Tussen technische innovatie en markt

Transcriptie

1 Analyse Getergd ASML grist teugels uit handen Cymer Nieuws TMC zet volgende stap met nieuwe eigenaar 9 Maandelijks magazine voor de hightechindustrie // 9 november - 14 december 2012 // Gezondheidszorg Tussen technische innovatie en markt

2 Learn, create and make it work! Wij zijn op zoek naar Top Talenten! CIMSOLUTIONS Weekend in Keulen 2011 en bieden Top Beloning voor Top Talenten! CIMSOLUTIONS is een TOP ICT-Dienstverlener op het gebied van administratieve en industriële automatisering, opererend vanuit onze vestigingen in Amsterdam, Best, Deventer, Groningen, Rotterdam, Vianen en Dhaka (Bangladesh). We zijn ISO gecertificeerd en dit jaar door CRF voor de 6e keer als Top Employer ICT beoordeeld. Onze klanten zijn internationale bedrijven en overheden waar technologie en innovatie hoog in het vaandel staan. Onze uitdaging is om onze klanten succesvol te laten zijn in hun projecten en doelstellingen. Daarvoor leveren wij als onafhankelijke ICT dienstverlener met circa 250 professionals hoogwaardige expertise in de volle breedte van het ICT werkveld, al sinds Bezoek voor meer informatie onze website Wij zoeken, voor zowel technische als administratieve en business automatisering, ervaren én ambitieuze professionals met een voorliefde voor ICT, die klantgericht zijn, zowel zelfstandig als in teamverband goed functioneren, communicatief en sociaal vaardig zijn en uitblinken in kwaliteit en professionaliteit voor actuele functies als: - C#/C++/Java/Embedded Software Engineer - Software Architect/Technisch Ontwerper - Functioneel/Applicatie/Systeem Beheerder - Projectleider/Projectmanager - Tester/Testcoördinator/Testmanager - Informatie Analist/Functioneel Ontwerper - ICT Starter/Young Professional/Trainee - Embedded Linux/Android/Java/C++ Software Engineer Voor meer actuele en uitdagende vacatures en vereiste kennis en ervaring, zie Ook gekwalificeerde ZZP ers/zelfstandigen/freelancers mogen reageren. Wij hebben continu uitdagende projecten. Wij bieden: - de kans om mee te groeien in een dynamische en gezonde onderneming; - zelfontplooiing door gevarieerd werk en opleiding; - uitdagende en state-of-the-art en hightech projecten; - uitstekende arbeidsvoorwaarden, zoals een auto en onkostenvergoeding; - collegiale, informele en professionele werksfeer bij een Top Employer ICT. Interesse? Als je geïnteresseerd bent in een functie bij CIMSOLUTIONS, stuur dan je sollicitatiebrief met cv naar CIMSOLUTIONS, Postbus 183, 4130 ED Vianen of mail naar hrm@cimsolutions.nl. Voor meer informatie kun je onze website bezoeken bij en/of bellen met Jos Peek of Djurre van Gulik, telefoon tot uur. Vianen Best Deventer Rotterdam Amsterdam Groningen Dhaka CIMSOLUTIONS B.V. Havenweg 24, 4131 NM Vianen Postbus 183, 4130 ED Vianen The Netherlands Phone: (+31) Fax: (+31) cimsolutions@cimsolutions.nl Internet: _cim_182x263.indd :02

3 Opinie Redactioneel Nieke Roos is hoofdredacteur van Bits&Chips. Indianenverhaal Het gaat niet goed met ST-Ericsson, al een hele tijd niet. Drie CEO s in vier jaar zijn er tot nu toe niet in geslaagd om de boel op de rails te krijgen: de joint venture blijft de slechte rapportcijfers en ontslagrondes aaneenrijgen. En het einde van de malaise lijkt niet in zicht. De overgebleven werknemers zijn niet te benijden. Het begin was al niet echt lekker. In juni 2008 bundelden STMicroelectronics en NXP hun mobiele en draadloze krachten in ST-NXP Wireless. De navelstreng was amper doorgeknipt of de Frans-Italiaanse papa zorgde voor een ruwe verstoring van het prille gezinsgeluk door ervandoor te gaan met zijn nieuwe Zweedse vlam Ericsson. De Nederlandse mama had het nakijken, met een oprotpremie van 92 miljoen dollar, dat wel. Onze conclusie in Bits&Chips: NXP is gewipt en Frans van Houten, toenmalig CEO, genaaid, voor een fooi. Of het lag aan deze valse start weet ik niet, maar de eerste stapjes van de joint venture waren allerminst voortvarend: de inmiddels tot ST-Ericsson omgedoopte spruit belandde gelijk fors in de min. Daarna is alleen maar bergafwaarts gegaan, met gestaag dalende inkomsten en het ene dieprode kwartaal na het andere. De voorbije vier jaar is de omzet zowat gehalveerd en als we de bedragen onder de streep van begin 2009 tot en met het afgelopen derde kwartaal bij elkaar optellen, geeft dat een formidabel totaal van maar liefst -2,6 miljard dollar. Zo bezien, was het buitenspel van NXP geen naaistreek maar eerder een grote gunst. In een poging weer winstgevend te worden, snijdt ST-Ericsson diep in eigen vlees. Koud begonnen, schrapte het in november 2008 al vijfhonderd van de 7500 arbeidsplaatsen. Een half jaar later verdwenen er twaalfhonderd banen, in december 2009 zeshonderd en in juni 2010 weer vijfhonderd. Als klap op de vuurpijl sneuvelden er afgelopen april nog eens zeventienhonderd posities. Volgens deze getallen is in vier jaar tijd dus niet alleen de omzet gehalveerd maar ook het personeelsbestand. Officieel heet het dat ST-Ericsson zijn wereldwijde activiteiten concentreert in een kleiner aantal sites omdat de huidige organisatiestructuur te complex en te duur is. In normaal Nederlands heeft de joint venture gewoon een te grote broek aan. Al sinds de geboorte, getuige de eerste herstructurering na amper een paar maanden. En die broek gaat niet beter zitten zolang het niet lukt om het echte probleem aan te pakken: het bedrijf krijgt maar geen voet aan de grond in smartphones en tablets. De business in ouderwetse producten kalft af, maar in de nieuwe markten heeft het nog nauwelijks ingang gevonden. Tot aan dit jaar bleef de Benelux buiten schot. In april was de gewezen ST-site in Zaventem echter het haasje: een streep door de GPS-ontwikkeling en zo n tachtig mensen op straat. Twee weken geleden was het voormalige NXP-clubje in Nijmegen aan de beurt. ST-Ericsson zet een punt achter de WLan-activiteiten daar en de overige bezigheden hebben te weinig kritische massa om Al vanaf het begin heeft ST-Ericsson een te grote broek aan de vestiging overeind te houden, zodat de 56 medewerkers op zoek kunnen naar een andere baan. Misschien dat ze aan de slag kunnen bij het Eindhovense kantoor, ook ex-nxp, waar bijna veertig mensen werken aan vectorprocessoren voor de basisband. Het ST-Ericsson-verhaal doet me sterk denken aan de detectiveroman Tien kleine indiaantjes van Agatha Christie, waarin de tien hoofdpersonen een voor een het loodje leggen tot er niemand meer over is. In dit geval zijn het er drie. Roodhuid Zaventem is het eerste slachtoffer. Het indiaantje Nijmegen lijkt de dans te ontspringen, maar gaat uiteindelijk toch voor de (strijd)bijl. Als laatste der Mohikanen blijft Eindhoven over. Maar voor hoe lang nog? Het is niet te hopen dat dit verhaal afloopt zoals het kinderversje waarop het boek is gebaseerd: and then there were none. 9 3

4 2013 Organisers Mark your calendar 24 and 25 April 2013 Klokgebouw Eindhoven, NL Participate as a sponsor or exhibitor? Interested in participating as a sponsor or exhibitor? Please contact events@techwatch.nl or go to High-Tech Systems is the result of a collaboration between Brainport Industries, Dutch Society for Precision Engineering, Enterprise Europe Network, Syntens Innovatiecentrum, FMTC and Techwatch, publisher of Bits&Chips and Mechatronica&Machinebouw High-Tech Systems 2013 is supported by #HT S13 Exhibitors AAE Alten Mechatronics ASML Ceratec Technical Ceramics Controllab Products DEMCON advanced mechatronics Dutch Precision Technology Festo Greentech Engineering HEIDENHAIN KMWE Precisie Eindhoven Nijdra Special Products Nobleo Technology NTS-Group PM-Bearings TMC Group Yacht M 24 and 25 April 2013 Klokgebouw, Eindhoven MODEL DRIVEN DEVELOPMENT DAYS 24 and 25 April 2013 Klokgebouw, Eindhoven 12 June Congrescentrum Brabanthallen, s-hertogenbosch Bits&Chips 2013 EMBEDDED SYSTEMS 7 November Congrescentrum Brabanthallen, s-hertogenbosch

