SAC Nederland b.v. Nicolaas A.W.J. Thevissen Ing

Transcriptie

1 SAC Nederland b.v. Nicolaas A.W.J. Thevissen Ing 1

2 Inhoud algemeen ~ 40 sheets veel beelden Wat is het idee en hoe wordt het gedaan. Vat op particle deposition door monitoring. Welke resultaten kan men verwachten. Hoe kun je depositie meettoestelen inzetten. Welke systemen zijn er in gebruik. Welke conclusies kan men trekken. Antwoorden op Hoe vragen. 2

3 Particle deposition monitoring 1. Monitoring 2. Deposition 3. Particles Get the grip on de deposition on your product. 3

4 Hoeveelheid regen op zijn land valt. Omdat de juiste hoeveelheid van belang is voor zijn gewas. 4

5 De boer kijkt 1x per dag naar de gevallen neerslag hoeveelheid Hij kan niet zien of dit in een stortbui is gevallen of langdurige miezer. Hij leest 1 getal af. Monitoring 5

6 Regen Meter 6

7 Particle deposition meter Glas plaat of samenstel van glasplaten of andere detectie platen voor opvang deeltjes. Instrument voor het meten van de deeltjes verdeling in maat en aantal op de plaat. 7

8 Definitie Maat, aantal, Definitie inzake neerslag Oppervlakte en tijd Definitie inzake fijnstof in de lucht Gewicht binnen volume Bij het indelen van fijnstof in soorten wordt er onderscheid gemaakt in grootte van de deeltjes: PM 10 : deeltjes met een aerodynamische diameter kleiner dan 10 micrometer. PM is hierbij de afkorting voor particulate matter; PM 2,5 : deeltjes met een aerodynamische diameter kleiner dan 2,5 micrometer; ( eenheid in µg/m³ ) tijdens meet moment 8

9 Wat meet een particle depositie monitor systeem? Het verschil in oppervlakte reinheid op een gedefinieerd meet oppervlak opgetreden tijdens het meetinterval. Dus NIET op het product zelf. 9

10 Witness plate Product at risk 10

11 Wat ligt er nu op het product gegeven een bepaalde neerslag ( PDR ) Aantal neergeslagen deeltjes = mate van neerslag x oppervlak x tijd. 11

12 Detectie door licht afscherming 12

13 Hoe zien de beelden er uit. 500 % 3000 % 2,1 Km 14µm 13

14 Equipment parameters Totaal oppervlak waarop gemeten wordt Kleinste deeltje welk nog gedetecteerd wordt Automatisch en snel oppervlak in cm² afmeting in µm systeem metingen per uur PDM 50 5 plaat los 120 Apmon cassette 6 Cleapart toestel 4 Omneo 5 20 plaat los 100 PFO 1,7 5 doosje los 100 PFO 1000 >5 5 toestel

15 oppervlak in cm² afmeting in µm PDM 50 5 Apmon Cleapart Omneo 5 20 PFO 1,7 5 PFO 1000 >5 5 15

16 oppervlak in cm² afmeting in µm PDM 50 5 Apmon Cleapart Omneo 5 20 PFO 1,7 5 PFO 1000 >5 5 16

17 oppervlak in cm² afmeting in µm PDM 50 5 Apmon Cleapart Omneo 5 20 PFO 1,7 5 PFO 1000 >5 5 17

18 oppervlak in cm² afmeting in µm PDM 50 5 Apmon Cleapart Omneo 5 20 PFO 1,7 5 PFO 1000 >5 5 18

19 oppervlak in cm² afmeting in µm PDM 50 5 Apmon Cleapart Omneo 5 20 PFO 1,7 5 PFO 1000 >5 5 19

20 oppervlak in cm² afmeting in µm PDM 50 5 Apmon Cleapart Omneo 5 20 PFO 1,7 5 PFO 1000 >5 5 20

