Verticaal gekoppelde microringresonatoren gefabriceerd met waferbonding

Vergelijkbare documenten
Fotonische geïntegreerde circuits en vezelkoppelaars gebaseerd op InP gebonde membranen

Nederlandstalige samenvatting

Niet-lineair gedrag in een halfgeleider optische versterker en laser diode gebaseerd terugkoppelingsschema

Compacte vlakkegolfgeleiderkoppelingen. silicium-op-isolator

Fabricage van nanofotonische structuren met gefocusseerde ionenbundels

Aandrijving van geïntegreerde nanofotonische componenten door middel van de optische gradiëntkracht

Nieuwe silicium fotonica-technologie zorgt voor sneller dataverkeer in datacenters

EXAMEN TELECOM CAI Beheer en Onderhoud GLAS VOORBEELDEXAMEN

Dynamische aspecten van geavanceerde multi-sectie afstembare halfgeleiderlasers Bart Moeyersoon 28 juni 2005

Een geïntegreerde InP-gebaseerde optische golfgeleiderisolator op basis van ferromagnetische CoFecontacten

Performantie-analyse van een uitleessysteem voor optische schijven gebaseerd op een multimodale golfgeleider

Fotonica op chip laat dokters dromen

Er komt licht in de elektronische pijp. Fotonen zijn in staat de huidige elektronische

Lichtmeting aan LED verlichting

Nederlands Tijdschrift voor Fotonica, december 1991

SARA High Performance Networking Vancis Network Services

What s in the experiment bag? Enkele experimenten om met het materiaal van de kit uit te voeren

Uitwerkingen tentamen optica

Gezocht: life science bedrijven die biofotonica willen uitproberen

In dit hoofdstuk komen de werking principes van glasvezelsensoren. Zo wordt de werking van de FBG datalogger verduidelijkt.

Eindronde Natuurkunde Olympiade 2016 theorietoets deel 1

Tentamen Optica. 20 februari Zet je naam, studentennummer en studierichting bovenaan elk vel dat je gebruikt. Lees de 6 opgaven eerst eens door.

Uitwerkingen Tentamen Optica

Tentamen Optica. 19 februari 2008, 14:00 uur tot 17:00 uur

De vijf invloedrijkste fotonica-toepassingen

MEMS in de Optica Jonas Vermeulen Jean-Yves Wielandts


3D systemen-op-chip. Het 3D-technologielandschap. Semiconductor technology & processing

Deze optische antenne kan toveren met licht

Uitwerkingen tentamen Optica

Halfgeleiderlaser met een geïntegreerde metalen spiegel op silicium door heterogene integratie

, met ω de hoekfrequentie en

Diffusie Proces in Silicium

Th. J. M. Jongeling Technisch Physische Dienst TNO-TH, Delft

Hertentamen Optica,11 april 2016 : uitwerkingen

Probing Light Emissions at the Nanoscale with Cathodoluminiscence B.J.M. Brenny

Met de quantummechanica het lab in

De snelheid van de auto neemt eerst toe en wordt na zekere tijd constant. Bereken de snelheid die de auto dan heeft.

FACULTEIT TECHNISCHE NATUURWETENSCHAPPEN Opleiding Technische Natuurkunde TENTAMEN

Bepaling van de diameter van een haar

CCTV Infrastructuur. Bekabeling oplossingen Closed-Circuit Television

Fundamentele studie brengt potentieel van organische halfgeleiders naar boven

Sensor zoekt veeleisende toepassing

Zo maak je materialen die zelf pijn voelen

De wet van Moore voor fotonica

Ontwerp en Fabricage van een Geïntegreerde Zender voor Fiber-To-The-Home (FTTH) Optische Netwerken. Diedrik Vermeulen

SURFnet 7: De Optische Laag

Exact Periode 5.2. Licht

TENTAMEN. x 2 x 3. x x2. cos( x y) cos ( x) cos( y) + sin( x) sin( y) d dx arcsin( x)

Eindronde Natuurkunde Olympiade 2015 theorietoets deel 1

All optical networks. Door Bart Embrechts en Marijn Scheir

RF1456RGB. Gebruiksaanwijzing

Een oplossing voor het verpakken van GaN-op-200mm- Si vermogen-componenten

Gebruikershandleiding. FIRT 550-Pocket

Augustus blauw Fysica Vraag 1

Augustus geel Fysica Vraag 1

Wie is Simac? Simac Electronics

PRODUCTBROCHURE PRECITEC LR. Optische sensor voor oppervlakken waarbij extreme nauwkeurigheid noodzakelijk is

GASGESTOOKTE LUCHTVERHITTERS BLONDEAU INDUSTRIAL HEATING

INHOUD INLEIDING 15 5 AARDING IN ELEKTRICITEITS NETTEN AANSLUITMOGELIJKHEDEN 70. Alles over aarding - 9

Coaxial Plasmonic Metamaterials for Visible Light M.A. van de Haar

Silicium-fotonica interposers voor 400Gb/s (en snellere) optische verbindingen

Departement industriële wetenschappen en technologie

Overzicht. Risicobeoordeling.. A-normen. B-normen. Indeling C-norm Samenhang A-, B- en C-normen

Exact Periode 5. Dictaat Licht

Polarisatie. Overig Golven, Polarisatie,

34 e Internationale Natuurkunde Olympiade Taipei, Taiwan Experimentele toets Woensdag 6 augustus 2003 Beschikbare tijd: 5 uur. Lees dit eerst!

