Afnamerapport van een ZEISS UC 850 3D-meetmachine, eigendom van DAF B.V., Westerloo. Rapportnr.: WPA 0812, Okt. 1989. P.H.J. Schellekens A.G. de Gilde W.P. van Vliet - 1 -
1. Inleiding In dit rapport z1jn de gegevens vastgelegd van afname-metingen verricht aan een ZEISS UC 850 portaal-meetmachine geïnstalleerd in de meetkamer van DAF B.V. - Westerloo. De metingen zijn uitgevoerd volgens een meetplan en meetprocedures opgesteld in het Laboratorium voor Geometrische Meettechniek van de TU Eindhoven. De meetprocedures zijn conform het plan voor afnameprocedures 3D-meetmachines zoals dat thans binnen de Nederlandse Kalibratie Organisatie is ontwikkeld. Het meetplan volgt zoveel mogelijk de aanbevelingen zoals deze zijn vastgelegd rn VDI 2617. De afnamemetingen zijn uitgevoerd door eigen personeel van de TV-Eindhoven. De afname is uitgevoerd via meting van de basis-bronnen van afwijkingen, terwijl daarnaast extra metingen zijn uitgevoerd om de resteffecten van afwijkingen van de machine te analyseren; dit nadat softwarecorrectie van een aantal geometrie-afwijkingen is uitgevoerd door de leverancier Zeiss. - 2 -
2. Het meetplan 2.1 Inleiding De Zeiss UC 850 meetmachine bezit de meetassen X, Y en Z met de volgende meet bereiken: X-as: 850 mm Y-as: 2400 mm Z-as: 600 mm De 1D-meetonnauwkeurigheid is vastgelegd volgens (U 95 ): 1 81 1 2,3 + 300 [µm], 1 in mm De 3D-meetonnauwkeurigheid is vastgelegd volgens (U 95 ): 1 81 3 2,8 + 250 [µm], 1 in mm Zoals reeds is opgemerkt z1jn deelmetingen uitgevoerd om daarmee de grootte van enkele foutenbronnen vast te leggen. De volgende meetinstrumenten en meetmiddelen zijn bij deze metingen ingezet: - HP-laserinterferometer, type 5528A met automatische compensatie voor brekingsindexinvloeden en uitzettingseffecten van de meetmachine; - eindmaat 9 mm, pasring 17 mm en een kalibratiekogel van 30 mm diameter; - gekalibreerde eindmaten van nominaal 800 en 1000 mm lengte voor het uitvoeren van kalibratiemetingen langs vlakken en ruimtediagonalen; - temperatuursmeetopstelling, eigenbouw TUE, waarmee de temperaturen van de meetsystemen van de meetmachine én eindmaat zijn vastgesteld tijdens de metingen met de eindmaten. Bovenstaande meetinstrumenten vallen onder de erkenning zoals deze door de NKO voor het lab voor Geometrische Meettechniek van TV-Eindhoven onder erkennings-nummer 014 is afgegeven. De eindmaat, pasring en kogel, die niet onder de erkenning vallen, zijn alleen voor specifieke metingen toegepast. Zij zijn echter wel op specifieke eigenschappen d.i. rondheid gecontroleerd. - 3 -
2.2 Overzicht van het meetprogramma In het uiteindelijk uitgevoerde meetprogramma zijn een aantal deelmetingen uitgevoerd die zijn onder te verdelen in de volgende hoofdgroepen: * Translatie-afwijkingen Tij met i,j = X, Y, Z De afwijkingen Tii zijn bepaald tegen de liniaire laserinterf erometer met automatische compensator. De metingen voor Txx en Tyy zijn op de positie van kleinste en grootste comparatorafwijking uitgevoerd, die voor Tzz op de positie van de kleinste