Annual General Meeting 2014

Annual General Meeting 2014 Veldhoven,

Forward looking statements Safe Harbor Statement under the US Private Securities Litigation Reform Act of 1995: the matters discussed in this document may include forward-looking statements, including statements made about our outlook, expected sales levels, systems backlog, IC unit demand, expected financial results, gross margin and expenses, and intention to repurchase shares. These forward looking statements are subject to risks and uncertainties including: economic conditions, product demand and semiconductor equipment industry capacity, worldwide demand and manufacturing capacity utilization for semiconductors (the principal product of our customer base), including the impact of general economic conditions on consumer confidence and demand for our customers' products, competitive products and pricing, the impact of manufacturing efficiencies and capacity constraints, the continuing success of technology advances and the related pace of new product development and customer acceptance of new products, the number and timing of EUV systems expected to be shipped, our ability to enforce patents and protect intellectual property rights, the risk of intellectual property litigation, availability of raw materials and critical manufacturing equipment, trade environment, changes in exchange rates, available cash, distributable reserves for dividend payments and share repurchases, our ability to successfully integrate Cymer, and other risks indicated in the risk factors included in ASML's Annual Report on Form 20-F and other filings with the US Securities and Exchange Commission Slide 2

Agenda van de Jaarlijkse Algemene Vergadering van Aandeelhouders van ASML Holding N.V. (de Vennootschap ), te houden op woensdag 23 april 2014, om 14.00 uur in het Auditorium, ASML Gebouw 7, De Run 6665, Veldhoven. Slide 3 1. Opening. 2. Overzicht van de activiteiten, inclusief de activiteiten op het gebied van maatschappelijk verantwoord ondernemen, en de financiële situatie van de Vennootschap. (Discussiepunt)

Slide 4 2013 review

2013 highlights Net sales of 5,245 million, gross margin 41.5%, net income 1,015 million, EPS 2.36 Slide 5 Completed acquisition of Cymer Without the acquisition-related impact, the full-year 2013 net income would have been 139 million higher. The gross margin would have been 43.1% (see pro forma financial overview on www.asml.com) Shipped 3rd generation EUV systems Delivered next generation immersion NXT:1970Ci systems supporting multiple patterning requirements for the next few years Implemented holistic litho products for 20 nanometer node volume manufacturing Returned more than 500 million cash to shareholders through combined dividend and share buy backs

Net system sales breakdown in value: 2013 Total value is 3,993 million Technology KrF 18% I-line 1% ArF dry 1% EUV 2% Region End-Use Memory 37% IDM 11% Slide 6 ArF Immersion 78% China 9% Numbers have been rounded for readers convenience Taiwan 47% Korea 25% USA 11% Japan 3% Europe 3% Rest of Asia 2% Foundry 52% 1 77 Sales in Units 2 64 13 EUV ArF i ArFdry KrF I-Line

Consolidated statements of operations M Slide 7 2012 2013 Net sales** 4,732 5,245 Gross profit 2,005 2,177 Gross margin % 42.4% 41.5% Other income (CCIP*) 0 64 R&D costs (589) (882) SG&A costs (259) (312) Income from operations 1,157 1,048 Operating income % 24.4% 20.0% Net income 1,146 1,015 Net income as a % of net sales 24.2% 19.4% Earnings per share (basic) 2.70 2.36 * Customer Co-Investment Program Numbers have been rounded for readers convenience ** incl. 55 million CCIP contribution

Balance sheets M Cash & cash equivalents and short-term investments Assets Dec 31 st, 2012 Dec 31 st, 2013 2,698 36% 3,011 26% Net accounts receivable and finance receivables 909 12% 1,175 10% Inventories, net 1,857 25% 2,393 21% Other assets 558 8% 635 5% Tax assets 200 3% 296 3% Goodwill 149 2% 2,089 18% Other intangible assets 10 0% 697 6% Property, plant and equipment 1,030 14% 1,218 11% Liabilities and shareholders equity Total assets 7,411 100% 11,514 100% Current liabilities 2,087 28% 2,869 25% Non-current liabilities 1,257 17% 1,723 15% Shareholders equity 4,067 55% 6,922 60% Slide 8 Total liabilities and shareholders equity 7,411 100% 11,514 100% Numbers have been rounded for readers convenience

Total net sales M Net Sales 6000 5000 4000 3000 2000 955 494 934 697 930 844 1000 949 919 0 3,768 2,954 1,596 581 4,508 5,651 5,245 1,211 4,732 1,023 1,848 1,521 1,459 1,229 1,318 1,176 1,529 1,228 1,187 1,069 YTD 555 1,452 1,252 1,397 742 892 277 183 2007 2008 2009 2010 2011 2012 2013 2014 Q1 Q2 Q3 Q4 Slide 9 Numbers have been rounded for readers convenience

