Nieuwe detectoren. De brede blik van boor. 25 jaar Dimes. Youp van t Hek. Dimes zoekt geld. Chips, maar dan anders. Mensen blijven hangen in clichés



Vergelijkbare documenten
Deel het leven Johannes 4:1-30 & december 2014 Thema 4: Gebroken relaties

Ik ben Sim-kaart. Mobiel bellen groep 7-8. De Simkaart is een meisje, tikkeltje ondeugend en een echte kletsgraag. Aangeboden door

Die nacht draait Cees zich naar me toe. In het donker voel ik heel zachtjes zijn lippen op mijn wang.

Ik ben Sim-kaart. Mobiel bellen groep 5-6. De Simkaart is een meisje, tikkeltje ondeugend en een echte kletsgraag. Aangeboden door

Lekker ding. Maar Anita kijkt boos. Hersendoden zijn het!, zegt ze. Die Jeroen is de ergste. Ik kijk weer om en zie hem meteen zitten.

Verhaal: Jozef en Maria

Karin de Galan. Karin de Galan (1967) is sinds 1991 trainer en coach.

Het is de familieblues. Je kent dat gevoel vast wel. Je zit aan je familie vast. Voor altijd ben je verbonden met je ouders, je broers, je zussen.

Er was eens een Kleine Ziel die tegen God zei: Ik weet wie ik ben, ik ben het licht net als alle andere zielen.

de aanbieding reclame, korting De appels zijn in de a Ze zijn vandaag extra goedkoop.

0-3 maanden zwanger. Zwanger. Deel 1

H E T V E R L O R E N G E L D

Dit boek heeft het keurmerk Makkelijk Lezen gekregen. Wilt u meer weten over dit keurmerk kijk dan op de website:


Samenvatting. Wat is licht

Stagedag Christiaan Huygens College, Eindhoven Natuurwetenschappelijk onderzoek 2, dd. 8 april 2008

1 Ben of word jij weleens gepest?

Theorieboek. leeftijd, dezelfde hobby, of ze houden van hetzelfde. Een vriend heeft iets voor je over,

Johannes 6, We danken God, want Jezus zorgt voor ons

HET BELANGRIJKSTE OM TE WETEN OM MEER ZELFVERTROUWEN TE KRIJGEN

Visual Storytelling Analyse van een Infographic. Het Frisia-Nederland conflict

Werkboek Het is mijn leven

Waarom deze boot? Joop de Jong (47) Klasse IOM of 1-meterklasse Lengte 100 cm Nieuwprijs complete set vanaf 700 Website

Doorbreek je belemmerende overtuigingen!

Design Document If This Then That. HSP moodlight Liad Damhuis G&I1B Game Art

O, antwoordde ik. Verder zei ik niets. Ik ging vlug de keuken weer uit en zonder eten naar school.

Aan de Schrans in Leeuwarden is één van de meest opvallende orthodontiepraktijken. van Noord-Nederland gevestigd. Daarin werkt

Koningspaard Polle en de magische kamers van paleis Kasagrande

Voortaan haal ik, zodra ik wilde wingerd zie, de plant gelijk uit de heg. Wat opvalt is, dat hij steeds weer terugkomt: op blijven letten dus!

FOUT VRIENDJE? PAS OP! Hulp. Internet. Heb je vragen? Bel dan naar Meldpunt Jeugdprostitutie, tel.:

ze er iets gewichtigs mee wil aangeven, al is het nooit duidelijk haar schouders reikte, is nagenoeg gehalveerd. Een simpele

Weer naar school. De directeur stapt het toneel op. Goedemorgen allemaal, zegt hij. * In België heet een mentor klastitularis.

FLIPPEN. Naam: Ruben van Dijk Datum van inlevering: 28/11/06 Klas: M1C Tutorgroep: 2

Bij. research. Gemaakt door: Flore Wassenberg A3c Stage gelopen bij Ron en Janne.

Geelzucht. Toen pakte een vrouw mijn arm. Ze nam me mee naar de binnenplaats van het huis. Naast de deur van de binnenplaats was een kraan.

Vraag aan de zee. Vraag aan de tijd. wk 3. wk 2

Sneller scannen helpt om de prijs van een MRI-opname laag te houden. Philips

OPA EN OMA DE OMA VAN OMA

Wij zijn Kai & Charis van de Super Student en wij geven studenten zin in de toekomst.

Uit: Niks relatief. Vincent Icke Contact, 2005

Bevriend met Bram of met een autist

Soms ben ik eens boos, en soms wel eens verdrietig, af en toe eens bang, en heel vaak ook wel blij.

Netje is een meid! Vrolijke meid, uit een vissersdorp!

Ten slotte wens ik je veel plezier bij het lezen. Hopelijk geeft het de kennis en de inspiratie om ook zelf met je kinderen aan de slag te gaan!

Eerste nummer. Op kamers Eerst durfde ik de woonkamer niet naar binnen. Eetfobie. Het was moeilijk om te zien dat mijn nichtje van 5 meer at dan ik.

De Bloem (van plastic) is een meid van nu! Tikkeltje brutaal!

Spekkoek. Op de terugweg praat zijn oma de hele tijd. Ze is blij omdat Igor maandag mag komen werken.

HET VERHAAL VAN KATRIN

Concept WHAT S UP, LATER?!

PREVIEW. Probeer nu 1 dag DAVID DE JONGE JAREN VAN VIJF DAGEN: GOD, SPORT & JEZELF MET PRAKTISCHE, SPORT- EN PERSOONLIJKE VOORBEELDEN

!!!!! !!!!!!!!!!!! Uit: Glazen Speelgoed (Tennesse Williams)! (zacht) Hallo. (Ze schraapt haar keel)! Hoe voel je je nu? Beter?!

Zaken voor mannen. Verhalen van mannen met epilepsie

zondagmorgen 14 november 2010 Welkomkerk ds. W.H. Hendriks-Vogelaar

De Bloem (van plastic) is een meid van nu! Tikkeltje brutaal!

150 Tips om kinderen te laten zien dat je om ze geeft!

Naam: Mariska v/d Boomen. Klas: TG2C. Datum: 25 Juni. Docent: Van Rijt. Schrijfverslag.

Geloof tegenover gevoelens

DEEL 1. WERKBOEK 5 Eigen keuze Monique van Dam YOU: De keuze is aan jou!

HANDIG ALS EEN HOND DREIGT

JUST BE YOU.NL. Het mooiste wat je kunt worden is jezelf! 23 tips voor direct meer zelfvertrouwen. Marian Palsgraaf -

meest geweldige beslissing de basis van je hele business speels avontuur

Interview Han van der Maas

EINSTEIN. Weet je wat, ik neem mijn neef mee naar het laboratorium. Daar werken mijn assistenten met stikstof. Dat vindt hij vast mooi.

Nummer 1! Collector s item!

Dubbelspel. Alan Durant

Charles den Tex VERDWIJNING

Apostolische rondzendbrief

Alles om je heen is opgebouwd uit atomen. En elk atoom is weer bestaat uit protonen, elektronen en neutronen.