comperatorafwijking. * Om de effecten van resterende rotatie- en haaksheidsafwijkingen vast te stellen, na softwarecorrectie van deze afwijkingen, zijn eindmaatmetingen langs alle vlakkendiagonalen uitgevoerd op posities van de kleinste en grootste comparatorafwijkingen. Daarnaast zijn langs alle ruimtediagonalen eindmaatmetingen uitgevoerd. * Het gedrag van het tastsysteem is geanalyseerd via meting van een kleine eindmaat (1D), een ring (2D), en een kogel (3D). * Ter vaststelling van de absolute meetnauwkeurigheid van de machine met inachtneming van temperatuurscompensatie en tastsysteem is de lengte van een eindmaat van 1000 mm gemeten evenwijdig aan de y-as op de kleinste comparatorafwijking. - 4 -
3. Resultaten De meetresultaten van de deelmetingen ZIJn uitgebreid weergegeven in de bijlagen via numerieke en grafische presentatie. Hierna wordt een samenvatting van de belangrijkste meetresultaten gegeven, waarbij de bovengrenswaarde, in absolute zin, van de bijbehorende systematische afwijking is vermeld. Translatie-afwijkingen: 1. Txx 0,6 µm, meting op positie van de kleinste comparatorafwijking. 2. Txx 1,3 µm, meting op positie van de grootste comparatorafwijking. 3. Tyy < 2,5 µm, meting op positie van de kleinste comparatorafwijking. 4. Tyy < 2,4 µm, meting op positie x = 0 mm, z = -600 mm. 5. Tyy < 8,3 µm, meting op positie x = 850 mm, z = 0 mm. 6. Tyy < 8,6 µm, meting op positie van de grootste comparatorafwijking. 7. Tzz < 0,3 µm NB. De translatiemetingen Txx, Tyy en Tzz z1jn uitgevoerd via vergelijking van machinemeetwaarden tegen laserinterferometer-waarden waarbij geen gebruik is gemaakt van de temperatuurscorrectie van de meetmachine. De correctie voor uitzetting van de meetlinialen is via het temperatuursmeetsysteem van de laserinterferometer doorgevoerd. - 5 -
8. Eindmaatmetingen op de vlakkendiagonalen. Deze metingen zijn uitgevoerd op de grenzen van het meetvolume waarvan de hoekpunten in onderstaande schets zijn aangegeven. Het machinenulpunt bevindt zich in H. z I G /.,,.,...- 1 F 1 _L c 1 / l Jl / - -- B 1 1 Figuur: schematische weergave van het meetvolume. - 6 -
8.1. Meetresultaten van de vlakkendiagonalen: X - Z vlak: AF = 800,0022 mm CM = 800,0028 mm BE = 800,0024 mm IK = 800,0029 mm JL = 800,0037 mm Im = 800,0038 mm X - Y vlak: AD = 1000,0016 mm EU = 999.9980 mm BIT = 1000,0011 mm EH = 1000,0005 mm Y - Z vlak: AH = 1000,0041 mm 1m = 1000,0037 mm EIT = 999,9973 mm FD = 999,9978 mm 8.2. Eindmaatmetingen op de ruimtediagonalen. De eindmaten zijn hierbij opgesteld langs de vier ruimtediagonalen aangegeven met AG, BH, CE en DF (zie schets onder 6). Meetresultaten: AU = 1000,0015 mm BH = 1000,0011 mm UF = 999,9968 mm CE = 999,9968 mm 8.3. Meting langs de y-as op de kleinste comparatorfout positie; meetlengte 1000 mm. y = 1000,0013 mm s = 0,0002 mm 9. Berekening haaksheidsafwijking uit eindmaatmetingen. x - y vlak: óa = 0,3 " x - z vlak: óa = 0,0 " Y - z vlak: óa = 1, 5 " - 7 -