5 Inhoud Deze keer in Bits&Chips Analyse Het verstandshuwelijk tussen ASML en Cymer ASML telt 1,95 miljard euro neer voor lichtbronspecialist Cymer. Het hoe en waarom van de overname. Nieuws Gilde laat TMC versneld groeien Onder de vleugels van privé-investeerder Gilde wil TMC flinke stappen maken, zowel nationaal als internationaal. 16 Europese én Nederlandse 17 Het grote 18 hightech omhelzen elkaar samenstellen Vechten voor elke milliwatt Nieuws 9 In 140 woorden 10 Overzicht 12 Het verstandshuwelijk tussen ASML en Cymer 14 Gilde laat TMC versneld groeien 16 Europese én Nederlandse hightech omhelzen elkaar 18 Vechten voor elke milliwatt Opinie 3 Indianenverhaal Nieke Roos 15 De 2.0-antenne Derk-Jan de Grood 17 Het grote samenstellen Robert Hendriksen 21 De headhunter Anton van Rossum 59 Studiehorken en klapdozen Joost Backus Achtergrond 23 Dect als bouwsteen voor internet der dingen En verder 60 Trainingen 61 Events 64 Wegwijzer 67 Colofon 9 5

6 Accuraat! Gebruik jij je gezond verstand? Heb jij de juiste instelling voor het ontwikkelen van mensgerichte software? Bij alle software oplossingen die wij binnen de vertical Healthcare van ICT Automatisering ontwikkelen, staat de mens centraal. Dit betekent extra aandacht voor veiligheid, nauwkeurigheid en betrouwbaarheid van software in medische systemen. Gaat jouw hart sneller kloppen van complexe software en heb jij passie voor techniek? Kijk op werkenbijict.nl voor de mogelijkheden of neem contact op met Tjitske Hartman, telefoon of

7 Thema Gezondheidszorg Achtergrond Op weg naar bestralen in de MRI-scanner Het UMC Utrecht, Philips en Elekta werken aan een systeem dat een bestraler combineert met een MRI-scanner. In bedrijf Het oog als spiegel van de bloedsuiker De sensor van Noviosense bepaalt de glucosespiegel aan de hand van het traanvocht en maakt daarmee de vervelende bloedprikprocedure overbodig. Marktsucces engineeren in de 28 gezondheidszorg het kan 32 Reguleren om 52 Vergrijzende bevolking te innoveren lonkt naar robots Achtergrond 28 Marktsucces engineeren in de gezondheidszorg het kan 32 Reguleren om te innoveren 36 Op weg naar bestralen in de MRI-scanner 46 Twentse labchips dringen door in medische en veterinaire markt 52 Vergrijzende bevolking lonkt naar robots Opinie 35 Dokteren op het internet Peter de With 45 Chips voor een medische revolutie Rudy Lauwereins Tech-kiek 40 Pet/MRI In bedrijf 42 Noviosense Het oog als spiegel van de bloedsuiker 49 Cordian Slimme algoritmes houden oogje in het zeil 54 NYoyn Bezuinigingen in de zorg zie ik met vertrouwen tegemoet 9 7

8 3 juni 2014, TASS introduceert: ScanBrush een technologische doorbraak in de strijd tegen ziektes. Display toont actieve wifiverbinding Opgevangen speeksel geeft DNAsample Chip stuurt analyse naar beveiligde database Borstel identificeert individuele gebruikers Sensor analyseert DNAsample Join our future. Het vroegtijdig signaleren van een ziekte e is vaak ak de beste bestrijding ervan. Maar een tandenborstel die ziektes opspoort voordat de eerste symptomen waarneembaar zijn, kan dat? Bij TASS denken we van wel. Onze betrokken software engineers proberen elke dag technologische mogelijkheden te transformeren naar concrete toepassingen. Zo ontwikkelen we bij TASS samen met onze opdrachtgevers en partners innovatieve oplossingen voor de toekomst. Vanuit de ambitie om dát te realiseren waar anderen slechts over dromen. Meer weten over onze expertise en bijzondere projecten? Join our future op

9 Analyse In 140 woorden Innovatie Rutte II herstelt publiek-private balans Over topsectorbeleid gesproken: dat heeft de formatiebesprekingen tussen Mark Rutte en Diederik Samsom in grote lijnen overleefd. Het grootste verschil is dat er in fiscale en andere stimuleringsmaatregelen voor bedrijven wordt gesneden en de opbrengst wordt verdeeld over de schatkist, fundamenteel onderzoek (honderdvijftig miljoen euro) en onderzoek dat wordt gedaan in publiek-private samenwerkingsverbanden (Topconsortia Kennis en Innovatie, honderdtien miljoen euro). Nu is bezuinigen op innovatie natuurlijk zelden verstandig, maar voor de ombuigingen van de private naar de publieke sector is veel te zeggen. Terwijl het bedrijfsleven onder Rutte I meer geld voor en zeggenschap over onderzoek kreeg, moesten kennisinstellingen een aderlating van honderden miljoenen euro s doen. Dat gat wordt niet helemaal gedicht, maar de blijk van waardering voor hun rol in de Nederlandse kenniseconomie zal universiteiten en onderzoeksinstituten vast goed doen. PvG Dienstverlening (Eigen)belang in TMC In zijn column in het Financieele Dagblad reageert Willem Burgers op de mogelijke overname van TMC door Gilde (zie pagina 14). Volgens hem zou het bedrijf binnen drie à vijf jaar best wel eens in omvang kunnen verdubbelen als het kan uitbreiden naar Duitsland. Daarom denkt hij dat het meer waard is dan Gilde er nu voor overheeft en roept hij op om te zoeken naar de échte hoogste bieder. Hij gaat echter wel erg makkelijk voorbij aan de onafhankelijke waardebepaling die TMC heeft laten uitvoeren en die de geboden prijs als fair heeft bestempeld. Op basis daarvan heeft het bestuur van de dienstverlener zich achter het bod geschaard. Burgers is zelf bovendien allesbehalve onafhankelijk: zijn werkgever Add Value Fund bezit een belang van 5,6 procent in TMC. Een typisch gevalletje van eigenbelang dus, die column. NR Mobiel Nokia klapt met buik op water Begin 2011 vergeleek Nokia-CEO Stephen Elop de situatie van zijn bedrijf met die van een medewerker op een exploderend olieplatform: onder normale omstandigheden zou die nooit van grote hoogte in de koude zee springen, maar hij heeft geen keus. Aldus Elops verdediging om de eigen smart phoneplatforms aan de kant te schuiven ten gunste van Windows Phone. Ironisch, want Nokia was op dat moment Innovatie Alles is top in Nederland Het Rathenau-instituut is nooit een fan geweest van innovatiebeleid geschoeid op sleutelgebieden die focus en massa moeten creëren. Dat schaars onderzoeksgeld anders maar zou worden verdund tot een smaakloos soepje vond het geen overtuigend argument. Onderzoek wees namelijk uit dat geprivilegieerde vakgebieden helemaal niet beter gaan presteren door alle extra aandacht. Je zou daarom verwachten dat het Rathenau ook niet erg gecharmeerd is van de topsectoren, die toch eigenlijk hetzelfde zijn als de sleutelgebieden uit de tijd van het Innovatieplatform. Maar dat valt reuze mee, bleek eind oktober na verschijning van het rapport Coördinatie in de topsectoren. Want wat is het geval? Zo n 95 procent van het Nederlandse bedrijfsleven met een R&D-activiteit kan zich bij een van de negen topsectoren aansluiten. Meer dan genoeg om van een breed dekkend innovatiebeleid te spreken, vindt het Rathenau. PvG juist herstellende: het was wereldmarktleider in smartphones en had na jaren ontwikkelen niet een maar twee eigen platforms klaar, concludeert blogger Tomi Ahonen. Hij schat de kosten van dit memo tot nog toe op 11,9 miljard euro aan verloren inkomsten; de Symbian-toestellen hoefde spontaan niemand meer te hebben, Windows-telefoons worden mondjesmaat verkocht en tot overmaat van ramp verloor de consument het vertrouwen in de simpele mobieltjes van Nokia. Tijd voor een sprong in het diepe? PE Processoren AMD blijft liggen Rond de eeuwwisseling bracht AMD zijn aartsrivaal Intel een gevoelige klap toe door de weg te wijzen in 64 bit processoren. Intels eigen pogingen strandden terwijl AMD opstoomde in de markt en Goliath moest uiteindelijk knarsetandend de specificaties van David overnemen. Naar het nu laat aanzien, was het de laatste slag die AMD won. Het bedrijf moet na tegenvallende cijfers vijftien procent van zijn personeel naar huis sturen, nadat het vorig jaar al een tiende van het personeelsbestand had weggesnoeid. En, o schande, het neemt nu ook zijn toevlucht tot de Armarchitectuur als aanvulling op zijn X86-lijn. Heterogeniteit is het toverwoord voor de toekomst van de chipmaker als er nog een toekomst is om tegen Intel op te boksen. Op het engineeringstrijdveld heeft het de witte vlag gehesen. PE 9 9