Bibliotheek Mysterie

Een van de agenten komt naar hem toe. Nou, het is me het dagje wel, zegt hij. Nu zijn er toch rellen in de stad.

hoe we onszelf zien, hoe we dingen doen, hoe we tegen de toekomst aankijken. Mijn vader en moeder luisteren nooit naar wat ik te zeggen heb

Ik besloot te verder te gaan en de zeven stappen naar het geluk eerst helemaal af te maken. We hadden al:

Allemaal in ontwikkeling. Door: Rieke Veurink / Fotografie: Kees Winkelman

Bijlage interview meisje

[PILOT] Aan de slag met de Hoofdzaken Ster

Afsluiting kinderjury 2013

Bert staat op een ladder. En trekt aan de planten die groeien in de dakgoot. Hij verstopt de luidspreker en het stopcontact achter de planten.

BINNENSUIS Jehudi van Dijk

Hallo, ik ben Leo! Leuk om kennis met je te maken! Ik ben lang en dun en ik heb heel veel krullen. Ik moet eerlijk zeggen...ik mag er best wezen!

Dyslexie. Een grote tegenvaller. Een vervelend probleem

Misschien zit u hier wel met de grote vraag: wat is Kerst eigenlijk?

Pasen met peuters en kleuters. Jojo is weg

1Help: faalangst! 1.1 Verkenningen

in het midden Dit ben ik - maxx! computer tomografie voor kinderen.

Gijsje zonder staart geschreven door Henk de Vos (in iets gewijzigde vorm) Er was eens een klein lief konijntje, dat Gijs heette. Althans, zo noemden

CHATTEN. verborgen verdriet MARIAN HOEFNAGEL

Een gelukkige huisvrouw

Micha kijkt Ruben aan. Hij trekt een gek gezicht. Micha houdt niet van puzzelen, want de puzzels die oma maakt, zijn altijd heel erg moeilijk.

En rijke mensen werken niet. Die kunnen de hele dag doen wat ze leuk vinden.

Jouw avontuur met de Bijbel

kilometer hoogte. Bizar. Ik moet zeggen: ik had het me anders voorgesteld; meer zoals een atlas eruitziet.

Het huis van de angst en het huis van de liefde Preek van Jos Douma over Romeinen 8:15

Inhoud. Inleiding... 4 Hoofdstuk 1 Het ontstaan van de rechten... 6 Hoofdstuk 2 De belangrijkste rechten...12

Tekst: Job 16: 20 Thema: Doge jo wol? Bijzonderheden: Tweede zondag in de 40-dagentijd. Beste mensen,

De Budget Ster: omgaan met je schulden

Wie heeft die rare knopen erin gelegd? vraagt hij. Ik, geeft Bibi eerlijk toe. Vorige week waaide het nogal hard. Dus toen heb ik de rubberboot en

U in het middelpunt Die migraine hè Levenservaring verzilveren

Verteld door Schulp en Tuffer

Transcriptie:

DelftIntegraal MAGAZINE VAN DE TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT 2012 2 25 jaar Dimes Chips, maar dan anders Youp van t Hek Mensen blijven hangen in clichés Dimes zoekt geld Werken voor derden Nieuwe detectoren De brede blik van boor

nr. 2 2012 Inhoud 3 Kort Delfts: overzicht van het laatste nieuws uit Delft 10 Infographic: Looprobot 14 Uitgelicht 19 Column: Remco de Boer: Gebedsnoot 19 Werk in uitvoering 22 De zaak: Atelier LEK 6 De brede blik van boor 12 25 jaar Dimes: explosie van de chiptechniek Youp van t Hek: Studenten zijn vaak heel burgerlijk 16 20 Dimes moet commercieel 22 Visie: Stephan Lukosch over de virtuele wereld 23 Persoonlijk 24 Hora est, stellingen, cartoon, uitgesproken 25 Na Delft: Lonneke Boels 25 Desgevraagd: Singapore, the place to be 26 Alumninieuws Pathos Valorisatie is hét toverwoord geworden in de loop der jaren. Kennis moet naar de markt gebracht worden, en als het even kan daar geld opleveren. Hoe goed lukt dat eigenlijk? En wat voor invloed heeft die letterlijke geldingsdrang op het onderzoek dat aan een universiteit plaatsvindt? We vroegen het decaan Rob Fastenau naar aanleiding van het 25-jarig bestaan van het Delft Institute of Microsystems and Nanoelectronics. Dat instituut moet zelf geld gaan verdienen met productiewerk voor derden, omdat de vaste financiering over de komende vijf jaar wordt afgebouwd. Er komt meer kijken bij het vermarkten van kennis dan alleen innovatieve technologie maken. Vergeet niet hoe je de vergaarde kennis vervolgens presenteert, waarschuwt communicatieadviseur Remco de Boer. Net als de oude Grieken en Romeinen moet de moderne vernufteling zich in de retorica bekwamen. Ethos, logos, pathos. Hij verwijst naar de tragedie die het beslistraject rondom de Blankenburgtunnel genoemd mag worden. Cabaretier en cultureel hoogleraar Youp van t Hek staat de Delftse studenten de komende maanden bij om ze de wereld op een andere dan de academische manier te laten zien. Gelukkig maar. Want de door logos geregeerde ingenieur vergeet het wel eens, maar met een beetje pathos is uw gulden een daalder waard. Desnoods met behulp van cabaret. Frank Nuijens Hoofdredacteur Delft Integraal Coverfoto Sam Rentmeester Redactie Frank Nuijens (hoofdredacteur) Dorine van Gorp, Katja Wijnands (eindredactie) Saskia Bonger, Tomas van Dijk, Sam Rentmeester (beeldredacteur), Connie van Uffelen, Jos Wassink Telefoon (015) 278 4848 E-mail delftintegraal@tudelft.nl Medewerkers aan dit nummer Auke Herrema, Eric Verdult, Pascale Warners Abonnementsadministratie delftintegraal@tudelft.nl Telefoon (015) 2789111 Vormgeving en opmaak Saskia de Been, afdeling Media Solutions TU Delft Druk Deltahage BV, Den Haag Colofon Advertenties H&J uitgevers Telefoon (010) 451 5510 2