10. Vergelijking temperatuursmeting meetmachine met TUE-apparatuur. De temperatuurmeetwaarden van de sensoren op de x-as en de y-as van de meetmachine zijn met de meetwaarden van de TUE-apparatuur vergeleken bij de heersende temperatuur in de meetruimte. Y - as TUE- sensor nr. temperatuur 1 20,45 OC 2 20,39 OC Zeiss- sensor temperatuur 20,43 OC 20,35 OC x - as TUE-sensor nr. temperatuur 1 20,35 OC 2 Zeiss-sensor temperatuur 20,30 OC 20,30 OC Onnauwkeurigheid TUE-sensoren: 0,05 c. 11. Controle van het tastsysteem. De afwijkingen ten gevolge van het tastsysteem bij metingen in 1D, 2D en 3D: - 1D. Meting eindmaat 9 mm: x-as T 1 D 0,3 µm y-as T 1 D < 0,2 µm z-as T 1 D < 0,2 µm - 2D. Meting ring met 17 mm diameter: x-y vlak T2D 0,2 µm x-z vlak T2D < 0, 1 µm y-z vlak T2D < 0,2 µm - 8 -
- 3D. Meting bol met diameter 30 mm: Fluktuaties in diametermetingen: bolmeting r 30 0,1 µm Onnauwkeurigheid van de metingen: * Laserinterf erometer Onnauwkeurigheid voor deze metingen: 81 < 0,1 [µm] + 10-6 * 1 * Eindmaatmetingen 800 mm: 81 1 µm 1000 mm: 81 1,2 µm * Bepaling haaksheidsafwijking per meetpositie: 8a 0,5 " - 9 -
4. Bepaling van de meetonnauwkeurigheid Zoals eerder is vermeld wordt de onnauwkeurigheid apart gespecificeerd voor 1D- en 3D-metingen. * 1D-meetonnauwkeurigheid. Het betreft hier de onnauwkeurigheid bij lengtemetingen langs deze assen. X-richting: 81 < x - 1,3 µm Y- richting: 8Ly < 8,6 µm Z- richting: 8Lz < 0,3 µm * 3D-meetonnauwkeurigheid. Het betreft hier de onnauwkeurigheid bij lengtemetingen in het meetvolume. Deze is vastgesteld via metingen van een eindmaat van 1000 mm lengte waarbij het temperatuurscorrectiesysteem voor de meetsystemen en object was ingeschakeld. De meetresultaten vallen ruimschoots binnen de specificaties. NB. Ter controle van het correctiesysteem voor 1D-metingen is een eindmaat van 1000 mm gemeten langs de y-as op positie van de kleinste comparatorafwijking. Ook hierbij vallen de gemeten afwijkingen ruim binnen de specificaties. - 10 -
5. Conclusies Ten aanzien van de deelmetingen kan gesteld worden dat geen van de afwijkingsbronnen extreem grote afwijkingen vertoont. Samenvattend kan worden geconcludeerd: 1]}-meetnnaukeurighid: Zowel ól, ól als ól vallen binnen de specificaties opgegeven als: x y z L ólx, óly, ólz 2,3 + 300 [µm], L in mm De nauwkeurigheid ól wordt beïnvloed door de gevonden haaksheidsafwijking die y naar onze mening het gevolg is van een kleine vormafwijking van de y-geleiding gezien in het y-z vlak. Deze vormafwijking kan het gevolg zijn van temperatuursinvloeden op de meettafel. 2]}- meetonnauwkeurigheid: Geen opgave aanwezig. 3]}-meetonnauwkeurigheid: De 3D-meetonnauwkeurigheid ól 3 valt binnen de specificaties, opgegeven als: L ól 3 2,8 + 250 [µm], L in mm Uit de eindmaatmetingen in de vlakken en de ruimte kan worden vastgesteld dat, tezamen met de resultaten van de 1D-metingen, de resulterende onnauwkeurigheid ruimschoots binnen de specificaties valt. Invloed tastsysteem: Uit de separate tests van het tastsysteem is gebleken dat de reproduceerbaarheid van de meetresultaten beter is dan 0,5 µm voor zowel 1D-, 2D- als 3D-metingen. De hierdoor geïntroduceerde meetonnauwkeurigheid is dan ook van ondergeschikt belang. - 11 -