10 Nieuws Overzicht Medisch Nederlandse bloeddrukmonitoring in Amerikaanse handen Het Amerikaanse Edwards Lifesciences heeft BMEye uit Amsterdam overgenomen voor 32,5 miljoen euro. Deze TNO-spinoff ontwikkelt apparatuur om via een vingerbandje bloeddruk, zuurstofverzadiging en andere cardiovasculaire gegevens te monitoren. Dat is complementair aan Edwards kathetergebaseerde (dus invasieve) aanbod. De Amerikanen willen de Nederlandse technologie integreren met hun eigen platform. PE /bmeye Multimediacocon helpt zieke kinderen De TUE, het Catharina Ziekenhuis, ontwerpbureau Vanberlo en het Delftse Webchair hebben een multimediastoel onthuld voor kankerpatiëntjes die in een steriele isolatieruimte moeten verblijven. De Escape is vormgegeven als een veilige cocon en biedt een tv, geluidsinstallatie, laptop, spelcomputer en webcam. Verlichting aan de buitenzijde geeft de ruimte sfeer. PE /cocon Elektronisch gestuurde pil gevalideerd Een binnen Philips ontwikkelde elektronische pil kan bij mensen op de juiste locatie in het maagdarmkanaal medicijnen vrijgeven, blijkt uit een experiment met gezonde proefpersonen. Hoewel niet heel opzienbarend vormen de uitkomsten een belangrijke stap in de verdere ontwikkeling. Die ligt vandaag de dag bij Philips-spin-off Medimetrics. PE /pil Verlichting 171 banen weg bij Philips Lighting in Eindhoven Philips zet een streep door 171 banen bij het hoofdkantoor van Lighting in Eindhoven. De inkrimping is het gevolg van het Accelerate!-programma. Ook de vestiging in Turnhout vreest slachtoffer te worden van de nieuwe bezuinigingen. Deze locatie verkeert al lange tijd in onzekerheid. PE /lighting Netwerken Opnieuw duizenden banen weg bij Alcatel-Lucent Alcatel-Lucent wil voor eind ,25 miljard euro besparen door wereldwijd 5500 arbeidsplaatsen te schrappen. Iets meer dan de helft betreft Europese banen, waarvan 290 in België. De plannen om in te krimpen waren in juli al bekend geworden; toen stond de teller echter nog op vijfduizend. PE /alcatel Draadloos Option zoekt vijf miljoen euro Option zegt voor het einde van het jaar vijf miljoen euro nodig te hebben om de recente winstgevendheid en groei vast te houden. De nieuwe focus op end-to-end-oplossingen vereist een grotere verkooporganisatie en grotere voorraden. De Leuvense draadloosspecialist onderzoekt diverse manieren om het geld op te halen. PE /option Ruimtevaart Galileo gaat eindelijk validatiefase in Onlangs zijn de derde en vierde satelliet gelanceerd voor het Galileo-navigatiesysteem. Hiermee kan de validatie beginnen plaatsbepaling vereist vier satellieten. Het duurt dan nog tot 2015 voordat een eerste versie operationeel is, terwijl de completering pas voor het einde van het decennium gepland staat. PE /galileo Zonnecellen Siemens zet zonnecellen in etalage Siemens trekt zich terug uit de PV-arena. Het Duitse concern zegt door lager dan verwachte groei en aanhoudende prijsdruk zijn doelstellingen daar niet te kunnen realiseren. De betreffende divisie voor thermische en fotovoltaïsche PV gaat in de verkoop. Siemens blijft wel actief in wind- en waterkrachtenergie. PvG /siemens Efficiëntie zonnecellen van zwart silicium verdubbeld Het Fraunhofer Heinrich- Hertz-Institut heeft de efficiëntie waarmee zwart silicium zonne-energie omzet in elektriciteit weten te verdubbelen door te spelen met de bandstructuur. Zwart silicium is normaal silicium met ingenestelde zwavelatomen en een nanotextuur. Deze combinatie zorgt ervoor dat het materiaal een aanzienlijk groter deel van het zonlichtspectrum absorbeert. PvG /zwartsilicium Beeldverwerking Microsoft zet plat beeld om in 3D Microsoft Research en de universiteit van Illinois hebben een betere methode getoond om diepte te schatten in 2Dbeelden. Hun aanpak werkt ook goed op beelden waarbij de camera stilstaat. Daarnaast is het algoritme bruikbaar voor foto s, hoewel de resultaten bij bewegende materiaal beter zijn. PE /microsoft Halfgeleiders Melexis ziet omzet en winst groeien Melexis heeft het derde kwartaal een omzet geboekt van 64,4 miljoen euro, dertien procent meer dan in dezelfde periode van vorig jaar. Onder de streep bleef er 12,3 miljoen over, zestien procent meer dan twaalf maanden geleden. Het vierde kwartaal verwacht de Ieperse De volledige artikelen zijn te vinden op gevolgd door het label bij het betreffende stuk. 10 9

11 specialist in automotivechips een lichte terugval. NR /melexis Elektronica Philips groeit over de hele linie Philips presenteerde onlangs optimistisch stemmende cijfers. Het draaide in het derde kwartaal 6,1 miljard euro omzet, vijf procent meer dan dezelfde periode vorig jaar. Het bedrijfsresultaat à 450 miljoen euro groeide van 6,8 naar 7,3 procent van de inkomsten en het nettoresultaat van 76 naar 170 miljoen euro. PvG /philips Barco ziet omzet en bestellingen stijgen Barco heeft de wind in de zeilen. Het derde kwartaal verdiende het bedrijf 285 miljoen euro, dertien procent meer dan twaalf maanden eerder. De afgelopen periode kwamen ook vijftien procent meer bestellingen binnen, voor in totaal 291 miljoen euro. Het orderboek komt daarmee op 503 miljoen euro. PE /barco Sensoren Meest geklikt in onze nieuwsbrief Delftse sensorstart-up stapt in het licht Sander Dorenbos promotieonderzoek naar ultragevoelige lichtsensoren heeft geleid tot de start-up Single Quantum. De TU Delft, NWO en Fom hebben een overeenkomst getekend die het IP en gebruik van onderzoeksfaciliteiten regelt. Single Quantum krijgt een starterslening van Fom, na eerder al een prototype te hebben ontwikkeld met een STW-valorisatiebeurs. PvG /singlequantum Mems-veteraan moet XSens op CE-kaart zetten XSens heeft Job Elders benoemd tot senior vicepresident strategische allianties. Zijn voornaamste focus is de uitbreiding naar de consumentenelektronicamarkt, waar de Enschedese sensorspecialist voet aan de grond wil krijgen met zijn motion-trackingsoftware. Behalve dat hij is toegetreden tot de raad van toezicht heeft Elders ook een aanzienlijk bedrag geïnvesteerd. NR /xsens Halfgeleidermachines Winst ASMI blijft achter bij omzetgroei Een stijgende omzet bij ASMI heeft zich niet vertaald in een evenredig hogere winst. De omzet van 409 miljoen euro in het derde kwartaal is respectievelijk negen en acht procent hoger dan een jaar en drie maanden geleden. De winst van vijf miljoen euro was echter lager. PvG /asmi Verkeer en vervoer Tomtom heeft last van slechte automotivemarkt Het derde kwartaal heeft Tomtom niet alleen minder omzet gebracht in losse navigatiekastjes, ook de inkomsten uit inbouwnavigatiesystemen en licenties zijn gedaald. Het bedrijf moet het van deze markten hebben om te overleven op de lange termijn. Alleen Business Solutions, gericht op grootschalige zakelijke gebruikers, deed het beter. PE /tomtom 1 Medisch Accelerate! kost 270 Philips-banen in Best Philips schrapt honderdveertig vaste banen bij de productie van medische systemen in Best, plus tien commerciële functies. Nog eens honderdtwintig tijdelijke medewerkers krijgen geen verlengd contract. De ontslagronde is onderdeel van het Accelerate!-programma, dat wereldwijd 6700 banen kost. In totaal heeft Philips nu drieduizend medewerkers in Best. PE /best 2 3 Halfgeleidermachines ASML grist teugels uit handen Cymer ASML telt 1,95 miljard euro neer voor lichtbronspecialist Cymer. De Veldhovenaren zeggen vertragingen te hebben ondervonden bij de ontwikkeling van de EUV-bron en wijten die voornamelijk aan het Amerikaanse bedrijf. Met de overname willen ze zeker stellen dat hun EUV-scanners in 2014 zeventig wafers per uur verwerken. PvG /cymer Innovatie Hightech is top-topsector Hightech Systemen en Materialen is qua productie, toegevoegde waarde en uitvoer de grootste topsector. Ruim 64 duizend HTSM-bedrijven produceren goederen ter waarde van 95 miljard euro, daarbij 32 miljard euro waarde toevoegend. Zo n 41 miljard is bestemd voor de export. Ook gemeten in aantal banen is HTSM de grootste. PvG /htsm 4 Halfgeleidermachines Opnieuw ontslagronde bij Besi Na een matig derde kwartaal ziet BE Semiconductor zich opnieuw genoodzaakt te snijden in het personeelsbestand. De Duivense machinebouwer wil voor het eind van het jaar voor dertien procent van zijn 1674 personeelsleden ontslag aanvragen. Op jaarbasis moet dit een kostenbesparing van elf miljoen euro opleveren. AP /besi 5 Draadloos ST-Ericsson sluit deuren in Nijmegen De Nijmeegse vestiging van ST- Ericsson gaat dicht. De joint venture zet de WLan-ontwikke- ling aldaar stop en de overige activiteiten hebben te weinig kritische massa om de site overeind te houden. De 56 medewerkers moeten uitkijken naar een nieuwe baan. De sluiting heeft geen gevolgen voor de Eindhovense vestiging. NR /st-ericsson 9 11