Tijdmachine Dr.ir. Willem-Paul Brinkman (EWI) ontwikkelt computerprogramma s die patiënten helpen bij het verwerken van trauma s. Bij de Erasmus Universiteit Rotterdam (EUR) loopt nu een proef met mensen die tijdens hun jeugd seksueel misbruikt zijn. Patiënten bouwen in een virtuele wereld de omgeving na waar het misbruik plaatsvond. Dit dwingt ze om te graven in het geheugen. Herinneringen worden minder pijnlijk als je vaker aan het voorval terugdenkt, aldus Brinkman. Het programma fungeert als een soort tijdmachine. De patiënt en therapeut kunnen de gebeurtenissen uit het verleden visualiseren door persoonlijke foto s, online geografische kaarten, webcamsnapshots, en de driedimensionale virtuele werelden te koppelen aan een tijdsbalk. Kort Delfts Inktvis in je hoofd Foto: Paul Breedveld www.delta.tudelft.nl/24510 Beter beeld Foto: Tomas van Dijk Biomechanicus dr.ir. Paul Breedveld heeft van NWO een Vici-beurs van anderhalf miljoen euro ontvangen om zijn extreem flexibele chirurgische tangen verder te ontwikkelen. Geïnspireerd door de bewegingen van inktvisarmen - die zonder botten in alle richtingen kunnen bewegen en daarbij de stijfheid nog kunnen variëren ook ontwikkelde Breedveld in 2004 zijn eerste stuurbare arm met het oog op chirurgische toepassingen. Breedveld wil het instrument nog dunner maken en het bovendien mogelijk maken de arm te splitsen. Hij hoopt dat zijn tangen eraan bijdragen dat minimaal invasieve operatietechnieken ook bij hersenoperaties mogelijk worden. www.delta.tudelft.nl/19445 Zonnecellen Vier maal scherper beeld van kankeruitzaaiingen in het lichaam, en dat drie maal sneller dan de huidige veertig minuten onderzoekstijd. Dat is waar de vinding van dr.ir. Herman van Dam (TNW) over een jaar of vijf toe kan leiden, aldus zijn promotie-begeleider dr. Dennis Schaart. Metastasen (uitzaaiingen van kanker) worden in beeld gebracht door een patiënt na injectie met een geschikt radio-isotoop (dat zich in tumoren ophoopt) in een PET-scanner te leggen. Gammastraling vanuit de patiënt wordt zichtbaar gemaakt door het lichtflitsje dat een gammafoton veroorzaakt in een speciaal kristal. Door nu één groot kristal te nemen in combinatie met meerdere lichtsensoren wist Van Dam zowel de gevoeligheid als de scherpte van de scanner te vergroten. Het onderzoek vindt plaats in samenwerking met Philips die een combinatie ontwikkelt van MRI en PET scanner. www.delta.tudelft.nl/24824 Foto: Philips Pr.dr.ir. Miro Zeman (EWI) ontving 750 duizend euro voor de verdere ontwikkeling van dunnefilm zonnecellen langs twee onderzoekslijnen. Het ene onderzoek, (deel van het FOM-programma Stirring of Light), heeft tot doel om een fotonisch materiaal te ontwikkelen dat alle licht invangt en naar het silicium leidt en de reflectie tot nul (zwart) reduceert. Het andere onderzoek, deel van het Europese KP7 programma, omvat de ontwikkeling van een tandemcel waarbij de bovenliggende cel voornamelijk blauw licht absorbeert en tweede cel de rest van het licht. Zeman richt op veertien procent rendementsverhoging op lange termijn, wat vergelijkbaar is met de commercieel verkrijgbare kristallijne zonnepanelen. Naar verwachting zullen dunnefilm zonnecellen echter een stuk goedkoper worden omdat ze honderden keren minder materiaal nodig hebben. Foto: Unisolar www.delta.tudelft.nl/24868 3

Kort Delfts Studiestress Delftse studenten hebben vaker last van studiestress dan hun collega s uit andere steden, blijkt uit een rondvraag onder bijna 5500 studenten in heel Nederland. Maar liefst 52,9 procent van de Delftse respondenten zegt ja op de vraag: heb je wel eens last van zeer grote stress over je studie?. Dat zeer groot werd uitgelegd als belemmerend voor je privéleven. Deze stress verergert als studenten denken dat zij met de langstudeerboete te maken zullen krijgen. Die boete speelt ook een rol bij de keuze voor een vervolgopleiding. Collegelid Paul Rullmann liet weten dit merkwaardig te vinden: In Delft wordt de vertraging vooral opgelopen in de bachelorstudie. Als men hier eenmaal doorheen is, halen de meesten de master in 2 tot 2,5 jaar. Dus waarom zou je je dan nog door de boete laten afschrikken? www.delta.tudelft.nl/24748 Strategische alliantie Foto: Hans Stakelbeek Twee elektronen voor één foton Het onderzoek naar zonnepanelen op basis van nanoquantumdots kwam in de belangstelling met een publicatie in het blad Nature Photonics (18 maart 2012). Daarin lieten prof. dr. Laurens Siebbeles (TNW) en prof.dr. Tom Gregorkiewicz (UvA) weten dat ze erin geslaagd waren om met één foton twee elektronen vrij te maken in een laag van dicht opeengepakte quantumnanodots. Als een invallend lichtdeeltje (foton) meer energie heeft dan nodig is om een elektron-gat-paar te maken, gaat dat normaal gesproken verloren als warmte. Bij de q-dots kan het echter gebeuren dat de overgebleven energie nóg een elektron vrijmaakt in een naburig quantumdot. Omdat dat alleen voor hogere energieën (korte golflengten) opgaat, betekent het verschijnsel geen verdubbeling van het theoretische rendement, maar wel een verbetering van maximaal 33 naar 44 procent. Nature Photonics, 18 March 2012, DOI 10.1038/NPHOTON.2012.36 www.delta.tudelft.nl/24920 Illustratie: Wieteke de Boer Geen fusie maar een strategische alliantie. Zo noemen de Universiteit Leiden, de TU Delft en de Erasmus Universiteit hun vergaande samenwerking in hun gezamenlijke notitie Meer Waarde. De alliantie beoogt een kwaliteitstoename van onderwijs en onderzoek, met een scherpere profilering van het onderwijsaanbod en versterking van de internationale positie van het onderzoek. Leiden, Delft en Erasmus aangeduid als LDE benadrukken dat de vorm de inhoud volgt en zien als meerwaarde op kortere termijn: beter onderwijs (dat voortaan overigens op elk van de drie universiteiten kan worden aangeboden) en het verkennen van gezamenlijke LDE Centers en Graduate Schools. www.delta.tudelft.nl/24768 en 24783 Katalysator in actie Foto: Tomas van Dijk Het Mössbauer laboratorium in het Reactor Instituut Delft is uniek in Nederland omdat het katalysatoren in actie kan laten zien. Een katalysator versnelt een chemische reactie zonder zelf verbruikt te worden. Om dat proces te kunnen zien brengen opdrachtgevers als Shell hierheen, maar ook collega-onderzoekers uit Utrecht die katalysatoren ontwikkelen voor de productie van biobrandstof. Hun werk werd op 17 februari gepubliceerd in Science (Hirsa M. Torres Galvis et. al.). RID-medewerker dr. Iulian Dugulan was medeauteur. Over Mössbauer spectroscopie, het onderzoek van chemische bindingen met gammastraling, zegt hij: Het geeft je informatie over de structuur van het sample, over de mate van oxidatie en de magnetische eigenschap van de metaaldeeltjes. Een expert leest hieruit af hoe actief de katalysator is, hoe die door insmelten achteruitgaat, vergiftigd raakt of bedekt met koolstof. www.delta.tudelft.nl/24694 4