Invloed temperatuurscorrectiesysteem: Er is een vergelijking tussen TUE-meetwaarden en Zeiss-meetwaarden voor een meetpunt rond 20 c uitgevoerd. De geconstateerde afwijkingen kwamen binnen de meetnauwkeurigheid van het TUE-systeem overeen. Er is derhalve geen aanleiding wijzigingen voor te stellen. - 12 -
6. Bijlagen: Meetresultaten Hierna worden de meetresultaten van de deelmetingen gegeven met de bijbehorende grafische representaties. De eerste set resultaten betreft de translatiemetingen Tii. Hier zijn heen-, retour- en gemiddelde meetresultaten gepresenteerd. Daarna worden de resultaten van de eindmaatmetingen in 1D, 2D en 3D weergegeven. Tenslotte zijn de meetresultaten van de tasterkalibratie opgenomen. - 13 -
Zeiss UC850 DAF B.V. Vesterloo Type meting TXX K.K.F. Startpositie y = 0 mm Meetmiddel Laserinterf erometer z = 0 mm Datum 26-9-1989 Temperatuur = 20.46 oc Positie Aflezing Afwijking Positie Af lezing Afwijking Afwijking machine meetmiddel machine machine meetmiddel machine machine X-AS HEEN HEEN HEEN X-AS TERUG TERUG TERUG GEMIDDELD [mm] [mm] [µm] [mm] [mm] [µm] [µm] 0.0000 0.0000 0.0 0.0000-0.0001 0.1 0.0 100.0000 99.9997 0.3 100.0000 100.0000-0.0 0.1 200.0000 199.9997 0.3 200.0000 200.0000-0.0 0.1 300.0000 299.9997 0.3 300.0000 299.9999 0.1 0.2 400.0000 399.9997 0.3 400.0000 400.0000 0.0 0.2 500.0000 499.9998 0.2 500.0000 499.9999 0.1 0.2 600.0000 599.9992 0.8 600.0000 599.9998 0.2 0.5 700.0000 699.9992 0.8 700.0000 699.9996 0.4 0.6 800.0000 799.9993 0.7 800.0000 799.9998 0.2 0.5
ZEISS UC850 DAF B.V. WESTERLOO 2. Type meting : TXX K.K.F. Datum : 26-9-1989 Tijd : 17:55 1.5 1..5 0.5-0.5-1. +--------l----+-----+----+----+----t--------+-----t 0. 100. 200. 300. 400. 500. 600. 700. 800. X-AS x =HEEN +=TERUG o = GEMIDDELD
Zeiss UC850 DAF B.V. Westerloo Type meting TXX G.K.F. Startpositie y = 0 mm Meetmiddel Laserinterf erometer z = -600 mm Datum 26-9- 1989 Temperatuur = 20.43 oc Positie Aflezing Afwijking Positie Aflezing Afwijking Afwijking machine meetmiddel machine machine meetmiddel machine machine X-AS HEEN HEEN HEEN X-AS TERUG TERUG TERUG GEMIDDELD [mm] [mm] [µm] [mm] [mm] [µm] [µm] 0.0000 0.0000 0.0 0.0000 0.0000 0.0 0.0 100.0000 100.0001-0.1 100.0000 100.0001-0.1-0.1 200.0000 199.9998 0.2 200.0000 200.0001-0.1 0.1 300.0000 299.9998 0.2 300.0000 299.9999 0.1 0.2 400.0000 400.0000 0.0 400.0000 399.9999 0.1 0.1 500.0000 499.9994 0.6 500.0000 499.9994 0.6 0.6 600.0000 599.9990 1.0 600.0000 599.9988 1. 2 1.1 700.0000 699.9986 1.4 700.0000 699.9989 1.1 1.3 800.0000 799.9986 1.4 800.0000 799.9987 1.3 1.3
ZEISS UC850 DAF B.V. WESTERLOO 3. Type meting : TXX G.K.F. Datum : 26-9-1989 Tijd : 17:29 2.5 2.,..., ê 1.5 0 0 0. 1..,..; ç: (J) 0.5 on.,..;.,..; 0. -0.5-1. -1.5 -+-------+----+-----+----+-----l------1f-----+-------t 0. 100. 200. 300. 400. 500. 600. 700. 800. X-AS x =HEEN +=TERUG o = GEMIDDELD