12 Analyse Lithografie Het verstandshuwelijk tussen ASML en Cymer Dat Cymer niet over de slagkracht bleek te bezitten om een EUV-bron te ontwikkelen, bracht ASML in een lastig parket: Voor dit uitzonderlijke stuk technologie werkte ons traditionele bedrijfsmodel niet. Het hoe en waarom van de overname van Cymer. Paul van Gerven noemde ASML-CFO Peter Wennink het gerucht nog in mei Nonsens, 2011, nadat een analist had gezegd dat Cymer een doelwit voor overname was en dat ASML boven aan zijn lijstje van potentiële kopers stond. Dit is niet iets wat we overwegen. We zijn tevreden met de huidige situatie, verzekerde Wennink persbureau Bloomberg. Maar zo tevreden was ASML helemaal niet, vertelde Wenninks collega Martin van den Brink een maandje later aan Bits&Chips. De executie van Cymer valt zwaar tegen, zei de technisch topman onomwonden in een interview dat conform de afspraak met ASML pas enkele maanden later is gepubliceerd (zie Bits&Chips 11, 2011). Na in de kinderjaren van EUV-lithografie met XTreme Technologies te hebben gewerkt, was Van den Brink in 2007 tot de conclusie gekomen dat Cymer de beste papieren had om de EUV-bron te ontwikkelen en te vermarkten. Twee jaar later bleken de Amerikanen echter niet in staat tijdig voldoende krachtige bronnen voor ASML s eerste preproductiemachines te leveren. Van den Brink moest alsnog enkele exemplaren bij XTreme Technologies bestellen, dat ondanks de keuze voor Cymer in zichzelf was blijven geloven en door was gegaan met ontwikkeling. Ook daarna bleef Cymer deadlines missen. Ten tijde van het bewuste interview stond een bron van honderd watt voor eind 2011 op de roadmap, maar Van den Brink vond toen al ergens tussen dertig en veertig watt een realistischere doelstelling. Zelfs die dertig watt Prachtige uitnodiging voor vakbekwame, betrouwbare, creatieve Software Engineers die zichzelf zien als een innovator op hun vakgebied en die collegiale samenwerking als sterke persoonlijke eigenschap op hun cv hebben staan. De communicatie tussen de DSP en FPGA werkt dus perfect! Be here. Be the future. Herken je de taal van de mensen die je hier ziet afgebeeld? Heb je gezonde ambities op het gebied van mechatronica? Dan ligt er bij DEMCON een geweldige kans op je te wachten. We ontwikkelen baanbrekende projecten op het gebied van hightechtechnologie en maken een groei door waar de meeste andere bedrijven alleen maar van kunnen dromen. Neem contact met ons op als je mee wilt praten. Versterk onze denktank, ervaar waar we met elkaar toe in staat zijn en tot welke prachtige ontwikkelingen dat leidt. Kijk op Eindhoven Mechatronic systems designer Sr. Mechanical engineer Projectmanager Oldenzaal Mechanical Lead Engineer Mechanical Systems Engineers Mechatronic Systems Engineers Project Lead Engineer (software) Electrical Engineer Projectmanager the future.nl DEM1223_btf_BenC_190x115mm_FC_versie3.indd :