Faculteit Biomedische Technologie. 9 april 2018, 18:00-21:00 uur

Meten, monitoren en managen.

natuurkunde vwo 2018-II

Studieopdracht Optische Communicatie : De Hybriede Silicium LASER

Multifunctionele laser! RL-SV2S DUBBELAFSCHOTLASER. TOPCON GUARANTEE Professionele bouwlaser voor binnen en buiten

Installatie oplossingsgids

Het Optisch Transportnetwerk: Technologie & Standaardisatie

Optische communicatie

Gravitatiegolven & Technology Transfer

De chip: hoe iets piepkleins een ware wereldrevolutie veroorzaakte

2.1 Wat is licht? 2.2 Fotonen

Afdelingsnieuws: Illegale koordloze telefoon(s): Opgelet, een gewaarschuwd mens geldt voor twee

Diffractie door helix structuren (Totaal aantal punten: 10)

Basisprincipes glasvezelcommunicatie

Modem en Codec. Telematica. Amplitude-modulatie. Frequentie-modulatie. Soorten modems. Fase-modulatie

Light trapping in thin-film solar cells using dielectric and metallic nanostructures M. van Lare

TECHNISCHE UNIVERSITEIT EINDHOVEN. Eindtoets Experimentele Fysica 1 (3A1X1) - Deel 2. 6 november 2015 van 10:00 12:00 uur

RF658RGY. Gebruiksaanwijzing

Eindtermen 2B Installeren van netwerkinfrastructuren

Laser: optische straling. Kris Schoonjans 15 november 2018

Hertentamen Optica. 20 maart Zet je naam, studentennummer en studierichting bovenaan elk vel dat je gebruikt. Lees de 6 opgaven eerst eens door.

I SEE DE SEECOAT BLUE REVOLUTIE

Eerste officiële cijfers over de digitale kloof in België

Multimedia, kan het nog eenvoudiger?

Cover Page. The handle holds various files of this Leiden University dissertation.

RF STANDAARD THERMOSTAAT

Inleiding elektronica Presentatie 1

Als de trapper in de stand van figuur 1 staat, oefent de voet de in figuur 2 aangegeven verticale kracht uit op het rechter pedaal.

FACULTEIT TECHNISCHE NATUURKUNDE. Kenmerk: /vGr. Datum: 24 juli 2000 TENTAMEN

Parallelle Optische Verbindingen op Basis van Resonantecaviteits-LED s Resonant Cavity Light Emitting Diode Based Optical Interconnect Links

Loodvrij verbinden bij ECN

In de figuur hieronder zie je een Elektromagnetische golf: een golf die bestaat uit elektrische en magnetische trillingen.(zie figuur).

Samenvatting. Introductie

Transcriptie:

Verticaal gekoppelde microringresonatoren gefabriceerd met waferbonding Ilse Christiaens

Overzicht - Inleiding - Breedbandverbindingen - Optische netwerken - Optische chips - Ringresonatoren - Metingen - Conclusies

Breedbandverbindingen ADSL: Telefoonlijn Normaal 512 kb/s Maximum 6 Mb/s Telenet: Coaxiaal 5 Mb/s tot 10 Mbit/s

Optische vezel Optische vezel honderden Gbit/s of meer 10 DVD s per seconde

Overzicht - Inleiding - Breedband verbindingen - Optische netwerken - Optische chips - Ringresonatoren - Metingen - Conclusies

Netwerken: vroeger V.S. Volledig elektrisch Onderzeese kabel Europa

Netwerken V.S. Beetje optisch Onderzeese VEZEL Europa

Netwerken V.S. Onderzeese VEZEL Europa

Netwerken V.S. Europa

Netwerken: vandaag V.S. Nog geen vezel tot aan de deur Europa

Onderdelen van een optisch netwerk? Versterken Regenereren Laserdiode Optische vezel

Onderdelen van een optisch netwerk? WDM: wavelength division multiplexing Radio 1 Studio Brussel Optische vezel Klara Q-music

Onderdelen van een optisch netwerk? WDM: wavelength division multiplexing Radio 1 Optische vezel Studio Brussel Klara Q-music Filter!