Zeiss UC850 DAF B.V. Westerloo Type meting : TYY K.K.F. Startpositie : x = 850 mm Meetmiddel Laserinterf erometer z = - 600 mm Datum 27-9-1989 Temperatuur = 20.26 oc Positie Af lezing Afwijking Positie Af lezing Afwijking Afwijking machine meetmiddel machine machine meetmiddel machine machine Y-AS HEEN HEEN HEEN Y-AS TERUG TERUG TERUG GEMIDDELD [mm] [mm] [µm] [mm] [mm] [µm] [µm] 0.0000 0.0000 0.0 0.0000-0.0002 0.2 0.1 100.0000 100.0003-0.3 100.0000 100.0000 0.0-0. 2 200.0000 200.0005-0.5 200.0000 200.0003-0.3-0.4 300.0000 300.0010-0.9 300.0000 300.0006-0.6-0.8 400.0000 400.0015-1. 5 400.0000 400.0011-1.1-1.3 500.0000 500.0019-1.9 500.0000 500.0010-1.0-1.4 600.0000 600.0011-1.1 600.0000 600.0009-0.9-1.0 700.0000 700.0013-1.3 700.0000 700.0010-1.0-1.1 800.0000 800.0008-0.8 800.0000 800.0010-1.0-0.9 900.0000 900.0010-1.0 900.0000 900.0009-0.9-0.9 1000.0000 1000.0014-1.4 1000.0000 1000.0013-1. 3-1.4 1100.0000 1100.0014-1.4 1100.0000 1100.0013-1. 3-1.4 1200.0000 1200.0009-0.9 1200.0000 1200.0010-1.0-0.9 1300.0000 1300.0015-1.5 1300.0000 1300.0013-1.3-1.4 1400.0000 1400.0015-1. 5 1400.0000 1400.0017-1. 7-1.6 1500.0000 1500.0009-0.9 1500.0000 1500.0011-1.1-1.0 1600.0000 1600.0008-0.8 1600.0000 1600.0011-1.1-0.9 1700.0000 1700.0012-1. 2 1700.0000 1700.0014-1.4-1.3 1800.0000 1800.0017-1. 7 1800.0000 1800.0015-1. 5-1. 6 1900.0000 1900.0020-2.0 1900.0000 1900.0022-2. 2-2.1 2000.0000 2000.0021-2.1 2000.0000 2000.0026-2.6-2.3 2100.0000 2100.0021-2.1 2100.0000 2100.0023-2.3-2. 2 2200.0000 2200.0017-1. 7 2200.0000 2200.0020-2.0-1.8 2300.0000 2300.0020-2.0 2300.0000 2300.0020-2.0-2.0 2390.0000 2390.0025-2. 5 2390.0000 2390.0025-2.5-2. 5
1. ZEISS UC850 DAF B.V. WESTERLOO Type meting: TYY K.K.F. Datum: 27-9-1989 Tijd: 14:39 0.,..., ê 0 0. 0 t...j (J) 0.0 -:. -1. -2. -3. -4. -5. -6. ;---------+-----,f--------+--------+----------l 0. 500. 1000. Y-AS 1500. 2000. 2500. x =HEEN +=TERUG o = GEMIDDELD
Zeiss UC850 DAF B.V. Westerloo Type meting TYY Startpositie x = 0 mm Meetmiddel Laserinterf erometer z = -600 mm Datum 27-9- 1989 Temperatuur = 20.32 oc Positie Af lezing Af wijking Positie Aflezing Afwijking Afwijking machine meetmiddel machine machine meetmiddel machine machine Y-AS HEEN HEEN HEEN Y-AS TERUG TERUG TERUG GEMIDDELD [mm] [mm] [µm] [mm] [mm] [µm] [µm] 0.0000 0.0000 0.0 0.0000 0.0000-0.1-0.0 100.0000 100.0010-0.9 100.0000 100.0005-0.5-0. 7 200.0000 200.0010-1. 0 200.0000 200.0004-0.4-0. 7 300.0000 300.0011-1.1 300.0000 300.0002-0. 2-0.6 400.0000 400.0010-1.0 400.0000 400.0003-0.2-0.6 500.0000 500.0013-1.3 500.0000 500.0005-0.5-0.9 600.0000 600.0011-1.1 600.0000 600.0002-0.2-0.6 700.0000 700.0005-0.5 700.0000 699.9998 0.2-0.1 800.0000 800.0005-0.5 800.0000 799.9993 0.7 0.1 900.0000 900.0008-0.8 900.0000 899.9993 0.7-0.0 1000.0000 1000.0012-1. 2 1000.0000 999.9999 0.1-0.6 1100.0000 1100.0015-1. 5 1100.0000 1100. 0001-0.1-0.8 1200.0000 1200.0014-1.4 1200.0000 1200.0002-0. 2-0.8 1300.0000 1300.0016-1. 6 1300.0000 1300.0008-0.8-1. 2 1400.0000 1400.0012-1. 2 1400.0000 1400.0003-0.3-0. 7 1500.0000 1500.0009-0.9 1500.0000 1500.0000-0.0-0.5 1600.0000 1600.0009-0.8 1600.0000 1600.0004-0.3-0.6 1700.0000 1700.0013-1.3 1700.0000 1700.0007-0. 7-1.0 1800.0000 1800.0016-1.6 1800.0000 1800.0012-1. 2-1.4 1900.0000 1900.0020-2.0 1900.0000 1900.0016-1.6-1.8 2000.0000 2000.0023-2.3 2000.0000 2000.0019-1. 9-2.1 2100.0000 2100.0022-2. 2 2100.0000 2100.0018-1.8-2.0 2200.0000 2200.0023-2.3 2200.0000 2200. 0017-1. 7-2.0 2300.0000 2300.0027-2.6 2300.0000 2300.0021-2.1-2.4 2390.0000 2390.0029-2.8 2300.0000 2300.0019-1.8-2.3