Total net sales M by End-use Net Sales 6000 5000 4000 3,768 417 3000 487 570 2000 1000 0 2,954 437 358 698 2,294 1,461 1,596 421 315 233 627 4,508 5,651 767 5,245 4,732 1,252 613 930 1,856 944 2,064 366 844 2,279 440 2,585 588 2,184 1,489 935 YTD 2007 2008 2009 2010 2011 2012 2013 2014 367 145 199 686 Slide 10 Memory IDM Foundry Service & Options Numbers have been rounded for readers convenience

Slide 11 Q1 2014 details

. Q1 results highlights Net sales of 1,397 million, 40 litho systems sold, valued at 1,030 million, net service and field option sales at 367 million Slide 12 Gross margin of 43.6% Positively impacted by product mix and holistic litho sales Includes negative impact of 2.0% due to revenue recognition of 1 EUV system Operating margin of 19.0% Net bookings of 1,070 million, 30 systems Backlog at 1,939 million, 47 systems Net bookings and backlog numbers are excluding EUV Numbers have been rounded for readers convenience

Bookings activity by sector Slide 13 Total value M 1,070 Foundry IDM 32% 25% Foundry 40% Net booked 27 new tools at 1,055 million ASP 39.1 million 3 used tools at 15 million Memory 35% EUV not included Numbers have been rounded for readers convenience

Backlog in value per Mar 30, 2014 Slide 14 Total value M 1,939 Technology Region (ship to location) USA 44% ArF dry 2% KrF 6% i-line 1% Rest of Asia 3% Europe 6% ArF immersion 91% End-use Foundry 33% Taiwan 11% Korea 32% China 4% 65% of backlog carries shipment dates in the next 6 months Memory 32% EUV not included Numbers have been rounded for readers convenience IDM 35% New systems Used systems Total systems Units 39 8 47 Value M 1,908 32 1,939 ASP M 48.9 3.9 41.3

Slide 15 Outlook

Outlook Q2 2014 net sales around 1.6 billion, including EUV Slide 16 Gross margin around 44-45%, including EUV R&D costs of about 270 million SG&A costs of about 85 million Other income (Customer Co-Investment Program) of about 20 million Q3 2014 net sales around 1.4 billion, including EUV 3 EUV systems to be revenue recognized in Q2 + Q3 2014 combined

Slide 17 Shareholder returns

Capital return to shareholders ASML proposes to again increase dividend by 15% to 0.61 per ordinary share Time schedule: Ex-date 25 April, Record date 29 April, Payment date 13 May In Q1, ASML acquired 2.3 million shares for a total consideration of 147 million Of the 1.0 billion 2013-2014 buy back program 45% has been executed The repurchased shares will be cancelled ASML returned more than 4.5 billion in dividend and share buy backs since 2006 Slide 18 Dividend history (with associated year) Cumulative capital return (cash) 0.7 5000 Dividend (euro) 0.6 0.5 0.4 0.3 0.2 0.1 0.25 0.20 0.20 0.40 0.46 0.53 0.61 millions 4000 3000 2000 1000 Y T D Dividend Share buy back 0 2007 2008 2009 2010 2011 2012 2013 0 2006 2007 2008 2009 2010 2011 2012 2013 2014

Slide 19 Business environment

Business environment for 2014 Bit growth forecast ~40% driven by SSD drives and smartphones Demand being met through shrink and capacity expansion Challenges in qualification of vertical NAND and future node planar technologies, creating litho demand timing uncertainty Slide 20 Bit growth forecast of 20-30% Bits supplied by planned technology transitions meet bit demand forecast Litho process intensity increases due to node transition and mobile DRAM process complexity Sector is in the fastest Logic ramp-up Customers are installing capacity for their 20/16/14 nanometer nodes Timing uncertainty in next generation device designs and production ramps Market growth uncertainty around PCs, high-end smartphones and tablets

Slide 21 ASML technology status

EUV overview 4 NXE:3300B systems have shipped, of which 2 systems exposing wafers at the customer site 2 systems under install Slide 22 7 more NXE:3300B systems in various states of integration 1 system (#5) is shipping First NXE:3350 systems have been started EUV cleanroom extension is under construction

