is het idee en hoe wordt het gedaan. Krijg vat op particle deposition door monitoring. Welke resultaten kan men verwachten. Hoe kun je de depositie meettoestelen inzetten. Welke systemen zijn er in gebruik. Welke conclusies kan men trekken. Antwoorden op Hoe vragen. 2 Particle deposition monitoring Hoeveelheid regen op zijn land valt. Omdat de juiste hoeveelheid van belang is voor zijn gewas.. Monitoring 2. Deposition 3. Particles Get the grip on de deposition on your product. 3 4 De boer kijkt x per dag naar de gevallen neerslag hoeveelheid Regen Meter Hij kan niet zien of dit in een stortbui is gevallen of langdurige miezer. Hij leest getal af. 5 6

2 7 Particle deposition meter Glas plaat of samenstel van glasplaten of andere detectie platen voor opvang deeltjes. Instrument voor het meten van de deeltjes verdeling in maat en aantal op de plaat. Definitie Maat, aantal, Oppervlakte en tijd Definitie inzake neerslag Definitie inzake fijnstof in de lucht Gewicht binnen volume tijdens meet moment Bij het indelen van fijnstof in soorten wordt er onderscheid gemaakt in grootte van de deeltjes: PM 0 : deeltjes met een aerodynamische diameter kleiner dan 0 micrometer. PM is hierbij de afkorting voor particulate matter; PM 2,5 : deeltjes met een aerodynamische diameter kleiner dan 2,5 micrometer; ( eenheid in µg/m³ ) 8 Wat meet een particle depositie monitor systeem? Witness plate Product at risk Het verschil in oppervlakte reinheid op een gedefinieerd meet oppervlak opgetreden tijdens het meetinterval. Dus NIET op het product zelf. 9 0 Wat ligt er nu op het product gegeven een bepaalde neerslag ( PDR ) Detection system obscurance Aantal neergeslagen deeltjes = mate van neerslag x oppervlak x tijd. 2

3 Hoe zien de beelden er uit. 500 % Equipment parameters Totaal oppervlak waarop gemeten wordt Kleinste deeltje welk nog gedetecteerd wordt Automatisch en snel oppervlak in cm² afmeting in µm systeem metingen per uur 4µm 3000 % PDM 50 0 plaat los 00 Apmon cassette 6 Cleapart 00 5 toestel 4 Omneo 5 20 plaat los 00 PFO,7 5 doosje los 00 2, Km 3 4 Kleinste deeltje capability Oppervlakte capability 5 6 Ruimte en middelen beslag Naar 00 cm² genormaliseerd 39 x 5 x 8cm 5Kg 2 x 2 x 22cm 6Kg 2cm diam. 0.5cm dik 6 gram 58X 7 8

4 Wat wordt er gemeten? De verandering van de oppervlakte reinheid opgetreden gedurende het meetinterval. Wat zijn de meet resultaten? Het aantal deeltjes op een witness plate 23 stuks De maat verdeling van die deeltjes tabel of grafiek Positie van elk deeltje op de plaat Als je grote deeltjes verliest dan zie je dat ook in het resultaat. B A 9 20 Neerslag voorbeeld op 4 plaatsen Neerslag voorbeeld op 4 plaatsen 00 Meten vanaf 0 µm 00 Meten vanaf 30 µm deeltes per vierkante decimeter per uur 0 PDR 00 PDR 500 deeltes per vierkante decimeter per uur 0 PDR 300 0, deeltjes groter dan in micrometer n>d 30 deeltjes groter dan in micrometer 0, De factor tijd PDR 24 uur meet 8 uur activiteit reken dan met 8 uur. depositie in 8 uur geen depositie in een clean room in rust

5 25 Surface 50 cm² Size > 4 µm Wat kan verwacht en gemeten worden? on disk Hour 2Hours 4Hours 8Hours ISO 4to ISO 6to ISO 8to Wat kun je met particle deposition meten doen? Verandering van oppervlakte reinheid meten Contaminatie belasting gedurende een proces vaststellen. Contaminatie resultaat van verschillende acties. Clean room achtergrond neerslag gedurende langere periode. Passief Event catching (~ 30 sec) Passief 26 Misère top 6 Wel of niet Main features passive witness system Monitoring several spots simultaneously by means of witness plates Fully transparent measurement chain, repeatable, dust collection on witness plate. Dust position available for SEM. Dust can be collected sterile. Dust is contained on the witness plate. Monitoring without measurement equipment PDM Real time monitoring, clean test, sticky pad 29