2. ZEISS UC850 DAF B.V. WESTERLOO Type meting: TYY Datum: 27-9-1989 Tijd: 19:42 1. ê l""""""i 0 0. 0 i...i c:: c:: Q) bj) c::! < -1. -2. -3. -4. -5. -6. -+--------+------1----------+---------+----------1 0. 500. 1000. Y-AS 1500. 2000. 2500. x =HEEN +=TERUG o = GEMIDDELD
Zeiss UC850 DAF B.V. Westerloo Type meting TYY Startpositie x = 850 mm Meetmiddel Laserinterf erometer z = 0 mm Datum 27-9- 1989 Temperatuur = 20.24 oc Positie Aflezing Afwijking Positie Af lezing Afwijking Afwijking machine meetmiddel machine machine meetmiddel machine machine Y-AS HEEN HEEN HEEN Y-AS TERUG TERUG TERUG GEMIDDELD [mm] [mm] [µm] [mm] [mm] [µm] [µm] 0.0000 0.0000 0.0 0.0000-0.0007 0.7 0.3 100.0000 100.0007-0. 7 100.0000 100.0000 0.1-0.3 200.0000 200.0010-1.0 200.0000 200.0003-0.3-0. 7 300.0000 300.0014-1.4 300.0000 300.0010-1.0-1. 2 400.0000 400.0020-2.0 400.0000 400.0018-1.8-1. 9 500.0000 500.0022-2. 2 500.0000 500.0021-2.1-2. 2 600.0000 600.0023-2.3 600.0000 600.0017-1. 7-2.0 700.0000 700.0024-2.4 700.0000 700.0020-2.0-2. 2 800.0000 800.0026-2.6 800.0000 800.0023-2.3-2.4 900.0000 900.0027-2. 7 900.0000 900.0022-2. 2-2.4 1000.0000 1000.0031-3.1 1000.0000 1000.0031-3.1-3.1 1100.0000 1100.0037-3. 7 1100.0000 1100.0034-3.4-3.6 1200.0000 1200.0038-3.8 1200.0000 1200.0039-3.8-3.8 1300.0000 1300.0041-4.1 1300.0000 1300.0044-4.4-4. 2 1400.0000 1400.0045-4.5 1400.0000 1400.0048-4.8-4. 7 1500.0000 1500.0043-4.3 1500.0000 1500.0047-4. 7-4.5 1600.0000 1600.0047-4. 7 1600.0000 1600.0050-5.0-4.8 1700.0000 1700.0053-5.3 1700.0000 1700.0054-5.4-5.3 1800.0000 1800.0059-5.9 1800.0000 1800.0064-6.4-6. 2 1900.0000 1900.0067-6. 7 1900.0000 1900.0071-7.1-6.9 2000.0000 2000.0068-6.8 2000.0000 2000.0070-7.0-6.9 2100.0000 2100.0073-7.3 2100.0000 2100.0075-7.5-7.4 2200.0000 2200.0074-7.4 2200.0000 2200.0074-7.4-7.4 2300.0000 2300.0079-7.9 2300.0000 2300.0079-7.9-7.9 2390.0000 2390.0083-8.3 2390.0000 2390.0083-8.3-8.3
2. ZEISS UC850 DAF B.V. WESTERLOO Type meting: TYY G.K.F. Datum: 27-9-1989 Tijd: 11:45 0. -2.,.--, -4. e 0 0. 0 i...,j -6. c:: -8. c:: Q) bi) c:: -10. i -12. < -14. -16. -18. 0. 500. 1000. Y-AS 1500. 2000. 2500. x =HEEN +=TERUG o = GEMIDDELD