13 (a) (b) 28nm 20nm 14nm 10nm Gate Metal Finfet (a) Het gaat zo vaak over de bron dat je de EUV-scanner zelf bijna zou vergeten. Als enige ter wereld kan ASML s NXE:3100 structuren op 16 nanometer half-pitch in één stap afbeelden. Ook de overlay (uitlijning tussen twee opeenvolgende belichtingen) is met minder dan twee nanometer indrukwekkend. (b) Tabel met de pitch (in nanometers) die volgens Imec nodig is om de komende generaties logicchips te maken. Alleen voor 10 nm haalt EUV de vereisten nog net niet. heeft Cymer pas recentelijk gedemonstreerd, en dan nog niet eens onder specificaties die een productieomgeving verlangt. De mijlpalen kunnen echter niet tot in lengte van jaren worden doorgeschoven: de chipindustrie staat werkelijk te springen om EUV-lithografie. De nood is het hoogst bij DRam-fabrikanten, die weliswaar niet de allerkleinste structuren van de industrie vervaardigen, maar vanwege de relatieve complexiteit daarvan toch geen alternatief hebben in multipatterning-technieken. Nand-flashmakers hebben dat voordeel wel. Logicmakers hebben hetzelfde probleem als hun DRam-collega s, maar lopen qua dimensies weer achter op geheugenchips. Omdat zij niet op EUV kunnen rekenen, hebben zij echter al maatregelen genomen door een kleinere krimpslag (minder oppervlaktewinst) te maken naar het 14-nanometerknooppunt en door multipatterning-vriendelijke patronen in het ontwerp te incorporeren. Kortom: alle speelruimte voor EUV-introductie is versnoept. Wil de halfgeleiderindustrie geen onherroepelijke vertraging oplopen, dan moet er in dik een jaar een productiewaardige bron gereed zijn want de bron blijft toch een van de grootste obstakels van EUV-lithografie. Die enorme last drukt op de schouders van ASML. De halfgeleiderindustrie kijkt nu eenmaal naar Veldhoven, de facto drager van het EUV-project, zelfs al moet de bron uit San Diego komen. ASML belooft nu de honderd watt die oorspronkelijk eind vorig jaar klaar zou zijn eind volgend jaar te leveren. Dat vermogen zou goed zijn om ongeveer zeventig wafers per uur te verwerken, en dat is zo ongeveer de minimumdoorvoer die nodig is om de aanschaf van een EUV-scanner à honderd miljoen euro te billijken. De bron bepaalt in zekere zin de doorvoer, omdat hij in hoge mate de belichtingstijd per wafer bepaalt: hoe krachtiger de lichtbron, hoe korter de belichtingstijd. Maar ook de lichtgevoeligheid van de fotolak en de efficiëntie van het optische systeem in de scanner zelf spelen daarin een belangrijke rol. ASML laat zich overigens niet afrekenen op de doorvoer, maar alleen op het vermogen (en natuurlijk de beeldkwaliteit). Voor chipmakers is dat in zoverre een probleem, omdat de aannames op basis waarvan die zeventig wafers per uur zijn uitgerekend nogal aan de optimistische kant blijken. Met name de dosis licht die de fotolak nodig heeft, blijkt te zijn onderschat. Dat betekent dat ofwel de doorvoer moet worden verlaagd, ofwel de efficiëntie van het optische systeem in de scanner moet worden verbeterd, ofwel het vermogen van de bron moet worden verhoogd. Boterbriefje Toen het vorig jaar begon te dagen dat Cymer de slagkracht miste om de klus in zijn eentje te klaren, is ASML gaan bijspringen. In San Diego en Veldhoven gingen er honderden ASML-engineers aan de bron werken, hun taken verdeeld over meer dan twintig werkpakketten. Voor een bedrijf dat groot is geworden op een outsourcingsstrategie is dat een opmerkelijke stap. Werken met een uitbestedingsmodel is niet noodzakelijkerwijs het goedkoopst, maar grotere flexibiliteit en risicospreiding en hogere ontwikkelsnelheid hebben nu eenmaal een prijskaartje. Normaal gesproken krijgt een toeleverancier zijn congé als hij niet voldoet, maar in het geval van de EUV-bron vond ASML dat dit geen optie was. Op de vraag waarom XTreme niet als serieus alternatief kon dienen, geeft ASML-woordvoerder Lucas van Grinsven geen direct antwoord. Hij wijst er slechts op dat Cymer een groot bedrijf is, met veel ervaring in de halfgeleiderindustrie. ASML zat met de inadequaat presterende, maar onvervangbare partner in een lastig parket. Niet alleen was het de gebruikelijke voordelen van outsourcing kwijt, het moest nota bene geld pompen in zijn leverancier. Bovendien werkte het bepaald niet prettig, zegt Van Grinsven, doelend op de decentrale teams met tijdverschil en de problematiek rondom IP-bescherming. Tijdens een conferencecall voor analisten gaf ASML-CEO Eric Meurice aan dat alles soepeler loopt als engineers bij elkaar in één aquarium kunnen werken. Voor dit uitzonderlijke stuk technologie werkt ons traditionele bedrijfsmodel niet, zegt Van Grinsven. Meurice noemde het negative synergy: door al het gedoe en dingen dubbel moeten doen werd de bronontwikkeling alleen maar duurder, trager en risicovoller. Stroomafwaarts geldt iets vergelijkbaars: de overlappende toeleverketens van ASML en Cymer bieden ruimte voor stroomlijning en de integratie van scanner en bron zou kunnen worden vereenvoudigd. Er was dus een boel synergie te winnen als ASML Cymer zou inlijven. Strategisch was er ook veel voor te zeggen om samen door te gaan. Cymer heeft een aantrekkelijke business uit vooral deep- UV-bronnen, maar voor ASML is een omzet van zeshonderd miljoen euro normaal gesproken wat aan de lage kant om de mededingingsautoriteiten te trotseren. Bij EUVlithografie is het aandeel van de bron in de totale prijs van het lithosysteem echter aanzienlijk hoger. Daarmee wordt het voor de Veldhovenaren aantrekkelijker om ook van dat deel van de taart te gaan snoepen. Ook al houdt ASML eigenlijk te veel van de vrijheid van het vrijgezellenbestaan, het werd gewoon te kostbaar. Op 17 oktober werd dan ook het verstandshuwelijk aangekondigd, met een bruidsschat van 1,95 miljard euro. ASML heeft er alle vertrouwen in dat de autoriteiten halverwege volgend jaar het boterbriefje afgeven. 9 13

14 Nieuws Dienstverlening Bestuursvoorzitter Thijs Manders, CEO/ COO Luud Engels en CEO/CFO Rogier van Beek (van links naar rechts) blijven op hun plek na de overname door Gilde. Gilde laat TMC versneld groeien Gilde heeft een overnamebod uitgebracht op TMC. Onder de vleugels van de private-equity-investeerder wil de dienstverlener flinke stappen maken, zowel nationaal als internationaal. Nieke Roos Na zes jaar beursgenoteerd te zijn geweest, verdwijnt TMC binnenkort weer van de NYSE Alternext. Tenminste, als de overname door Gilde Buy Out Partners doorgang vindt. De zes grootaandeelhouders van de Eindhovense dienstverlener, Mobion, TMB, Just-2-Us, Comnaar, Todlin en Spyn, hebben zich al onherroepelijk gecommitteerd aan het bod van de Utrechtse private-equity-investeerder. Samen hebben zij een belang van 81 procent. De overige aandeelhouders kunnen hun stukken vanaf midden deze maand aanmelden. Via de nieuw opgerichte dochteronderneming Time Acquisition heeft Gilde 18,75 euro in contanten over voor ieder aandeel TMC. Dat is 25 procent meer dan de slotkoers van 19 oktober, de werkdag voordat het nieuws over het bod bekend werd, en 47 procent boven de gemiddelde stand van de laatste twaalf maanden. Het waardeert de dienstverlener op 69,2 miljoen euro. Bij een belang van 95 procent of meer, eventueel na een uitkoopprocedure, doet Time Acquisition het bod gestand en verdwijnt TMC van de beurs. We waren niet op zoek naar een koper, maar als beursgenoteerd bedrijf heb je veel contact met partijen zoals Gilde. In onze gesprekken zijn we tot de conclusie gekomen dat er een heleboel aanknopingspunten zijn om samen verder te gaan, verklaart Rogier van Beek, CEO/CFO van TMC. We kunnen nu een volgende professionaliseringsslag maken en verder groeien. Daarbij ligt de focus in eerste instantie op Nederland, met name het westen, maar we kijken zeker ook naar de ons omringende landen, waar Gilde veel ervaring heeft. Bonafide Eind 2006 luidde een gongslag de handel in TMC officieel in. De notering aan het Damrak moest onder meer de naamsbekendheid vergroten en de positie bij bestaande 14 9 en potentiële klanten en nieuw te werven personeel verstevigen. We willen ons bedrijfsmodel graag openbaar maken, zei medeoprichter en toenmalig directeur Thijs Manders bij de beursgang. Dat model is gebaseerd op zogenoemde werkondernemers die actief zijn in ondernemende bedrijfscellen en meedelen in de door henzelf gegenereerde winst. Daarnaast verschafte de beursgang het benodigde kapitaal om acquisities te kunnen doen, zoals die van bouwkundig en civieltechnisch adviesbureau Adapté begin Het geld had TMC ook kunnen ophalen bij private-equityfondsen, maar dat zag het op dat moment niet zo zitten. Privéinvesteerders bemoeien zich vaak met de bedrijfsvoering en willen op afzienbare tijd vooral een exit realiseren, aldus Manders destijds. Bovendien blijf je een naar binnen gekeerde organisatie. Zes jaar later Manders is inmiddels bestuursvoorzitter en Rogier van Beek heeft de dagelijkse leiding overgenomen samen met CEO/COO Luud Engels gaat TMC toch in zee met een privé-investeerder. Onlogisch? Van Beek vindt van niet. We zijn Gilde Buy Out Partners Met een beheerd kapitaal van meer dan twee miljard euro is Gilde Buy Out Partners een van de grootste privateequity-investeerders in middelgrote bedrijven van continentaal Europa. Het bedrijf heeft kantoren in de Benelux, Duitsland, Frankrijk, Oostenrijk en Zwitserland. Sinds de oprichting in 1982 heeft het geld gestoken in meer dan 250 ondernemingen in een breed scala aan sectoren. TMC voegt het toe aan zijn meest recente fonds, het Gilde Buy Out Fund IV, dat een totaal vermogen heeft van achthonderd miljoen euro en eerder investeerde in onder meer Roompot en Teleplan. Tot de andere deelnemingen van Gilde behoren Gamma en Nedschroef. zes jaar verder en aanbeland in een volgende fase. De beursgang is een goede stap geweest: van 175 mensen en een omzet van 14,1 miljoen euro in 2006 zijn we gegroeid naar zo n vijfhonderd directe en zeventig indirecte medewerkers en ruim vijftig miljoen aan inkomsten, onze naambekendheid is een stuk groter geworden en door alle vereiste verslaglegging hebben we het stempel van bonafide partij gekregen. Nu we bekend zijn en onze zaakjes op orde hebben, is de noodzaak voor een notering kleiner en kunnen we kijken naar andere manieren om onze groei te financieren. Zelfstandig Op dit moment hebben de oprichters van TMC (Thijs Manders via zijn holding TMB en Jan van Rijt via Mobion) en Adapté (Henk en Wim Bredewoud via Just-2-Us) een meerderheidsbelang en daarmee de touwtjes in handen. Van Beek is er niet bang voor dat Gilde het roer straks helemaal overneemt. Na de beursexit wordt er een nieuwe entiteit gevormd met nieuwe aandelen, waarvan de oprichters een significant deel weer terugkopen. Ook onder Gilde zullen zij dus een materieel belang hebben en een substantiële stem. Bovendien heeft Gilde aangegeven de visie en groeistrategie van het huidige bestuur te onderschrijven. Na de beursexit zal TMC zijn activiteiten onder dezelfde naam en als zelfstandige onderneming voortzetten. Daarbij krijgt het de mogelijkheid om zijn marktpositie te verstevigen, zowel door organische groei als door acquisities. Het zittende management en bestuursvoorzitter Manders blijven op hun plek en ook voor de overige werkgelegenheid zijn er geen negatieve gevolgen. Aan het personeelsbeleid en de bestaande sociale plannen en pensioenrechten van werknemers wordt evenmin getornd.