Majoranadag Het was 12 april een gekkenhuis op het Kavli-instituut voor nanoscience (TNW). Drie televisieploegen filmden er min of meer gelijktijdig, prof.dr.ir. Leo Kouwenhoven had een belafspraak met de BBC en sloot de dag af aan tafel bij Pauw & Witteman. De aanleiding was de publicatie in Science over het experimentele bewijs van een Majorana-deeltje een elementair deeltje dat 75 jaar eerder voorspeld was door de Italiaanse fysicus Ettore Majorana. Een prachtverhaal natuurlijk, maar wel één waar menig journalist mee heeft zitten worstelen. Want is een antideeltje al moeilijk voor te stellen, wat te denken van het Majorana-deeltje dat zijn eigen antideeltje is? Bovendien is het deeltje niet in het wild gevonden, maar bij zeer lage temperaturen opgewekt op de grens van halfgeleider en supergeleider. Veel glazige blikken op televisie die avond. Niettemin geldt Kouwenhoven in de media als Nobelprijskandidaat en als vader van de quantumcomputer. www.delta.tudelft.nl/24994 Foto: Sam Rentmeester Reactor kan bijna niet kapot Russische prijs Prof.dr. Kemo Hanjalic, emeritus professor aan de faculteit Technische Natuurwetenschappen, heeft 3,6 miljoen euro van de Russische regering gekregen om het Laboratorium voor simulatie van energieprocessen van de Novosibirsk State University te leiden. De prijs die hij won, de Lead Scientist award is door de Russen in het leven geroepen om toonaangevende wetenschappers aan te trekken en om de kwaliteit van de Russische onderzoeksinstituten te verhogen. www.ibnfirnaslectures.tk Stevig op de benen Orkanen, aardbevingen, overstromingen, stroomuitval; de onderzoeksreactor in Delft is tegen vrijwel alle calamiteiten bestand. Dit blijkt uit een stresstest die het Reactor Instituut Delft uitvoerde op verzoek van het ministerie van Economische Zaken. Het ergste zogenaamde ontwerpbasisongeval is het volledig leeglopen van het koelbassin door een lekkage waardoor de kern droog komt te staan. Het RID schrijft dat ze zich hiertegen heeft beschermd met verschillende back-up verdedigingslinies. Mocht het toch fout gaan, dan koelt de kern door convectie voldoende af en zullen de splijtstofplaten niet smelten. www.delta.tudelft.nl/24773 Foto: Sam Rentmeester De familie van lopende robots uit Delft heeft er een bevallige telg bij gekregen, Tulip genaamd. Promovendus dr.ir. Thomas de Boer (3mE) ontwikkelde Tulip als opvolger van de elegant maar fragiel lopende robot Flame (zie ook pagina 10 en 11.) Flame was een gevoelig typje dat snel uit evenwicht raakte als er iemand van de zijkant tegenaan stootte. De Boer heeft Tulip daar tegen bestand gemaakt door de robot snel uit te laten rekenen waar ze haar voet neer moet zetten om het dynamisch evenwicht te bewaren. Bij het lopen op twee benen draait alles om de controle over positie en snelheid van het eigen zwaartepunt, legt De Boer uit. www.delta.tudelft.nl/24821 Foto: Tomas van Dijk 5

Wetenschap Foto s: Sam Rentmeester Na een proef met verschillende coatings zouden de detectoren niet misstaan in een bijouteriewinkel. 6

De brede blik van boor Met een minuscuul laagje boor over silicium legde professor Lis Nanver bij Dimes de basis voor een reeks nieuwe detectoren. Die vinden hun toepassing in de nieuwste lithografiemachines van ASML en de gevoeligste elektronenmicroscopen van microscopenfabrikant FEI. Jos Wassink Detectoren met een laag van het scheikundige element boor hebben een ultradunne lichtgevoelige laag. Dat is belangrijk bij de detectie van korte golflengten. Straling vanaf ultraviolet (golflengte 300 nanometer) tot zachte röntgenstraling (golflengte 10 nanometer, ook wel extreem ultraviolet genoemd) dringt namelijk nauwelijks in silicium door. Soms maar een paar nanometer. En dat is precies het gebied waar bij deze detectoren de gevoeligheid zit. Deze diodes zijn een revolutie geweest voor detectie in dat gebied, zegt Nanver. Haar detectoren zijn behalve in zo n dertig publicaties ook opgedoken in de nieuwste generatie chipsmachines van ASML en de gevoeligste elektronenmicroscopen van FEI. De boorlaag heeft intussen toepassingen gevonden over een ongelofelijk breed spectrum Dr. Gerard van Veen (FEI): De boorlaag heeft zulke aparte eigenschappen dat er nieuwe mogelijkheden komen. Lis heeft de boorlaag als nieuwe technologie ontdekt, zegt dr. Gerard van Veen, manager science & technologie bij FEI Nederland. Die technologie kan op veel terreinen worden toegepast. Die laag heeft zulke aparte eigenschappen dat er nieuwe mogelijkheden komen. Niet alleen voor onze elektronenmicroscopen maar ook voor andere detectoren. Het lijstje met toepassingen vanaf 2003 (zie kader) illustreert het punt van Van Veen: de boorlaag heeft intussen toepassingen gevonden over een ongelofelijk breed spectrum, vanaf terahertz via infrarood, ultraviolet en röntgenstraling tot detectie van gescatterde elektronen. Vol gaten Het begon als een geintje, vertelt prof.dr.ir. Lis Nanver (Elektrotechniek, Wiskunde en Informatica). De tengere vrouw met Britse tongval heeft een volle agenda, een ingewikkeld planbord en ze wordt geregeld gestoord door telefoontjes, studenten en technici. Welkom bij de silicon device integration group van Dimes (Delft Institute for Microsystems and Nanoelectronics). Nou ja, geintje. Eigenlijk is serendipiteit een beter woord: dat je ergens naar zoekt en opeens struikelt over iets veel beters. Zo waren studenten bij Dimes bezig met het maken van een monolaag (één atoomlaag dik) van arseen op silicium. Dat gebeurt met een zogenaamde epi-reactor waarin normaal gesproken silicium met een kleine hoeveelheid doop atomen aangroeit op een silicium wafer. Speels als ze waren, probeerden de studenten het eens met een ander doopgas (diboraan of B2H6) en legden zo een heel dun laagje boor op het silicium. Het resultaat was verbazingwekkend, herinnert Nanver zich. De stroom in de diode kelderde met decaden. Dus wij dachten: ze hebben een isolerende laag gemaakt en we hebben er een tijd geen aandacht meer aan besteed. Nu is een lage sperstroom bij fotodioden (een lekstroom in de richting waarin de diode niet moet geleiden) op zich een aantrekkelijke eigenschap. Een fotodiode, die meestal bestaat uit een overgang tussen silicium met een teveel aan vrije elektronen (n-materiaal) en tekort aan vrije elektronen gaten (p-materiaal), laat in principe in sperrichting geen stroom door. Tenzij een foton inslaat en een elektron-gat paar creëert in het overgangsgebied. Elektronen bewegen zich dan naar de n zijde (kathode) en gaten lopen naar de anode waardoor er een stroom gaat lopen. Voor een gevoelige werking van de fotodetectie is het dus van belang dat de sperstroom in het donker minimaal is. Maar bij het nieuwe materiaal met het dunne boorlaagje was de stroom zo laag dat men aannam dat de laag een ordinaire isolator was, wat natuurlijk minder interessant is. Dat had het einde kunnen zijn van het verhaal, maar dat was het niet. Een paar jaar later hebben we er experimenten mee gedaan, vertelt Nanver. En toen bleek dat borium een laag creëert die hetzelfde deed als een mooi gedopete p-laag op een n-silicium onderlaag. In feite hadden we een junctiediode gemaakt. Dat is fantastisch, want doordat we bij lage temperaturen werkten, is de junctie maar een paar nanometer dik. De lage temperaturen (500 tot 700 graden Celsius) betekenden voor Nanver dat het borium niet of nauwelijks 7