Zeiss UC850 DAF B.V. Westerloo Type meting TYY G.K.F. Startpositie x = 0 mm Meetmiddel Laserinterf erometer z = 0 mm Datum 27-9-1989 Temperatuur = 20.24 oc Positie Aflezing Afwijking Positie Aflezing Afwijking Afwijking machine meetmiddel machine machine meetmiddel machine machine Y-AS HEEN HEEN HEEN Y-AS TERUG TERUG TERUG GEMIDDELD [mm] [mm] [µm] [mm] [mm] [µm] [µm] 0.0000 0.0000 0.0 0.0000-0.0015 1.5 0.7 100.0000 100.0012-1. 2 100.0000 99.9992 0.8-0. 2 200.0000 200.0012-1. 2 200.0000 199.9994 0.6-0.3 300.0000 300.0018-1.8 300.0000 299.9999 0.1-0.9 400.0000 400.0021-2.1 400.0000 400.0002-0.2-1.1 500.0000 500.0025-2. 5 500.0000 500.0011-1.1-1.8 600.0000 600.0027-2.8 600.0000 600.0012-1. 2-2.0 700.0000 700.0025-2.5 700.0000 700.0012-1. 2-1.9 800.0000 800.0027-2. 7 800.0000 800.0018-1.8-2.3 900.0000 900.0033-3.3 900.0000 900.0018-1.8-2.6 1000.0000 1000.0035-3.5 1000.0000 1000.0025-2. 5-3.0 1100.0000 1100.0043-4.3 1100.0000 1100.0030-3.0-3.6 1200.0000 1200.0047-4. 7 1200.0000 1200.0038-3.8-4.2 1300.0000 1300.0053-5.3 1300.0000 1300.0044-4.4-4.8 1400.0000 1400.0058-5.8 1400.0000 1400.0047-4. 7-5. 2 1500.0000 1500.0063-6.3 1500.0000 1500.0052-5. 2-5. 7 1600.0000 1600.0059-5.9 1600.0000 1600.0054-5.4-5.6 1700.0000 1700.0064-6.4 1700.0000 1700.0058-5.8-6.1 1800.0000 1800.0068-6.8 1800.0000 1800.0065-6.5-6.6 1900.0000 1900.0075-7.5 1900.0000 1900.0069-6.9-7. 2 2000.0000 2000.0077-7. 7 2000.0000 2000.0074-7.4-7.5 2100.0000 2100.0079-7.9 2100.0000 2100.0074-7.4-7.6 2200.0000 2200.0084-8.4 2200.0000 2200.0078-7.8-8.1 2300.0000 2300.0089-8.9 2300.0000 2300.0082-8.2-8.5 2390.0000 2390.0086-8.6 2390.0000 2390.0087-8. 7-8.6
4. 2. ZEISS UC850 DAF B.V. WESTERLOO Type meting: TYY G.K.F. Datum: 27-9-1989 Tijd: 12:16,..., ê 0 0 0....i t:: t:: Q) 00-2. -4. -6. -8. t:: -10. < -12. -14. -16. -18. 0. 500. 1000. Y-AS 1500. 2000. 2500. x =HEEN +=TERUG o = GEMIDDELD
Zeiss UC850 DAF B.V. Vesterloo Type meting TZZ Startpositie x = 0 mm Meetmiddel Laser interferometer y = 0 mm Datum 27-9-1989 Temperatuur = 20.26 oc Positie Af lezing Afwijking Positie Aflezing Afwijking Afwijking machine meetmiddel machine machine meetmiddel machine machine Z-AS HEEN HEEN HEEN Z-AS TERUG TERUG TERUG GEMIDDELD [mm] [mm] [µm] [mm] [mm] [µm] [µm] 0.0000 0.0000 0.0 0.0000-0.0000 0.1 0.0 100.0000 99.9999 0.1 100.0000 99.9998 0.2 0.1 200.0000 199.9999 0.1 200.0000 200.0001-0.1-0.0 300.0000 299.9998 0.2 300.0000 299.9999 0.1 0.1 400.0000 399.9997 0.3 400.0000 399.9999 0.1 0.2 500.0000 499.9998 0.2 500.0000 499.9999 0.1 0.2 520.0000 519.9997 0.3 520.0000 519.9997 0.3 0.3
0.7 ZEISS UC850 DAF B.V. WESTERLOO Type meting: TZZ Datum: 27-9-1989 Tijd: 15:31 0.6 0.5 î 0.4 g. 0.3 0 i...i.5 t:: 0.2 0.1 0. - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - -. -0.1-0.2-0.3 -+----+----+----+----4-------+----1----+-----1------1----f-------1 0. 50. 100. 150. 200. 250. 300. 350. 400. 450. 500. 550. Z-AS x =HEEN +=TERUG o = GEMIDDELD
Vlakdia&onalen van het x-y vlak AC BD EG FH [mm] [mm] [mm] [mm] 1000,0024 1000,0007 999,9987 1000,0005 1000,0017 1000,0011 999,9981 1000,0000 1000,0012 1000,0011 999,9976 1000,0010 1000,0014 1000,0012 999,9978 1000,0012 1000,0013 1000,0011 999,9979 1000,0006 1000,0016 1000,0008 999,9981 1000,0007 1000,0015 1000,0013 999,9983 1000,0005 1000,0016 1000,0014 999,9976 1000,0005 1000,0017 1000,0014 999,9979 1000,0001 1000,0018 1000,0010 999,9980 1000,0004 Gemiddelden: 1000,0016 1000,0011 999,9980 1000,0005