15 Opinie Groods greep Derk-Jan de Grood helpt organisaties meer grip te krijgen op hun (test)project. De 2.0-antenne Het is avond, rond 20:45 uur. Ik zit in de trein naar huis, na een ietwat uitgelopen pizzasessie. Omdat ik de Spits van deze morgen al twee keer heb doorgebladerd, staar ik uit het raam naar het ondertussen donkere landschap. Ook niet veel te zien. Daarom glijden mijn gedachten af, terug naar de sessie van vanavond. Er zit me iets dwars, merk ik. Ik herinner me dat de sessie me een aantal keer deed fronsen, zelfs frustreerde. Wat was dat toch? In mijn hoofd vergelijk ik de bijeenkomst van vanmiddag met andere sessies, discussies en vergaderingen waaraan ik de afgelopen week heb deelgenomen. Ik bedenk me welke vergaderingen me hebben gemotiveerd en geënthousiasmeerd en bij welke ik een aantal keer op de smartphone mijn - en Twitter-accounts heb gecheckt. Terwijl ik de vergelijking maak, weet ik het ineens. Het was vanavond stil op mijn ingebouwde 2.0-antenne. We zitten tegenwoordig in een overgang tussen old- en newskool. Hierbij horen buzzwords als Agile, Flow, het nieuwe werken en visueel management. Mijn ervaring is dat er medewerkers zijn die deze principes proberen te praktiseren en medewerkers die hier helemaal niet mee bezig zijn. Ik wil geen vinger wijzen en geen oordeel geven over wat goed is en wat niet, maar persoonlijk word ik erg enthousiast van de nieuwe school. Terwijl we het volgende station uitrijden, denk ik na over wat de principes voor mij betekenen en wanneer mijn 2.0-antenne stimulerende signalen oppikt. Ik blader nog een keer door de Spits, dit keer op zoek naar een lege plek. Ik pak mijn pen en kriebel neer waar een vergadering of sessie aan moet voldoen om mij te motiveren. Ten eerste moet de bijeenkomst interactief zijn; ik moet niet alleen maar hoeven te luisteren. Ten tweede moet er sprake zijn van multidisciplinaire samenwerking (bijvoorbeeld doordat collega s elkaars hulpvragen beantwoorden). Ten derde moet er Waar moet een vergadering aan voldoen om mij te motiveren? worden geëxperimenteerd met verschillende werkvormen (bijvoorbeeld brown paper, elevatorpitches, games en simulaties, mindmapping of soapbox). Ten vierde moet de sessie adaptief zijn en moeten we de vorm en volgorde kunnen aanpassen aan de behoefte in plaats van dat er een vast programma is. Ten vijfde moet de meeting toewerken naar een doel en een resultaat. Ten zesde moet er moeite zijn gedaan om het leuk te maken. Ten slotte moet de bijeenkomst de whifm-vraag beantwoorden: what s in it for me? Nu weet ik dat in de dagelijkse praktijk de meeste meetings slecht worden voorbereid. Ik verbaas me er soms wel over dat we geen agenda hebben, de eindtijd niet echt bekend is en het doel ook niet echt expliciet is gemaakt. Het lijkt wel of we ons er steeds minder druk om maken. Misschien is het daarom wel te veel gevraagd. Een goede voorbereiding schijnt net een stap te ver. Maar stel je nou eens voor dat we voor elke bijeenkomst bovenstaande checklist zouden langslopen om na te gaan hoeveel punten we denken te kunnen afvinken. Zouden we dan niet betere en effectievere meetings hebben? Nemen we dit serieus, dan omarm ik de vergadercultuur weer met beide armen. Sessies worden dan weer leuk. Schiet maar wat in mijn agenda, dan accepteer ik. 9 15

16 Nieuws Samenwerking Europese én Nederlandse hightech omhelzen elkaar Paul van Gerven De vier grootste Europese halfgeleiderregio s kruipen dichter op elkaar. Op 8 oktober werd op de Semicon Europebeurs in Dresden het Silicon Europe-project aangekondigd. Hierin wordt onderzocht hoe Dresden, Eindhoven, Grenoble en Leuven elkaar kunnen aanvullen en helpen op het gebied van R&D en human capital, en om vooral mkb-bedrijven meer van elkaar te laten profiteren. Hoofddoel is natuurlijk om de concurrentiepositie van de Europese halfgeleiderindustrie te versterken. De Europese Commissie financiert het project volledig. De komende negen maanden zullen de regio s hun roadmaps naast elkaar leggen. Binnen een jaar moet er een foto liggen op basis waarvan nieuwe verbindingen kunnen worden gelegd. Het overkoepelende toepassingsgebied is energiezuinige elektronica. Vanuit Nederland trekken Point-One, de Brabantse Ontwikkelingsmaatschappij en Oost NV de kar, in Vlaanderen DSP Valley, in Frankrijk Minalogic en in Duitsland Silicon Saxony. In totaal vertegenwoordigen deze vier organisaties achthonderd bedrijven en kennisinstellingen. Multinationals nemen al ruimschoots deel aan Europese onderzoeksprojecten onder de vlag van bijvoorbeeld Catrene en Eniac JTI, erkent Arjan Gelderblom van Point-One, maar deze relaties komen vaak op een adhocbasis tot stand. Wij willen toewerken naar een onderliggend masterplan van smart specialisation, waarin iedere regio doet waar zij het beste in is, aldus Gelderblom. Bovendien denken wij met name ook aan het mkb, dat moeilijker de weg vindt in Europa. Silicon Europe sluit naadloos aan op de nieuwe missie die Point-One zich toedicht. De organisatie werd oorspronkelijk opgericht als een subsidienetwerk, maar toen minister Verhagens topsectorbeleid een einde maakte aan innovatiesubsidies leek opheffing het meest voor de hand te liggen. Na ampel beraad zag het bestuur begin dit jaar echter toch voldoende perspectief om door te gaan. Point-One zou zijn bestaansrecht kunnen ontlenen aan een rol als spreekbuis voor de industrie en als facilitator van regionale, nationale en internationale samenwerking. Toch houdt Point-One als zelfstandige entiteit op te bestaan. Per 1 januari gaat de vereniging zo goed als zeker samen met het High-Tech Systems Platform, de brancheorganisatie van FME. De nieuwe organisatie, High Tech NL, zal vervolgens weer gaan vallen onder de sectorbrede stichting Holland High Tech, waarbinnen alle hightechspelers in Nederland meer samen zullen optrekken als het aankomt op innovatie, toeleverketens, human capital en branding. Ook de Nederlandse hightech kruipt dus dichter op elkaar. valid until 21 Dec 2012 V-10_2012-SHE-6265 Check our Promotion action: MachXO2 Pico Development kit for $29 (regularly $49) at MSC Vertriebs GmbH Tel Lattice@msc-ge.com Optimized for low density designs Low cost Low power, as low as 19uW High system integration Hardened I2C, SPI, timer/counter Complete & convenient solution Free design tools Large portfolio of reference designs Easy to use development boards 16 9