Wetenschap in het silicium was gediffundeerd, wat bij normale p-doping wel het geval is. Daarbij nestelt een booratoom zich in het siliciumrooster en creëert met z n drie valentieelektronen voor vier bindingen een positief geladen gat. Bij lagere temperaturen kunnen booratomen niet in het siliciumrooster dringen, maar beperken ze zich tot de amorfe buitenlaag. Op elektronenmicroscoopopnamen is te zien dat die laag slechts enkele nanometers dik is. Nanver vat samen: In die interfacelaag creëer je zelfs in één seconde met diboraan zoveel gaten dat je dezelfde functie hebt als een normale diode, maar dan met een veel geringere diepte. De wet van Moore duwt chipmakers naar steeds kortere golflengten Een detector in zes stappen Ondanks de tientallen publicaties was tot voor kort de pure boorlaag een Delfts unicum. Nanver denkt dat het komt doordat andere teams niet de combinatie hebben van expertise bij de bediening van de epi-reactor (die monolaagjes op silicium kan opdampen) met kennis van diodefysica en fabricage. Het depositieapparaat, de ASM Epsilon, vergt veel kennis en ervaring om tot goede resultaten te komen. Het is meer een kunst dan een vak, grapt Nanver. Het gerucht gaat dat veel labs hun Epsilon weer hebben ingeruild omdat het apparaat niet goed gebruikt kon worden. Nanver steunt bij het gebruik van de Epsilon op de ervaring van onder meer ir. Wiebe de Boer die bij de ontwikkeling van het apparaat betrokken was. Ondanks zijn pensioen werkt hij nog een dag per week bij Dimes. Wiebe is goud waard, zegt Nanver. Extreem De wet van Moore duwt chipmakers naar steeds kortere golflengten. Omdat lithografie een optische technologie is, worden de minimale afmetingen bepaald door de golflengte van het gebruikte licht. Chipmachinefabrikant ASML heeft de gebruikte golflengte zien dalen vanaf ultraviolet (365 nanometer), via diep UV (245 en 193 nm) tot extreem UV (13,5 nm) in de toekomstige machines. Nu is alles lastig aan extreem ultraviolet(euv). Alleen de opwekking al lijkt rechtstreeks afkomstig uit het lab van Maarten Toonders schepping Professor Sickbock: een bal draait rond door een bad met gesmolten tin en brengt minuscule tindruppels in de lucht. Wanneer die getroffen worden door een hoge-energie laser zenden ze extreem uv-licht uit. Laser-produced plasma of LPP heet deze manier van stralingsproductie. Ook lastig is het dat EUV geen lenzen verdraagt: alle beeldvorming vindt met spiegels plaats (waaraan extreme vlakheidseisen gesteld worden). De boorlaagdetectoren passen goed in deze extreme omgeving, want de ultradunne gevoelige laag haalt het maximale rendement uit de invallende straling. Daarnaast is de donkerstroom extreem laag (pico-ampères per cm2 bij 1 Volt sperspanning) en is de detector goed bestand tegen langdurig belichten. Die eigenschappen hebben ASML ertoe gebracht om Nanvers detectoren in te plannen voor hun next generation NXE-3300 machine. Prof.dr.ir. Lis Nanver: Het begon als een geintje. Eén detector meet er de intensiteit van de EUV-straling, twee anderen worden gebruikt om wafers precies goed te positioneren met een combinatie van tralietechnieken. Na de ontwikkeling bij Dimes heeft ASML er vorig jaar voor gekozen om de productie van de EUV-detectors over te brengen naar het Leuvense laboratorium Imec. Naakte detector Zo n drie jaar geleden hebben we de technologie gespot bij ASML, vertelt Van Veen over de nieuwe elektronendetectoren die de microscopen van FEI een beslissende voorsprong moeten geven. De techniek sprak ons aan, maar we moesten wel een en ander aanpassen. Zo werd in anderhalf jaar tijd door FEI in samenwerking met Dimes een naakte detector ontwikkeld ter grootte van een boordknoopje. Promovendus ir. Agatha Šakić ontving voor haar aandeel hierin de IEEE 2010 Roger A. Haken best student paper award. Voor de detectie van langzame elektronen (met een energie vanaf 1000 elektronvolt) is het belangrijk dat de gevoelige laag direct ( naakt ) aan het oppervlak zit. Anders dan bij de EUV-detectoren is een coating niet mogelijk. Bovendien is de boorlaag met 1,8 nm nog dunner dan bij de EUV-detectoren. Daarnaast is een bijzondere patroon van metaalsporen en een heel lichte doping van de bovenste n-type silicium laag ontwikkeld om de elektrische weerstand en capaciteit te minimaliseren en de responstijd te verkleinen. Vooral bij lage energieniveaus is de boorlaag in het voordeel ten opzichte van andere detectoren. Bij 1000 ev bijvoorbeeld is het rendement van de boorlaagdetector 70 procent. Andere detectoren halen dan een rendement van 45 respectievelijk 19 procent. 8

In de cleanroom van Dimes wordt gewerkt aan detectoren voor elektronenmicroscopen en lithografiemachines. In het midden van de detector zit een gat waar in een microscoop de elektronenbundel doorheen straalt. De detector, die op 5 millimeter afstand stil boven het object hangt, vangt elektronen op die vanaf het oppervlak terugkaatsen ( backscattering ). De elektronenbundel tast bij deze vorm van microscopie het oppervlak lijn voor lijn af. De detector is opgebouwd uit concentrische ringen en segmenten waarmee contrast en beeldinformatie te beïnvloeden zijn. Zo maken de binnenste ringen chemische informatie zichtbaar doordat zware elementen meer elektronen terugkaatsen dan lichtere en dat geeft een hoger beeldsignaal. De buitenste ring is vooral geschikt om de structuur van het oppervlak af te beelden. Het liefst zou FEI de productie van de nieuwe boorlaagdetectoren bij Dimes laten plaatsvinden bijvoorbeeld door externe medewerkers in de TU cleanrooms te laten werken. Het foundry-model heet dat in de high-tech industrie. Nanver zelf is met haar onderzoek teruggekeerd naar de andere kant van het spectrum: infrarood. Haar promovendus ir. Amir Sammak maakt germaniumlaagjes op silicium die in combinatie met borium (en gallium) veelbelovend zijn voor gebruik in supergevoelige single foton avalanche detectors. Daarvan wordt veel verwacht in medische toepassingen omdat het de diagnose van bijvoorbeeld melanomen drastisch kan versnellen en vereenvoudigen. Meer fundamenteel is de combinatie van laagjes gallium, arseen en indium op germanium waarmee je willekeurig welk bandgat zou kunnen maken, waarvoor Nanver oneindig veel toepassingen voor ziet. Ach, verzucht ze, er is nog zoveel leuk werk te doen. Toepassingsspectrum van boor Golflengte Project Samen met o.a. Sub-mm, ~ 30 micron Infrarood, ~ 1 micron Zichtbaar licht, ~ 500 nanometer Diep UV, ~ 100 nanometer Extreem UV, ~ 13 nanometer Röntgenstraling, ~ 10 nanometer Elektronen met lage energie ~ 0.1 nanometer Meer informatie: Prof.dr.ir. Lis Nanver l.k.nanver@tudelft.nl Compacte geïntegreerde circuits voor terahertz imaging Infrarood detectoren op basis van germanium op silicium Hoge productie boorlaag proces voor zonnecellen Fotodetectoren met pure boorlaag beter dan andere technologieën Detectoren voor ASML next generation lithografie machines Nieuwe detectoren voor electronenmicroscopie Nieuwe detectoren voor backscatter elektronenmicroscopie (200 ev tot 1 kev) Philips en TNO, gesteund door SmartMix Memphis ASM en Bionics gesteund door SmartMix Memphis Tempress en ECN TNO, ASML en ASM, gesteund door STW TNO, ASML en ASM, gesteund door STW FEI en PANalytical, gesteund door NanoNextNL FEI 9