Vlakdiaonalen van het x-z vlak AF BE DG CM [mm] [mm] [mm] [mm] 800,0022 800,0021 800,0029 800,0027 800,0017 800,0025 800,0031 800,0022 800,0024 800,0021 800,0030 800,0024 800,0015 800,0025 800,0030 800,0026 800,0021 800,0020 800,0030 800,0029 800,0026 800,0027 800,0034 800,0028 800,0023 800,0024 800,0031 800,0030 800,0029 800,0027 800,0034 800,0031 800,0024 800,0026 800,0028 800,0036 800,0022 800,0022 800,0031 800,0031 Gemiddelden: 800,0022 800,0024 800,0038 800,0028 IK [mm] JL [mm] 800,0027 800,0032 800,0030 800,0038 800,0029 800,0039 800,0028 800,0038 800,0031 800,0037 800,0027 800,0038 800,0025 800,0035 800,0029 800,0038 800,0029 800,0038 800,0030 800,0035 Gemiddelden: 800,0029 800,0037
Vlakdiagonalen van het y-z vlak AH ED BG FC [mm] [mm] [mm] [mm] 1000,0041 999,9974 1000,0032 999,9977 1000,0039 999,9969 1000,0037 999,9983 1000,0041 999,9978 1000,0038 999,9976 1000,0040 999,9971 1000,0033 999,9980 1000,0039 999,9975 1000,0041 999,9978 1000,0041 999,9975 1000,0041 999,9980 1000,0041 999,9976 1000,0040 999,9981 1000,0045 999,9973 1000,0035 999,9976 1000,0037 999,9971 1000,0038 999,9978 1000,0044 999,9970 1000,0037 999,9972 Gemiddelden: 1000,0041 999,9970 1000,0037 999,9978
Ruimtediaonalen AG BH DF CE [mm] [mm] [mm] [mm] 1000,0019 1000,0001 999,9968 999,9965 1000,0011 1000,0010 999,9971 999,9974 1000,0010 1000,0004 999,9964 999,9967 1000,0016 1000,0012 999,9967 999,9967 1000,0009 1000,0016 999,9972 999,9960 1000,0015 1000,0018 999,9971 999,9969 1000,0019 1000,0015 999,9971 999,9969 1000,0018 1000,0011 999,9962 999,9971 1000,0016 1000,0011 999,9969 999,9968 1000,0015 1000,0016 999,9966 999,9973 Gemiddelden: 1000,0015 1000,0011 999,9968 999,9968
Test meetmachine op absolute meetnauwkeurigheid met inbegrip van temperatuurscorrectie en aantastsysteem. Meting langs de y-as op KKF positie. Meting met eindmaat van 1000 mm. y [mm] 1000,0012 1000,0016 1000,0009 1000,0015 1000,0014 1000,0014 1000,0013 1000,0015 1000,0013 1000.0013 y = 1000,0013 mm s = 0,0002 mm
Meetresultaten tasterkalibratie * 1D-metingen aan 9 mm eindmaat. x-as: 8,9999 y-as: 8,9999 z-as: 9,0003 9,0000 8,9999 9,0002 8,9996 9,0004 9,0003 8,9994 9,0001 9,0000 9,0002 9,0004 9,0004 9,0001 9,0002 9,0006 8,9995 9,0002 9,0002 9,0003 9,0006 9,0002 8,9995 9,0002 9,0004 9,0000 9,0002 9,0004 T 1 D 0,3 µm T1D 0,2 µm 9,0006 9,0002 9,0004 9,0003 9,0004 T1D 0,2 µm * 2D-meting aan ring van 17 mm diameter. x-y vlak: 16.9997 x-z vlak: 16,9997 y-z vlak: 16,9997 16,9996 16,9996 16,9996 16,9996 16,9998 16,9997 16,9995 16,9998 16,9996 16,9999 16.9998 16,9997 16,9996 16,9997 16,9996 16,9996 16,9998 16,9996 16,9995 16,9996 16,9996 17,0000 16,9997 16,9995 16,9997 16,9995 16,9996 16,9997 16,9999 16,9995 16,9996 16,9997 16,9994 16,9996 16,9998 16,9994 16,9999 16,9998 16,9998 16,9996 16,9996 16,9998 T 2 D 0,1 µm T 2 D 0,2 µm
* 2D-meting aan ring van 17 mm diameter (vervolg): x-y vlak: 16,9994 16,9995 16,9996 16,9996 16,9996 r 20 0,2 µm * 3D-meting aan een bol van 30 mm diameter: 29,9895 29,9895 29,9895 29,9893 29,9895 29,9895 29,9894 29,9894 29,9894 29,9893 29,9894 29,9894 29,9894 29,9895 29,9895 r 30 O, 1 µm