EUV progress toward production insertion Slide 23 Multiple customers are qualifying EUV for insertion at the 10 nanometer logic node For process development, customers typically require 100 wafers per day, increasing to 500 wafers per day on average for production qualification We have provided customers with process development capability In 2016 we will provide our customers with the productivity needed for volume production Our target is to recognize a total of 8 EUV systems in revenue in 2014

Other product highlights Rapid adoption of our most advanced immersion tool NXT:1970Ci is illustrated by 10 tool shipments and a backlog of 24 We have expanded our TWINSCAN NXT portfolio to include the NXT:1965Ci, which will provide the optimum cost of ownership on a common platform and which will be upgradeable to the performance of the NXT:1970Ci and its successor We saw a significant increase in sales of YieldStar metrology systems in 2013. These machines generate data used to control overlay, CD and focus for the most advanced process nodes. With YieldStar as a driver, Holistic Lithography sales doubled in 2013 versus 2012 Yieldstar adoption rate for 20 nanometer Logic volume manufacturing approaching 100%; starting to gain traction in memory Brion and a major foundry customer reached agreement on a comprehensive deal covering access to all of Brion s computational lithography solutions. This is the 3rd such deal with a foundry customer completed by Brion in 2013 Slide 24

Three Strategic Pillars Technology Leadership Customer and Supplier intimacy People and Processes Functional product design Customers: Don t say no People Operational fundamentals Suppliers: 700 companies, one business Efficient processes

1984 Slide 26

Slide 27 It started with 31 people in a barracks in Eindhoven. Today, around 13,500 people around the globe continue the mission of sustaining Moore's Law towards ever smaller, cheaper, more powerful and energy-efficient semiconductors.

Agenda Proefstemming. Slide 29 Het was rustig op de weg.

Agenda 3. Bespreking van de uitvoering van het Beloningsbeleid (versie 2010) voor de Directie over het boekjaar 2013. (Discussiepunt) Slide 30

Execution of the Remuneration Policy Some highlights of the execution of the Remuneration Policy (2010) for the Board of Management in 2013 are: 1. Base salaries of the members of the BoM have been increased with 3% per January 1, 2013 (Veldhoven Employees: 4%, Veldhoven Management: 3%) 2. Short Term Incentive (STI) payout over 2013 has been 59.8% (target: 60%) 3. Long Term Incentive (LTI) payout over performance period 2011-2012-2013 has been 95% of max 1. ASML ranked 1 st in the ROAIC rank in the Peer Group (leading to a payout of 100% of max) 2. The qualitative target was evaluated at 75% of max Slide 31 4. With their appointment as Presidents of ASML per July 1, 2013, the base salaries of Mr. Wennink and Mr. Van den Brink have been adjusted (STI and LTI treatment is unchanged) 1. Both Presidents receive the same base salary (inbetween CEO and regular BoM member) 5. Per December 1, 2013, Mr. Nickl started at ASML with a base salary of 600,000 1. Mr. Nickl was hired under the conditions of the (new) 2014 Remuneration Policy 2. Mr. Nickl s variable pay entitlements for 2013 (STI and LTI) have been settled in cash 3. Mr. Nickl received performance related shares to partly compensate for waived LTI rights in his former Company

Mutual Consent Termination Mr. Meurice Summary of the Conditions as agreed with Mr. Meurice 1. Role between July 1, 2013 and March 31, 2014 (end of contract): Chairman of ASML Holding N.V.: He ensured a smooth and comprehensive transition of critical tasks and processes, customer contacts and relations, He has personally driven the execution of projects that are of strategic importance to ASML 2. LTI settlement: accelerated vesting and release Due to the consistent performance level of ASML, the accelerated vesting and release will have little or no impact (+ or -) on the remuneration of Mr. Meurice Slide 32

Agenda 4. Bespreking van het jaarverslag 2013, inclusief het corporate governance hoofdstuk, en voorstel tot vaststelling van de overeenkomstig de Nederlandse wet opgestelde jaarrekening over het boekjaar 2013. (Stempunt) Slide 33

Agenda 5. Voorstel tot verlening van decharge aan de leden van de Directie voor de uitoefening van hun functie in het boekjaar 2013. (Stempunt) Slide 34

Agenda 6. Voorstel tot verlening van decharge aan de leden van de Raad van Commissarissen voor de uitoefening van hun functie in het boekjaar 2013. (Stempunt) Slide 35

Agenda 7. Toelichting op het reserverings- en dividendbeleid van de Vennootschap. (Discussiepunt) Slide 36

Agenda 8. Voorstel tot vaststelling van een dividend van 0,61 Euro per gewoon aandeel van 0,09 Euro. (Stempunt) Slide 37