Stijve stapper evolueert tot Zeventien jaar geleden bouwde een afstudeerder van de faculteit Werktuigbouwkunde Maritieme Techniek en Technische Materiaalkunde (3mE) de eerste Delftse looprobot. Geen lopende computer met zware motoren maar een energiezuinige zelf-regelende robot. Die zoektocht naar menselijk lopen is uitgegroeid tot het Delft Robotics Laboratory waar vijftien onderzoekers werken aan biologisch geïnspireerde robots. Nieuwe inzichten moeten een bijdrage leveren aan de behandeling van mensen met loopproblemen. Terwijl de eerste robot Baps een paar stapjes kon maken, moet de nieuwste robot Tulip een partijtje kunnen voetballen. Deze infographic zet de evolutie van vier promotielooprobots op een rij. www.dbl.tudelft.nl Passief-dynamisch lopen Uitgangspunt was om een robot te maken die passief, dus zonder regelsysteem, een natuurlijke stabiele loopbeweging uitvoert. Kleine verstoringen moeten vanzelf uitdempen. motor scharnier Gekoppelde eigenfrequenties Uitgangspunt was om een lichte, energiezuinige tweebenige looprobot te maken. Stabiliteit moest vanzelf ontstaan door de drie natuurlijke slingerbewegingen van zwaaibeen, romp en zijwaartse beweging op elkaar af te stemmen. Armen De twee armen hebben geen functie bij het lopen. Maar het oogt wel natuurlijker. Leeghoofd De robot kan lopen zonder nadenken: er is geen meeten regelsysteem. BAPS 80 cm hoog 3,35 kg McKibbenspieren DENISE 1,5 m hoog 8 kg beengyroscoop Aansturing Op de romp is ruimte voor pneumatiek en electronica (o.a. batterij, versterkers en controller). Stijf been De benen hebben geen kniegewrichten. gekantelde as Enkelgewricht Enkelgewrichten (zonder motor) zorgen dat de robot minder snel omvalt. Door de scheve draaias van de enkel draait de robot opzij en loopt in een scheve koers verder. Pneumatisch spieren De robot wordt aangedreven met zes pneumatische kunstspieren. De spieren bestaan uit rubberen ballonnen in plastic kousjes. Bij een druktoename trekt de spier samen: de kous kan niet verlengen, wel in diameter vergroten. Een eenvoudige controller activeert de heupspier van het zwaaibeen gebaseerd op het signaal van een gyroscoop. De heupspier trekt samen en slingert het been naar voren. Tegelijkertijd verlengt een andere spier het standbeen zodat het zwaaibeen zijn zwaai kan maken (anders raakt de voet de grond). Kniescharnieren Kniegewrichten moeten de loopbeweging menselijker maken (the knees = de nise). Het kniegewricht heeft geen motor en kost dus geen energie. Wel zit er een slimme vergrendeling in. Zodra de linkervoet de grond raakt geeft een schakelaar onder de voet een signaal aan de rechterknie om te ontgrendelen. Tegelijk zorgt de heupspier dat het rechterbeen naar voren zwaait. Doordat de voet door zijn massatraagheid achterblijft, buigt de knie tijdens de zwaai. Aan het einde van de zwaai wordt het rechterbeen weer recht waardoor de knie vergrendelt. Dit stijve been wordt nu standbeen en de beweging herhaalt zich. Resultaat RICHARD VAN DER LINDE, PROMOTIE 2001 De loopbeweging leidt niet automatisch tot zijwaartse stabiliteit. De robot zet maximaal elf passen en valt dan om. Resultaat MARTIJN WISSE, PROMOTIE 2004 Denise loopt twintig stappen voordat ze valt. Ze loopt niet uit stilstand weg maar moet in de juiste loopcadans worden gebracht 10

voetbalvedette Convergentie naar stabiel lopen Uitgangspunt was om verstoringen te meten (met evenwichtssensoren in de romp) zodat de loopbeweging zich automatisch kan herstellen. Om dit mogelijk te maken krijgt de robot motoren in enkels en knieën. Bij een verstoring verplaatst de robot zijn voeten zijwaarts om stabiel overeind te blijven. Ballistisch lopen De meest eenvoudige tweebenige robot, een heup met stijve benen, loopt vanzelf een helling af. De robot staat steeds op één been (het standbeen) terwijl de romp naar voren valt. Tegelijkertijd zwaait het andere been (zwaaibeen) naar voren (mensen buigen dan hun knie), de voet komt neer op de grond en neemt de functie van het standbeen over. De natuurlijke slingerbeweging van de benen maakt lopen zeer energiezuinig. Deze ballistische aanpak van het Delftse robotlab is heel anders dan die van de Japanse Asimo waarbij elke beweging wordt aangestuurd en gestopt met zware motoren die veel energie verbruiken. Vlamhoofd Flame heeft de vlam uit het TU Delftlogo als hoofd. WK RoboCup Doel is een robot die kan meedoen aan het wereldkampioenschap voetbal voor robots in 2013. FLAME 1,3 m hoog 15 kg TULIP 1,3 m hoog 19 kg enkelmotor Rompmotor De zijwaartse bewegingen van de benen zijn met elkaar gekoppeld via een spindelmotor. Met deze enkele motor blijft het lijf automatisch rechtop. kniemotor kniegewricht Elektrische elastische motoren Om soepel te lopen moet het koppel dat de gewrichten aandrijft voortdurend regelbaar zijn. Met pneumatische spieren is dit lastig uitvoerbaar. Flame is daarom uitgerust met zeven elektrische motoren. Elke motoras is via een kabel en twee veren verbonden met een gewricht. Op de motor en het gewricht zijn hoekverdraaiingsmeters geplaatst. Door het verschil in hoekverdraaiing te meten (3000 metingen per omwenteling) is de verlenging van de veer (en dus kracht op het gewricht) bekend. Hierdoor is krachtsturing, een voorwaarde voor soepel lopen, mogelijk. Optimale plek om je voet te plaatsen Als een robot op één been staat en omvalt kan hij zijn evenwicht herstellen door zijn andere voet op de grond te zetten. In dit onderzoek is de optimale plaats berekend waar de robot zijn voet moet neerzetten (= capture point theorie). Om mogelijk te maken dat de robot zijn voet overal kan plaatsen krijgt elk been volledige bewegingsvrijheid (zes vrijheidsgraden). Hiervoor zijn twee extra motoren per been nodig. Romp De romp is gevuld met elektronica, batterijen en een regelcomputer. Resultaat DAAN HOBBELEN, PROMOTIE 2008 Flame loopt dertig stappen rechtuit en stapt over bobbels van 8 mm. Bij een duwtje verliest Flame haar evenwicht en valt om. Resultaat TOMAS DE BOER, PROMOTIE 2012 Tulip kan balanceren op een wiebelend plankje en blijft staan bij een duwtje (te zien op youtube). Stabiel lopen vergt nog nader onderzoek. 11