Onderdelen van een optisch netwerk? V.S. Versterken Regenereren Sturen Europa

Onderdelen van een optisch netwerk? V.S. Europa

Volledig optisch netwerk? V.S. Elektrische toegang Elektrische knooppunten OPTISCH! Europa Groot, duur

Hoe deden ze dat in de elektronica? ENIAC 1948 INTEGRATIE 2000

Overzicht - Inleiding - Breedband verbindingen - Optische netwerken - Optische chips - Ringresonatoren - Metingen - Conclusies

Optische chips GOLFGELEIDER Hogere brekingsindex

Optische netwerken? Optische toegang Graafwerken Optische knooppunten met optische chips Versterking Regeneratie Sturen van het signaal Filteren Nog te duur, niet altijd op punt KOST!!!! Meer integratie

Goedkope optische chips? Integratie Zoveel mogelijk functies op een zo klein mogelijke oppervlakte Elektronica Fotonica Silicium Silicium, InP, GaAs, Glas,. Heterogene integratie met waferbonding Transistor? Ringresonator

Overzicht - Inleiding - Ringresonatoren - Wat? - Werking - Simulatie - Soorten - Fabricage, waferbonding - Metingen - Conclusies

Bouw van een ringresonator

Overzicht - Inleiding - Ringresonatoren - Wat? - Werking - Soorten - Fabricage, waferbonding - Metingen - Conclusies

Interferentie Destructieve interferentie Golflengte λ Constructieve interferentie

Uit resonantie λ 1

In resonantie λ 2

Het geheel 1 Tranmissie (a.u.) 0.8 0.6 0.4 0.2 0 1540 1545 1550 1555 1560 1565 1570 Golflengte (nm)

Functie, voordelen? Klein Schaalbaar Veelzijdig Filter Lasers Schakelaar

Overzicht - Inleiding - Ringresonatoren - Wat? - Werking - Simulatie - Soorten - Fabricage, waferbonding - Metingen - Conclusies

photonics research group Gebogen golfgeleider Bochtmode Bovenaanzicht Zijaanzicht

Koppeling tussen recht en bocht

Overzicht - Inleiding - Ringresonatoren - Wat? - Werking - Simulatie - Soorten - Fabricage, waferbonding - Metingen - Conclusies

Horizontaal gekoppeld 2.5 Vertical (µm) 2 1.5 1 0.5 0 0 2 4 6 8 Horizontal (µm)

Verticaal gekoppeld 2.5 2 Vertical (µm) 1.5 1 0.5 0 0 2 4 6 8 Horizontal (µm)

Vergelijking Vertical (µm) 2.5 2 1.5 1 Vertical (µm) 2.5 2 1.5 1 0.5 0.5 0 0 2 4 6 8 Horizontal (µm) 0 0 2 4 6 8 Horizontal (µm)

Overzicht - Inleiding - Ringresonatoren - Wat? - Werking - Soorten - Simulatie - Fabricage, waferbonding - Metingen - Conclusies

Proces glasplaat fotoresist Epitaxiaal lagen InGaAsP InP Ets stop laag InP-substraat

Proces BCB lijm Transfer substraat

Proces BCB lijm Transfer substraat

Cleanroom 10 000 keer minder stof dan in de modale huiskamer

Wafers

Lithografie

Etsen

Bonden met BCB

Bonden met BCB

Verdunnen

Het eindresultaat Menselijk haar

Wat kan er fout gaan?

Overzicht - Inleiding - Ringresonatoren - Metingen - Meetopstelling - Metingen - Thermisch afstemmen - Conclusies

Meetopstelling

Meetopstelling

Metingen Stralen van 30 µm tot 10 µm Simulatie laat toe om fenomenen als hogere orde excitatie en polarizatieconversie te voorspellen 1.20 1.00 Transmissie (a.u.) 0.80 0.60 0.40 0.20 0.00 1530 1535 1540 1545 1550 1555 1560 Golflengte (nm)

Overzicht - Inleiding - Ringresonatoren - Metingen - Meetopstelling - Metingen - Thermisch afstemmen - Conclusies

Afstemmen? Radio 1 Studio Brussel Optische vezel Klara Q-music

Afstemmen? Tranmissie (a.u.) 1 0.8 0.6 0.4 0.2 Studio Brussel Radio 1 0 1540 1545 1550 1555 1560 1565 1570 Golflengte (nm)

Thermisch afstemmen Ring Cr- contacten voor thermisch afstemmen

Thermisch afstemmen 50 mw 15nm 1.0 Transmissie (a.u.) 0.8 0.6 0.4 0.2 3.16 nm 0 mw 10 mw 0.0 1550 1555 1560 1565 Golflengte (nm)

Conclusies Waferbonding proces Werd ontwikkeld Ringresonatoren gefabriceerd Ook actieve componenten zoals lasers en LED s Thermisch afstembare ringresonatoren gedemonstreerd Basis voor nieuw onderzoeksdomein in de fotonicagroep Simulatie Ontwikkelen van eigen software voor de koppeling Evaluatie van commerciële software Goede overeenkomst met experiment

Dank u!