21 oppervlak in cm² afmeting in µm PDM 50 5 Apmon Cleapart Omneo 5 20 PFO 1,7 5 PFO 1000 >5 5 21

22 oppervlak in cm² afmeting in µm PDM 50 5 Apmon Cleapart Omneo 5 20 PFO 1,7 5 PFO 1000 >5 5 22

23 Afmeting en gewicht 23

24 Oppervlakte capability 24

25 Ruimte en middelen beslag 39 x 15 x 8cm 5Kg 21 x 21 x 22cm 6Kg 12cm diam. 0.5cm dik 116 gram 25

26 Naar 100 cm² genormaliseerd 58X 26

27 Wat wordt er gemeten? De verandering van de oppervlakte reinheid opgetreden gedurende het meetinterval. Als je grote deeltjes verliest dan zie je dat ook in het resultaat. 27

28 Wat zijn de meet resultaten? Het aantal deeltjes op een witness plate De maat verdeling van die deeltjes Positie van elk deeltje op de plaat 2113 stuks tabel of grafiek B A 28

29 Neerslag voorbeeld op 4 plaatsen 100 Meten vanaf 10 µm 10 1 deeltes per vierkante decimeter per uur PDR 100 PDR 500 0,1 deeltjes groter dan in micrometer

30 Neerslag voorbeeld op 4 plaatsen 100 Meten vanaf 30 µm deeltes per vierkante decimeter per uur 10 1 PDR 300 0,1 n>d 30 deeltjes groter dan in micrometer

31 De factor tijd 31

32 PDR 24 uur meet 8 uur activiteit reken dan met 8 uur. depositie in 8 uur geen depositie in een clean room in rust. 32

33 Wat kan verwacht en gemeten worden? Surface 50 cm² Size > 14 µm on disk 1Hour 2Hours 4Hours 8Hours ISO 4to ISO 6to ISO 8to

34 Wat kun je met particle deposition meten doen? Verandering van oppervlakte reinheid meten Contaminatie belasting gedurende een proces vaststellen. Contaminatie resultaat van verschillende acties. Clean room achtergrond neerslag gedurende langere periode. Passief Event catching (~ 30 sec) 34

35 Misère top 6 35

36 Wel of niet vraagstuk 36

37 Lijstje uit specificatie van een passief systeem Monitoring several spots simultaneously by means of witness plates Fully transparent measurement chain, repeatable, dust collection on witness plate. Dust position available for SEM. Dust can be collected sterile. Dust is contained on the witness plate. Monitoring without measurement equipment Real time monitoring, clean test, sticky pad 37

38 38

39 Wat zijn sticky pads? 39

40 Three foil system 40

41 Sticky pad on 21µm system 30µm particle 41

42 8 µm deeltje detectie 0,5mm 42

43 Verwijdering van 25 micron particles van een glas oppervlak Op het glas Op sticky pad Remainder on glass

44 smallest part surface Omneo 21 micron 5 cm² PDM 5 micron 50 cm² U V 44

45 UV beeld Permanent fine liner double Office dust Contrast beeld 45

46 46

47 Status 2017 Keuze uit meet toestellen Goed te reinigen witness plate Parallel in tijd op meerdere plekken passief meten is mogelijk Parallel in tijd op meerdere plekken meten actief is mogelijk Zeer snel neerslag meten is mogelijk Herhaalbare metingen Microscoop verificatie is mogelijk, transparante meet keten Afnemen voor SEM is mogelijk Bio content check is mogelijk Disk swapping tussen meetmachines is mogelijk 47

48 conclusie Het direct meten van oppervlakte reinheid is nog moeilijk. Grip krijgen op oppervlakte reinheid middels PDR metingen op witness plates is een goed pad om te volgen UV is nog altijd een goed alternatief als de verhouding tussen UV responsive en non responsive bekend en vast is.

49 Nicolaas A.W.J. Thevissen Ing SAC Nederland b.v. Just a particle from space entering our world. 49