Wetenschap Nooit meer achter de muziek aanlopen De TU draait aardig mee in de chipwereld. Dat is wel eens anders geweest. Voordat Dimes bestond, was het allemaal tweede garnituur wat de TU leverde, vertelt Jan Davidse, een van de oprichters van het instituut. Tomas van Dijk Een revolutie in de elektronica, zo kun je de ontdekking van de transistor wel noemen. Halverwege de jaren zestig draaide alles in de wereld van de elektrotechniek om de transistor, vertelt oud-hoogleraar Jan Davidse. Davidse kon zijn ogen dan ook niet geloven toen hij in Delft kwam werken. Emeritus hoogleraar prof.dr.ir. Jan Davidse: Hier lag een kans om het onderwijs in één forse inspanning volledig eigentijds te maken. Foto: Sam Rentmeester In Delft was de transistortechniek nog niet veel meer dan een soort aanhangsel in de collegehandleiding. Men was hier verschrikkelijk ver achter geraakt. Het was tweede garnituur. Davidse werkte bij Philips aan de kleurentelevisie toen hij in 1964 een baan als hoogleraar kreeg aangeboden bij de afdeling elektrotechniek. Hij geldt als een van de geestelijk vaders van Dimes (Delfts Instituut voor MicroElektronica en Submicrontechniek), samen met emeritus hoogleraar elektronische instrumentatie Simon Middelhoek. Als hij had geweten hoeveel gedoe het zou zijn om het instituut op te zetten, was hij er nooit aan begonnen, zegt Davidse nu. Er is zoveel energie en ergernis in gaan zitten. Als ik dat in 1975 had geweten, had ik gezegd, jongens we gaan het anders doen. De twee dertigers waren naar eigen zeggen naïef en zagen hun kans schoon om iets groots op te zetten toen eind jaren zestig de ic-technologie opkwam. Het was het begin van een heel nieuwe era, glundert Davidse. De ic-technologie kwam op. Schakelingen moesten op een radicaal nieuwe manier ontworpen worden. Hier lag een kans om het onderwijs in één forse inspanning volledig eigentijds te maken. Collegestof alleen maar baseren op wetenschappelijke literatuur zagen de twee professoren niet zitten. Dat is net als droogzwemmen; je zou de kwaliteit van een ontworpen structuur nooit kunnen controleren en je zou nooit verder komen dan achter de muziek aanlopen. Ic-atelier De hoogleraren wilden een echt laboratorium. En dat kregen ze in 1976. In het zogenaamde ic-atelier de voorloper van Dimes konden studenten zien hoe chips gemaakt werden, en ze konden er wat sleutelen aan transitoren en diodes. Ook werd in dit atelier al een beetje wetenschappelijk onderzoek gedaan. We hadden voor dit atelier een hele verdieping gekregen de vierde verdieping - in het faculteitsgebouw, dat toen nog maar net was neergezet. Het was een beetje een ongelukkige plek omdat we voor de verwerking van het silicium gebruik maakten van giftige gassen, waaronder arsenicum en fosfor. Die gassen moesten omhoog, via het dak naar buiten. Van de vierde naar de drieëntwintigste verdieping, dat is toch een eindje. Er is een schoorsteen gemaakt door alle verdiepingen heen, lacht de chipexpert. Philips was de Delftenaren toen goed gezind; het was gebaat bij goed onderwijs. Enkele technici van Philips kwamen bij het ic-atelier werken. Een van de deskundigen was Linus Smit. Hem moet je echt noemen. Hij kende alle foefjes. We konden hierdoor al heel snel werkende chips maken, dingen waar we mee 12

voor de dag konden komen. De chiptechnologie denderde voort. Het explodeerde, zegt Davidse. Dat had niemand voorzien. We wilden het als snel hogerop zoeken en lieten ons oog vallen op de grote hallen van power engineering. Daar werd helemaal geen onderzoek meer gedaan. Die hallen waren een relict uit de vroegere periode toen de afdeling elektrotechniek nog vooral grote elektrische machines en generatoren moest maken voor werktuigbouwkunde, memoreert Davidse, die eind jaren negentig - na zijn pensionering - een lijvig boek schreef over de geschiedenis van de Delftse opleiding elektrotechniek. In 1981 kwam het tweetal met het voorstel om het ic-atelier uit te breiden tot een Nationaal Atelier voor geïntegreerde Schakelingen en Sensoren (Nass). Het voorstel omvatte uiteraard een begrotingsparagraaf die er niet om loog, en daarnaast een suggestie om op termijn de eigenlijk ongeschikte vierde verdieping van de hoogbouw te verlaten en te verruilen voor de ruimten in de laagbouw. Het Nass-voorstel, ondanks de naam toch helemaal Delfts, viel niet in goede aarde bij de beide zusterinstellingen, de hogescholen in Eindhoven en Twente. Ook daar wilde men faciliteiten. De Delftse groep kwam daarom met een aangepast concept: Dass. Dass maakte weer onderdeel uit van Nithoss (Nederlandse Inter-TH Organisatie voor geïntegreerde Schakelingen en Sensoren). En toen kwam er een heel circus op gang, zegt Davidse. De indiening van het Nithoss-plan leidde tot oeverloze vergaderingen met een groot aantal partijen. Als belangrijkste de drie TH s, de Stichting FOM, en de ministeries van Onderwijs en Wetenschappen en van Economische Zaken. Standvastig In de wandelgangen bij Dimes gaat het verhaal dat vooral prof.dr.ir. Simon Middelhoek met zijn standvastigheid en directheid het bloed bij de andere gedelegeerden van onder de nagels vandaan haalde. Ja, dat verhaal klopt wel, lacht Middelhoek die via de telefoon ook kort zijn versie van de geschiedenis geeft. Ik was er zelf niet bij, maar premier Lubbers zou op een gegeven moment met zijn vuist op tafel hebben geslagen en hebben gezegd dat het nu eens afgelopen moest zijn met het gezeur. Ik vind het absurd hoor, vervolgt Middelhoek. Nederland had een grote icindustrie in het zuiden van het land. Er was behoefte aan goed opgeleide elektrotechnici. Dan ligt het toch voor de hand dat je zo n lab maakt. Wij hadden een goed plan. Maar er gebeurde niets. Misschien waren we naïef. Dimes in de begintijd, eind jaren tachtig. Ook Philips had zijn woordje in de besluitvorming. Philips zat ons verschrikkelijk dwars, vertelt Davidse. Wij wilden ook onderzoek doen en zij zeiden dat dat een pretentie was die we toch niet waar konden maken. Hun reactie was wel begrijpelijk gezien de bedroevende onderzoekreputatie die we tot dan toe hadden opgebouwd. Toch kregen de Delftenaren het tij mee. Philips begon niet veel later met een enorme inspanning om de Japanse technologiebedrijven in te halen. Davidse: Er kwam geld van de overheid en het microelektronicastrijdplan werd gesmeed. Wij konden toen een vuist maken. Het feit dat we er al zo lang mee bezig waren, We konden hierdoor al heel snel dingen maken waar we mee voor de dag konden komen heeft ons geen windeieren gelegd. Wij kregen verreweg het meeste geld, veel meer dan Twente en Eindhoven. In 1986 kreeg Delft een directe overheidsbijdrage van 33 miljoen gulden, door de instelling aan te vullen met 24 miljoen gulden. Eerst hadden we als naam Dime bedacht, zoals het Amerikaanse dubbeltje. Maar het werd Dimes, met de S van submicron aan het eind, omdat het submicroncentrum van Technische Natuurkunde ook moest participeren. Daarmee ontstond een instituut met een zeer brede researchscope. Veel synergie was er niet. Het is, grosso modo, Foto: Nout Steenkamp gebleven bij peaceful coexistence. De chiponderzoekers binnen Dimes blonken volgens Davidse vooral uit in het ontwerpen en fabriceren van low power electronics. Dat was heel belangrijk voor bijvoorbeeld gehoorapparaatjes en pacemakers. We zagen dat bestaande apparaten van gerenommeerde bedrijven eigenlijk stom in elkaar zaten. Door transistors anders te stappelen en allerlei andere trucjes te verzinnen om zo min mogelijk energie verloren te laten gaan, konden apparaatjes gemaakt worden die veel meer sophisticated waren. We waren daar echt goed in aan het eind van de rit. De relatie met Philips verbeterde, althans volgens Davidse. We hebben veel projecten samen met Philips gedaan. Toen we met Dimes begonnen, was er geen sprake van dat Philips geld in ons zou investeren. Middelhoek vindt dat Philips altijd met dedain op de TU Delft is blijven neerkijken. Wat verwachten de emeritus hoogleraren dat er gaat gebeuren nu de directe financiering vanuit de TU stapsgewijs wordt teruggebracht (zie het artikel Dimes moet commercieel op pagina 20). Davidse merkt op dat Dimes er altijd goed in is geslaagd om geld uit de tweede geldstroom (NWO-geld) binnen te halen. Maar, zegt hij dan, zulke vragen moet je eigenlijk niet stellen aan iemand van over de tachtig. Dat is iets van de huidige generatie. Middelhoek windt er geen doekjes om: Dat wordt dansen naar de pijpen van de industrie. Davidse: Vroeger was op de locatie van Dimes een grote mechanische werkplaats waar je met je tekeningen naartoe ging waarna er onderdelen voor je gemaakt werden. Ik zou het jammer vinden als Dimes zo n fabriek werd. 13