Agenda 9. Voorstel tot vaststelling van enige aanpassingen op het Beloningsbeleid (versie 2014) voor de Directie ( Beloningsbeleid ). (Stempunt) Slide 38

Share ownership guidelines Slide 39 Regarding the share ownership guidelines for members of the Board of Management as laid down in the 2014 Remuneration Policy, the Remuneration Committee will: Include vested ASML shares that are still in the Holding Period when determining the value of the ASML shares held by the individual BoM members; After each financial year, determine the value of ASML shares then held by the individual BoM members, based on the shareholding data of the members of the BoM (to be) published in the annual report over that year; Not define penalties upfront should the value of ASML shares held by a BoM member be lower than agreed, but determine potential penalties by using its discretionary judgment, thereby taking into consideration all relevant circumstances; Allow new BoM members time to meet the share ownership requirements

Agenda 9. Voorstel tot vaststelling van enige aanpassingen op het Beloningsbeleid (versie 2014) voor de Directie ( Beloningsbeleid ). (Stempunt) Slide 40

Agenda 10. Voorstel tot goedkeuring van het aantal aandelen toe te kennen aan de Directie, welk aantal zal worden bepaald volgens de berekeningsmethode beschreven in het Beloningsbeleid, en aanwijzing van de Directie als het orgaan dat bevoegd is om, met goedkeuring van de Raad van Commissarissen, te besluiten tot uitgifte van de aandelen voor het boekjaar 2015. (Stempunt) Slide 41

Agenda 11. Voorstel tot goedkeuring van het aantal opties, respectievelijk aandelen, toe te kennen aan werknemers. (Stempunt) Slide 42

Agenda 12. Samenstelling van de Directie. (Discussiepunt) Kennisgeving van de voorgenomen herbenoemingen van de heren P.T.F.M. Wennink en M.A. van den Brink; Kennisgeving van de voorgenomen herbenoeming van de heer F.J.M. Schneider-Maunoury; Kennisgeving van de voorgenomen benoeming van de heer W.U. Nickl. Slide 43

Agenda 13. Samenstelling van de Raad van Commissarissen. (Twee stempunten) Slide 44

Agenda 13a. Voordracht door de Raad van Commissarissen van de heer F.W. Fröhlich voor herbenoeming als lid van de Raad van Commissarissen met ingang van 23 april 2014. (Stempunt) Slide 45

Agenda 13b. Voordracht door de Raad van Commissarissen van de heer J.M.C. Stork voor benoeming als lid van de Raad van Commissarissen met ingang van 23 april 2014. (Stempunt) Slide 46

Agenda 14. Samenstelling van de Raad van Commissarissen in 2015. (Discussiepunt) Mededeling dat mevrouw H.C.J. van den Burg bij rotatie zal aftreden in 2015; Mededeling dat de heer F.W. Fröhlich bij rotatie zal aftreden in 2015. Slide 47

Agenda 15. Voorstel tot aanpassing van de beloning van de Raad van Commissarissen. (Stempunt) Slide 48

Proposal to adjust the remuneration of the Supervisory Board Slide 49 Position Current Remuneration Proposed Remuneration Benchmark* Chairman SB 70,000 95,000 90,000 Vice-Chairman SB 55,000 65,000 62,500 Member SB (Europe) 50,000 60,000 57,500 Member SB (outside Europe) 80,000 80,000 Chairman AC 15,000 15,000 13,750 Member AC 10,000 10,000 10,000 Chairman RC, S&NC, T&SC 12,000 12,000 10,000 Member RC, S&NC, T&SC 8,000 8,000 8,000 Proposed Remuneration to be effective as of April 1, 2014 and applicable for two years *The benchmark consists of the group of AEX companies (with two tier boards) equal to the reference group for the Board of Management

Agenda 15. Voorstel tot aanpassing van de beloning van de Raad van Commissarissen. (Stempunt) Slide 50

Agenda 16. Voorstel tot herbenoeming van de Externe Accountant voor het rapportagejaar 2015. (Stempunt) Slide 51

Agenda 17. Voorstellen om de Directie aan te wijzen als het orgaan dat bevoegd is tot uitgifte van aandelen of rechten daarop in het kapitaal van de Vennootschap, binnen de grenzen van de statuten van de Vennootschap, alsmede tot het beperken of uitsluiten van het aan de aandeelhouders toekomende voorkeursrecht. (Stempunten) Slide 52