17 Opinie Software-engineering Robert Hendriksen Het grote samenstellen We bevinden ons nu in een interessante fase van de strijd. De afgelopen maanden hebben we op Agile-wijze functionaliteit aan de besturingssoftware toegevoegd. Gedurende deze periode hadden we niet de beschikking over de hardware; die werd immers in deze tijd ontworpen. We hebben flink geïnvesteerd in simulatoren en daarmee kunnen we in elk geval het totale softwaresysteem bouwen, testen en integreren. Verschillende kritieke systeemonderdelen zijn uitgeprobeerd als prototypes en daaruit zijn de nodige hardwarewijzigingen voortgekomen. Het Agile-proces dat we gebruiken, is een goede softwarewikkelmethode om met deze veranderingen om te gaan. Nu is het systeemontwerp uitgekristalliseerd en de bestellingen zijn de deur uit. Dat geeft ons nog een paar weken en dan start het grote samenstellen. Zodra de eerste hardware binnenkomt, is er software nodig om het ijzer tot leven te wekken. Ons Agileontwikkelritme zal dan bruut aan zijn einde komen. We zullen worden meegezogen in de pas van het kritieke pad. Elk systeemonderdeel zal afzonderlijk getest moeten worden en dat wordt een ontdekkingsreis op zich. Het is nog niet helemaal uitgekristalliseerd welke subsystemen uiteindelijk als geheel van toeleveranciers gaan komen en bovendien zullen we de eerste systemen zelf vanaf nul opbouwen. Dus gaandeweg zullen we ontdekken welke testsoftware nodig is om modules te verifiëren als ze binnenkomen. Onze softwarearchitectuur bevat een aantal voorzieningen speciaal voor het laten draaien/testen van subsystemen. Naast een maintenance -modus (waarin het service-engineers is toegestaan alle actuatoren manueel te bedienen tijdens stilstand en in bedrijf) kennen we nog een aantal speciale bedrijfsmodi voor het systeem. Een voorbeeld is de dry run. In deze modus schakelt de software sommige checks uit zodat het transportsysteem gemakkelijk afzonderlijk te testen is. Zo hebben meer subsystemen standalone modi waarmee we het integratieprobleem verkleinen tot behapbare brokken. Nadeel van deze additionele modi is dat ze vrijwel alleen worden gebruikt tijdens de opbouw. Omdat ze niet tijdens normaal gebruik voorkomen, vergen ze een extra, zo veel mogelijk geautomatiseerde, testinspanning zodat ze niet omvallen wanneer in de toekomst de configuratievariatie gaat toenemen. Ons geheime wapen in de integratiestrijd is wat we de statelogger noemen. Omdat we gebruikmaken van statemachinegeneratoren is het een fluitje van een cent de statemachines uit te breiden met een stukje infrastructuur dat alle toestandswisselingen compact opslaat. Bovendien loggen we van We hebben ons tot de tanden bewapend voor de strijd die integratie heet belangrijke interfaces ook de signalen. Met de bijbehorende viewtool kunnen we filteren welke objecten en interacties ertussen we willen zien. Hiermee kunnen we dus in de buik van het systeem kijken als er iets niet volgens verwachting loopt. Dus laat het ijzer maar komen; we hebben ons tot de tanden bewapend voor de strijd die integratie heet. Wordt vervolgd? 9 17

18 I off I (A) Technieuws V g (V) V t Figuur 1: Bij een verlaging van de drempelspanning Vt verschuift de stroomspanningscurve van een transistor, zodat de uit-stroom enkele ordegroottes toeneemt. Chipontwerp Vechten voor elke milliwatt Chips dreigen onderhand evenveel te verbruiken als ze niets te doen hebben dan als ze aan het werk worden gezet. Dat vraagt om extra maatregelen. Imec vertelt welke. Paul van Gerven De schijnwerpers staan altijd op Gordon Moore en de beroemde wet die hij in 1965 formuleerde, maar Robert Dennard en collega s van IBM s T.J. Watson Research Centre zouden minimaal in de eer moeten delen. In 1974 zetten zij in een baanbrekend artikel de regels voor Mosfet-schaling uiteen en lieten ze zien welke consequenties die hebben op belangrijke grootheden als transistordichtheid, schakelfrequentie en vermogensdissipatie. Hun conclusies waren dermate aanlokkelijk, dat de halfgeleiderindustrie de regels binnen enkele jaren als leidraad ging gebruiken. De tabel rechtsonder, die is overgenomen uit het beroemde artikel in IEEE Solid State Circuits, laat zien waarom. Naarmate transistoren kleiner worden, kunnen ze sneller schakelen en verbruiken ze minder energie. Daarmee weet een chipmaker nog niet hóe hij de afmetingen moet reduceren, maar hij kan in ieder geval iets op papier zetten. Moore dicteerde het tempo, maar Dennard en de zijnen gaven de industrie concrete richtpunten om dat tempo vol te houden. Voor de schalingsfactor κ heeft de industrie ongeveer 1,4 per chipgeneratie gekozen, omdat die waarde ruwweg een verdubbeling van de transistordichtheid oplevert (immers: (1 / 1,4) 2 = 0,49). In steen gehouwen is dat echter niet, zoals chipgeneraties elkaar in de loop der jaren ook niet met de regelmaat van de klok hebben opgevolgd. Aanvankelijk verdubbelde de dichtheid eens in de drie jaar, maar in de jaren negentig versnelde dat naar eens in de twee jaar. Mogelijk volgt de komende jaren weer een vertraging, omdat de complexiteit en kosten van schaling maar blijven toenemen. Uiteindelijk komt er natuurlijk een einde aan Dennard-Moore-schaling, zoals geen enkele exponentieel het eeuwige leven heeft. In een chip kunnen structuren niet oneindig klein en dun worden, elektrische velden niet oneindig hoog en materialen kunnen niet oneindig worden volgepropt met doteringen. Toch zijn sommige van deze limieten eerder bereikt dan strikt genomen noodzakelijk. Het geval wil namelijk dat chipmakers sommige aspecten van hun producten meer prioriteit hebben gegeven dan andere. Terwijl typische chipstructuren als de gatelengte of de diepte van de p-n-overgang ondertussen in de orde van een factor honderd zijn geschaald, is de voedingsspanning slechts een factor tien gedaald, en zijn het gemiddelde oppervlak van een chip een factor tien en de klokfrequentie maar liefst een factor honderdduizend toegenomen. De vele verdubbelingen van de transistordichtheid hebben dus niet geresulteerd in chips die evenredig sneller zijn en evenredig minder energie verstoken. In zekere zin heeft er een soort roofbouw plaatsgevonden. Redden Bij het 130-nanometerknooppunt bereikte de klassieke schaling haar eerste limiet: zonder extra maatregelen zou elke volgende generatie transistoren in principe minder goed presteren. Alleen door nieuwe elementen aan het transistorfabricageproces toe te voegen, kon performanceverlies worden afgewend. Dus werd op 130 nanometer materiaalstress geïntroduceerd, dat de mobiliteit van elektronen en gaten vergroot. Tegenwoordig komt de onevenwichtige schaling uit het verleden vooral tot uitdrukking in het vermogenverbruik. Een state-ofthe-art processor mag tegenwoordig op meer dan drie gigahertz zijn geklokt, iedere verdere verhoging kost een vermogen aan extra watts vandaar de overstap op multicore chips. Sterker nog: zelfs schaalverkleining leidt al tot een hoger (totaal) energieverbruik. Dat valt te begrijpen als een foutje van Dennard. De elektrotechnicus negeerde in feite de impact van uit-stroom de stroom die loopt als een transistor uit staat op het totale energieverbruik van een chip. Deze uit-stromen waren ten tijde van de publicatie verwaarloosbaar klein, zoals bijvoorbeeld ook de dikte van oxidelagen en doteringsniveaus in de jaren zeventig weinig zorgen baarden (waarover later meer). Maar veertig jaar schalen tikt behoorlijk aan. Chips dreigen onderhand evenveel te verbruiken wanneer ze niets te doen hebben als wanneer ze aan het werk worden gezet. De toename van het energieverbruik in de uit-stand vloeit voort uit een fundamentele gedraging van CMos. Om het energieverbruik van een chip te verminderen, moet de voedingsspanning worden gereduceerd. Idealiter beweegt de drempelspanning de spanning die nodig is om een transistor te schakelen mee met die verlaging. Het probleem is dat de uit-stroom dan ordes van grootte toeneemt (zie Figuur 1). In het recente verleden was er nog wel enige overhead om van te snoepen, maar die is nu zo goed als op. Senior vicepresident An Steegen van Imec deed onlangs voor een gehoor van journalisten uit de doeken hoe haar onderzoeksinstituut de drijvende kracht achter de halfgeleiderindustrie denkt te redden. De strategie bestaat uit een serie veranderingen in de structuur van transistoren, die geleidelijk in opeenvolgende generaties worden (of zijn) geïntroduceerd. 32 nm Na de strain op 130 nanometer heeft nog een aanpassing aan de transistoropbouw reeds doorgang gevonden. Decennialang scheidde het natuurlijke oxide van silicium het transistorkanaal fysiek en elektrisch van de gate, maar bij een laagje van minder dan vijf atoomlagen dik dreigden zo veel elektronen door de barrière te tunnelen dat er grote lekstromen zouden optreden. Voor de duidelijkheid: dit is ongerelateerd aan de uit-stroomverhoging die voortkomt Schaling volgens Dennard Device- of circuitparameter Schalingsfactor Deviceafmetingen 1/κ Doteringsconcentratie κ Voltage 1/κ Stroom 1/κ Capaciteit 1/κ Vertraging (per circuit) 1/κ Vermogensdissipatie (per circuit) 1/κ 2 Vermogensdichtheid

