Deeltjes Depositie Klasse

Transcriptie

1 Deeltjes Depositie Klasse Als classificatie methode Contamination Control Oplossing Koos Agricola Ruud Geilleit DHV Contamination Control Alle maatregelen, die nodig zijn, om te borgen dat op een schoon product geen ongewenste contaminatie komt. Dode Contamination Control DCC Dode deeltjes contaminatie Moleculaire of filmvormige contaminatie DCC risico s vooral van economische aard Levende Contamination Control LCC Levende deeltjes LCC risico s van economische en menselijke aard 2 1

2 Contamination Control Voorkom contaminatie via de lucht Voorkom depositie van contaminatie Werkwijze Operator (discipline) Product (logistiek, blootstelling) Productiemiddelen (ontwerp en onderhoud) Cleanroom (ontwerp en onderhoud) Voorkom contact met vuile oppervlakken Reinigen cleanroom oppervlakken Reinigen productie middelen Reinigen cleanroom kleding e.d. 3 Meten Contaminatiebronnen Indien mogelijk in representatieve omgeving Meten zwevende deeltjes (CR klasse) Meten deeltjes depositie Valtijd deeltjes Bepaling reinheid contactoppervlakken Product Proces Installatie Opslag plek Verpakking 4 2

3 Analyse productieketen Productie keten van reinigen tot assemblage Drogen Tussenopslag Inpakken Transport Uitpakken Tussenopslag Bepaling reinheid Opslag plek Verpakking Deeltjes depositie 5 Direct Bepaling oppervlakte reinheid Particle surface monitor Dryden Qlll Particle Guard (Stereo) microscoop Blacklight (kwalitatief) Indirect Reinigings vloeistof door: Filtration + microscopische inspectie Vloeistof deeltjesteller Wiper + microscopische inspectie Tape lift off + microscopische inspectie 6 3

4 Deeltjesmeting op oppervlakken Automatisch met vision apparatuur werkt tot deeltjes > 5 µm op ideale vlakken levert defecten o.b.v. grijswaarden of kleurwaarden geen interpretatie van de beelden Resultaat afhankelijk van: belichting, resolutie, morfologie onderdeel en beeldbewerking 7 Oppervlakte Reinheid Deeltjes contaminatie Grootste afmeting deeltjes Kritische maat deeltjes Lengte Breedte Oppervlakte Reinheid Klasse ORK Aantal deeltjes N > d per cm 2 N d *d = constant Klasse is gebaseerd op d = 1 µm 8 4

5 aantal deeltjes groter dan/ cm Oppervlakte Reinheid Klasse Metalen plaat: 8 metingen automatisch 0,000.00, , ORK 00 ORK ORK ORK 1 Automatisch voor reiniging Automatisch na reiniging deeltjesgrootte (um) 9 Voorstel classificatie SPC Werkgroep ISO /cm ,1 5

6 Resultaten DHV cleanroom lab. Onderdeel A: kantoor B: niet gereinigd onderdeel C: niet gereinigde folie D: cleanroom WT E: B gereinigd per dm² > 50 µm > 0 µm per m² > 50 µm > 0 µm Meetresultaten DHV 00 /cm ,1 12 6

7 Indeling reinheidsgraad volgens monitoringgroep 1 reinheidsgraad * zeer vuil * vuil * na vóórreiniging * na C.R. reiniging * superschoon per dm² > 50 µm > 0 µm ,5 per m² > 50 µm > 0 µm Indeling reinheidsgraad 00 /cm ,1 14 7

8 Bepaling deeltjes depositie Particle fall out monitor Test glaasjes + microscopische analyse Wafers en automatische microscopische analyse Meting deeltjes op testoppervlak Particle guard 15 Deeltjesneerslag > µm In Cleanroom is neerslag afhankelijk van: menselijke handelingen / gedrag cleanroom kleding proces apparatuur / bewerkingen vervuiling binnengebrachte onderdelen schoonmaken van ruimte / proces apparatuur In Cleanroom is de deeltjesneerslag NIET afhankelijk van: luchttechnisch systeem type eindfilters in luchtbehandeling C.R. 16 8

9 aantal deeltjes groter dan /uurdm2 Deeltjes Depositie Klasse Deeltjes Depositie Klasse DDK DDK is toename dork per uur voor beschouwde deeltjes op testoppervlak DDK in aantal deeltjes > 1 µm per dm 2 (= 0 x n/cm 2 ) /uur dn/dt*d = constant Blootstelling schone producten/onderdelen etc. Contaminatie risico is: blootstellingstijd x productoppervlak x DDK DDK is goede maat voor resultaat Contamination Control oplossing 17 Deeltjes Depositie Klasse DDK 00 DDK 0 DDK DDK 1 tafel 1 tafel 2 tafel 3 tafel 4 tafel 5 enclosure 1 tafe 6 enclosure 2 enclosure 3 0 1,00,00 0,00 00,00 deeltjesgrootte (um) 18 9

10 Deeltjesneerslag volgens DHV Maximaal te verwachten deeltjesneerslag Omgeving per dm² / uur per m² / uur > 50 µm > 0 µm > 50 µm > 0 µm * productie ruimte / kantoor omgeving * C.R. ISO * C.R. ISO 6 en * C.R. ISO Metingen in R&D cleanroom ISO 6 cleanroom met ISO 5 mini-environments Stofzuigen Cleanroom jas, sloffen en mutsen DDK (bepaalt door deeltjes > 0 µm) Beter reinigen, meer nat afnemen DDK (bepaalt door deeltjes > 50 en 0 µm) Full cover cleanroom kleding DDK 300 (bepaalt door deeltjes > 20 en 50 µm) Meerdere keren per dag reinigen DDK 200 (bepaalt door deeltjes > en 20 µm) Zoeken naar lokale verbeteringen en luchthuishouding. Doel is DDK 0 voor deeltjes > µm. 20

11 aantal deeltjes groter dan /uurdm2 DDK R&D cleanroom DDK 00 DDK 0 DDK DDK 1 tafel 1 tafel 2 tafel 3 tafel 4 tafel 5 tafel 6 tafel 7 gemiddeld 0 1,00,00 0,00 00,00 deeltjesgrootte (um) 21 DDK metingen in mini enviroment Enclosure onder FFU DDK 150 (wegens deeltjes en 20 µm) Enclosure met FFU DDK <

12 Toepassing op schoonmaken Gewenste oppervlakte reinheid ORK 50 Oppervlak na reiniging ORK 5 DDK is 200 (= +ORK 2/uur) Werktijd 8 uur ORK na 8 uur = 21 Reinigingsfrequentie 45/16 = 3 dagen. 23 Contamination Control Reiniging Ruimte Equipment Kleding Discipline (aantal personen) Equipment (bewegende delen) Deeltjes depositie N/m 2 /hr ISO N/m 3 Cleanroom techniek 24 12

13 ISO TC 209 ISO : stofclassificatie in revisie ISO : stoftechn. monitoring in revisie ISO : meettechnieken ISO : ontwerp, bouw en running ISO : operationele situatie C.R. ISO : termen en definities ISO : stofarme units, biohazards ISO : classificatie AMC ISO : deeltjes op oppervlakken: in bewerking ISO : bio-contamination: algemeen ISO : interpretatie bio gegevens 25 Conclusie De ISO classificatie zegt vooral iets over technische infrastructuur (cleanroom construction) Deeltjes depositie classificatie is goede maat voor resultante Cleanroom, Reiniging en Discipline (operation) 26 13