Agenda 17a. Voorstel om de Directie vanaf 23 april 2014 voor een periode van 18 maanden aan te wijzen als het orgaan dat bevoegd is om, met goedkeuring van de Raad van Commissarissen, te besluiten tot uitgifte van aandelen of rechten daarop in het kapitaal van de Vennootschap. Deze bevoegdheid wordt beperkt tot 5% van het geplaatste kapitaal ten tijde van de delegatie. (Stempunt) Slide 53

Agenda 17b. Voorstel om de Directie vanaf 23 april 2014 voor een periode van 18 maanden aan te wijzen als het orgaan dat bevoegd is om, met goedkeuring van de Raad van Commissarissen, te besluiten tot het beperken of uitsluiten van het aan de aandeelhouders toekomende voorkeursrecht in verband met de tenuitvoerlegging van de onder a. beschreven uitgifte van aandelen of rechten daarop. (Stempunt) Slide 54

Agenda 17c. Voorstel om de Directie vanaf 23 april 2014 voor een periode van 18 maanden aan te wijzen als het orgaan dat bevoegd is om, met goedkeuring van de Raad van Commissarissen, te besluiten tot uitgifte van een additionele 5% van het geplaatste kapitaal ten tijde van de delegatie, welke 5% uitsluitend in verband met of ter gelegenheid van fusies, acquisities en/of (strategische) allianties kan worden aangewend. (Stempunt) Slide 55

Agenda 17d. Voorstel om de Directie vanaf 23 april 2014 voor een periode van 18 maanden aan te wijzen als het orgaan dat bevoegd is om, met goedkeuring van de Raad van Commissarissen, te besluiten tot het beperken of uitsluiten van het aan de aandeelhouders toekomende voorkeursrecht in verband met de tenuitvoerlegging van de onder c. beschreven uitgifte van aandelen of rechten daarop. (Stempunten) Slide 56

Agenda 18. Voorstellen om de Directie te machtigen om gewone aandelen in de Vennootschap te verwerven. (Stempunten) Slide 57

Agenda 18a. Voorstel om de Directie voor een periode van 18 maanden, ingaande 23 april 2014, te machtigen om, onder voorbehoud van goedkeuring door de Raad van Commissarissen, ter beurze of anderszins gewone aandelen in de Vennootschap te verwerven onder bezwarende titel tot een maximum van 10% van het geplaatste kapitaal ten tijde van de machtiging (23 april 2014), voor een prijs gelegen tussen enerzijds het bedrag gelijk aan de nominale waarde van de aandelen en anderzijds een bedrag gelijk aan 110% van de beurskoers van aandelen genoteerd aan Euronext Amsterdam by NYSE Euronext ( Euronext Amsterdam ) of Nasdaq Stock Market LLC ( Nasdaq ); hierbij zal als beurskoers gelden: het gemiddelde van de hoogste prijs van de laatste vijf dagen waarop handel plaatsvond voorafgaand aan de dag van de verkrijging, zoals gepubliceerd in de Officiële Prijscourant van Euronext Amsterdam of zoals genoteerd aan Nasdaq. (Stempunt) Slide 58

Agenda 18b. Voorstel om de Directie voor een periode van 18 maanden, ingaande 23 april 2014, te machtigen om, onder voorbehoud van goedkeuring door de Raad van Commissarissen, ter beurze of anderszins additioneel gewone aandelen in de Vennootschap te verwerven onder bezwarende titel tot een maximum van 10% van het geplaatste kapitaal ten tijde van de machtiging (23 april 2014), voor een prijs gelegen tussen enerzijds het bedrag gelijk aan de nominale waarde van de aandelen en anderzijds een bedrag gelijk aan 110% van de beurskoers van aandelen genoteerd aan Euronext Amsterdam of Nasdaq; hierbij zal als beurskoers gelden: het gemiddelde van de hoogste prijs van de laatste vijf dagen waarop handel plaatsvond voorafgaand aan de dag van de verkrijging, zoals gepubliceerd in de Officiële Prijscourant van Euronext Amsterdam of zoals genoteerd aan Nasdaq, één en ander onder de voorwaarden zoals vermeld in de Agenda. (Stempunt) Slide 59

Agenda 19. Voorstel tot intrekking van gewone aandelen. (Stempunt) Voorstel tot intrekking van gewone aandelen in het kapitaal van de Vennootschap, welke gewone aandelen zijn of zullen worden ingekocht door de Vennootschap. Het aantal aandelen dat zal worden ingetrokken zal worden vastgesteld door de Directie, doch zal niet meer bedragen dan 20% van het geplaatste kapitaal van de Vennootschap per 23 april 2014. Slide 60

Agenda 20. Rondvraag. Slide 61 21. Sluiting