19 uit verlaging van de drempelspanning zoals in Figuur 1, want dat fenomeen betreft stroom tussen source en drain. Al voor de eeuwwisseling begon de IC-industrie, Imec incluis, daarom een speurtocht naar beter isolerende materialen. Onderzoekers kwamen uit op hafniumoxide, waarvan in vergelijking met siliciumoxide een dunnere laag volstaat om dezelfde isolerende werking te bewerkstelligen. Omdat hafniumoxide niet compatibel is met het gebruikelijke metaal in de gate polysilicium moesten daarvoor ook alternatieven worden gevonden. Intel was de eerste die deze high-k metal gate-technologie in productie bracht. Dat was in 2007, bij de introductie van 45-nanometerchips. De marktleider werd op de voet gevolgd door IBM, terwijl andere logicmakers bij 32/28 nanometer overstag gingen. De zoektocht naar nog betere gateoxides gaat echter onverminderd door bij Imec, vertelde Steegen. Het open-innovatiecentrum heeft al gunstige resultaten geboekt met aluminiumgedoteerd hafniumoxide, dat de lekstroom nog eens een factor twintig beter weet te bedwingen. Zoiets heeft een belangrijke impact op het energieverbruik van chips. 14 nm Toch vereist een acceptabele vermogensdissipatie in de toekomst verdere maatregelen. Met nog maar een heel korte afstand tussen source en drain en een tamelijk machteloze klaar-over ertussen (de gate) loopt het sluipverkeer tussen beide de spuigaten uit. Op 14 nanometer, gepland om in 2014 in productie te gaan, introduceren chipmakers daarom een uit de kluiten gewassen verkeersagent, die ervoor zorgt dat het weer rustig wordt op de weg buiten de spitsuren natuurlijk. Intel heeft voor zijn 22-nanometergeneratie opnieuw het spits afgebeten bij de introductie van Finfets (zie Figuur 2), de foundry s volgen op 14 nanometer (zij schalen momenteel 28-nanometerproductie op). De essentie van het heilzame effect dat de Finfet met zich meebrengt, is oppervlaktevergroting. In plaats van dat er slechts één raakvlak is tussen kanaal en gate vouwt een Finfet-gate zich rond drie zijden van het kanaal. Daardoor penetreert het regulerende Figuur 2: In een Finfet of in Intelterminologie Tri-Gate-transistor vouwt de gate zich op het stroomkanaal, waardoor hij veel meer grip heeft op de lekstroom. veld dieper en is de gate veel beter in staat om sluipverkeer af te knijpen. Het jargon spreekt van fully-depleted devices, vrij vertaald: transistoren volledig verstoken van elektronen of gaten (in de uit-stand uiteraard). In een stroom-spanningscurve als die in Figuur 1 verraadt de Finfet-structuur zich door een steilere helling. Dit betekent dat een spanningsverhoging een groter effect heeft op de stroomsterkte en de uit-stroom (het snijpunt met de y-as) lager uitpakt. Transistoren met een isolerende laag onder het waferoppervlak (silicon-on-insulator, SOI) geven overigens ook dat soort steile curves. Deze technologie heet fully-depleted silicon-on-insulator (FDSOI). Imec heeft zich beziggehouden met FD- SOI, maar legt zich tegenwoordig vooral toe op Finfets. Voor het 14-nanometerknooppunt wordt er in Leuven nog volop gewerkt aan voltooiing en optimalisatie van de procestechnologie. Hoe pak je het lithografisch aan, wetende dat er double patterning aan te pas moet komen? Hoe moet je de meer driedimensionale structuren uniform doteren? Hoe kun je dat doteringsprofiel überhaupt betrouwbaar meten? Hoe breng je het gatemetaal op nu physical vapour deposition niet meer lijkt te volstaan? (Antwoord: met atoomlaagdepositie.) En dit is nog maar een greep uit de kwesties waar Imec nu de puntjes op de i zet. 10 nm De meeste aandacht van Steegen en collega s gaat op dit moment uit naar de 10-nanometer-node. Daar aangekomen, verwacht Imec dat er geen greintje extra stroom uit het nu al zwaar gedoteerde stroomkanaal tussen source en drain kan worden gewrongen; de Figuur 3: Voor 10-nanometerchips zijn nieuwe kanaalmaterialen nodig: germanium voor p-fets en InGaAs voor n-fets. Figuur 4: Tunnel- Fets (afgebeeld) of nanodraden kunnen in het waferoppervlak worden aangebracht. tijd is aangebroken om nieuwe kanaalmaterialen te introduceren, waarin elektronen en gaten zich soepeler bewegen. Voor p-fets ligt germanium voor de hand, voor n-fets een III-V-halfgeleider als InGaAs. Imec laat deze halfgeleiders groeien uit sleuven die in de wafer zijn geëtst, totdat er een beetje boven het oppervlak uitsteekt en zo het Finfet-kanaal vormt (zie Figuur 3). Dit complexe proces is nodig om de juiste kwaliteit materiaal met optimale mobiliteit te verkrijgen. Germanium past goed genoeg op silicium, maar InGaAs niet. Er moet daarom eerst onder in de sleuf een germanium laagje worden gelegd. Deze buffer heeft echter de neiging aders te vormen in het InGaAs, die natuurlijk onder geen beding tot bovenin mogen reiken; ze zouden het kanaal ruïneren. Dit is nog een groot aandachtspunt. Imec hoopt binnenkort de eerste data te kunnen tonen van germanium p-fets, aanvankelijk geproduceerd in de rijpere 14-nanometertechnologie. 7 nm en kleiner Vanaf het 7-nanometerknooppunt vermoedt Imec dat er een einde komt aan vlak CMos, voor zover daarvan nog gesproken mag worden in het geval van Finfets. Het wordt te druk op het waferoppervlak, niet eens zozeer voor source, gate en drain als wel voor hun aansluitpunten. Deze contacten gaan elkaar in de weg zitten. Dat betekent dat chipmakers de derde dimensie optimaal moeten gaan benutten door transistoren verticaal in de wafer te fabriceren. Imec onderzoekt daarom nanodraden, waar de gate het kanaal volledig omsluit, als basis voor transistoren, alsook tunnel-fets, waarin elektronen door een barrière tunnelen als de gate ze daartoe aanzet (zie Figuur 4). In het laatste geval wordt het principe van stromende elektronen dus vaarwelgezegd. Nog verder in de toekomst komt er misschien zelfs een einde aan elektronica zoals we die kennen, in de zin dat niet langer lading zal worden gebruikt om informatie te manipuleren en op te slaan, maar spin. Hoe dat soort nanoschakelaars eruit zullen zien en van welk materiaal ze zullen zijn gemaakt, is echter anyone s guess. 9 19

20 How do you reposition a wafer, nanometer accurately, every 50 μs? Join ASML as a Software Engineer and help to push the boundaries of what s possible. At ASML we bring together the most creative minds in physics, electronics, mechatronics, computer science, software and precision engineering to develop lithography machines that are key to producing cheaper, faster, more energy-efficient microchips. Our machines need to image billions of structures in a few seconds with an accuracy of a few silicon atoms. But our customers constantly need faster machines. And they constantly need to make smaller, more energy-efficient chips. That s why we have developed a revolutionary wafer-repositioning system. But we were only able to do this by using an extremely diverse set of software languages and tools harnessed by an equally diverse and talented team of Software Engineers. If you re a team-oriented Software Engineer who sees a challenge in complex technical problems, expert in programming and modeling for critical real-time applications and capable of working to demanding deadlines, you ll find working at ASML a highly rewarding experience. Per employee we re Europe s largest private investor in R&D, giving you freedom to experiment and a culture that will let you get things done.