Foto: Sam Rentmeester

Uitgelicht Een middeleeuwse gebedsnoot is zes eeuwen later herboren als 3D-print naar de gegevens van een supergedetailleerde CT-scan. De noot, zo groot als een kastanje, is in het bezit van het Rijksmuseum in Amsterdam, dat meer van het voorwerp wilde weten. Daartoe werd een hoge resolutie tomografie gemaakt met synchrotronstraling, in de Europese faciliteit voor synchrotronstraling in Grenoble. Zo was te zien dat het hele tafereel in de binnenkant van de noot uit één stuk hout vervaardigd was, wat bewondering afdwingt voor het vakmanschap. Het Rijksmuseum wil nu gebruikmaken van de 3D-dataset om een vergrote versie te laten vervaardigen voor de tentoonstelling. Kunsthistoricus en chemicus prof.dr. Joris Dik (3mE) liet alvast een uitvergrote 3D-print van de geornamenteerde buitenkant maken. Helemaal tevreden is hij nog niet, want de ruwe print moet nog met de hand bijgewerkt worden. Uiteindelijk zal de uitvergrote versie tentoongesteld worden naast het vroeg-vijftiende-eeuwse origineel.

Interview Durf je eigen keuzes te maken Cabaretier Youp van t Hek is op dit moment cultural professor aan de TU Delft. Samen met twintig studenten wil hij iets bouwen dat de kijker buiten zinnen brengt. Mocht het ter sprake komen, levenslessen kan hij zijn studenten best meegeven: Durf je eigen keuzes te maken, tegen je ouders in. Die moet je als kind een beetje opvoeden. Saskia Bonger Afgezakte spijkerbroek, warrig haar, los openhangende jas en in de hand een plastic tasje met een paar pakken melk. Ik dacht: misschien lust je wel melk in je koffie, zegt cabaretier Youp van t Hek als hij zijn Amsterdamse herenhuis van het slot haalt en naar binnen gaat na een snel bezoekje aan de buurtsuper. In zijn woonkeuken met uitzicht op een wit bevroren park ligt een beer van de stichting Kika op tafel. Voor zijn kleinzoon van twee. Die had het lef om in Amerika te gaan wonen, vertelt Van t Hek, terwijl hij de melk klopt en de Nespresso-machine laat lopen. Hij was twee jaar geleden al gevraagd om cultural professor te worden aan de TU Delft, vertelt hij. Toen had ik geen tijd. Nu ben ik, zoals altijd, bezig met schrijven aan een nieuwe voorstelling. Hartstikke leuk om dit erbij te doen. Om mee te doen aan uw masterclass moesten studenten een onmogelijk idee, een op hol geslagen fantasie, een toekomstdroom of iets wat je altijd al hebt willen maken maar niet kunt beschrijven in driehonderd woorden. Wat schreven ze zoal? Die studenten hebben zeker fantasie, maar wat ze schreven is heel anders dan ik had gedacht. Wat dat was, houd ik voor me. Als ik een voorbeeld geef, trek ik er eentje naar voren en dat wil ik niet. Het thema van uw masterclass is Los van alles!. U wilt het onmogelijke mogelijk maken, iets tastbaars bouwen, los van beperkingen. Iets dat de kijker buiten zinnen brengt. Wat moet ik me daarbij voorstellen? Dat deel ik alleen met de studenten. Ik heb er zeker een beeld bij, maar misschien komen de studenten met iets veel beters. Zij weten wat technisch mogelijk is. Ik vind het prima als ze zeggen: zo kan het niet, maar zo wel. Ik las op internet dat het een decor wordt. Ik zeg er niks over. Behalve dan dat het ergens kan staan waar iedereen het kan zien. Op de campus? Ja bijvoorbeeld, het is van de TU. Misschien mislukt het wel, dat we niks kunnen laten zien bij mijn uittreerede begin mei. Dan ligt het waarschijnlijk aan mij. Ja, of aan de studenten. Maar ik denk dat we iets heel moois kunnen maken. Alles is mogelijk: bouwen, schrijven, dichten, filmen. Cabaret? Ja, waarom niet? Of er iemand bij zit die dat wil, weet ik niet. Ik ken de studenten nog niet. Ik heb alleen hun brieven gelezen. Samen met de rector en nog drie anderen heb ik twintig studenten uitgekozen. Moeilijk vind ik dat, mensen afwijzen. Cultural professor Het traditionele gastschrijverschap is sinds vorig jaar uitgebreid met andere disciplines. De gastdocent gaat voortaan twee maanden door het leven als cultural professor. Behalve schrijvers worden nu ook kunstenaars, componisten, filmmakers en fotografen uitgenodigd. Fotograaf Vincent Mentzel was vorig jaar de eerste cultural professor. Cabaretier Youp van t Hek hield op 8 maart zijn intreerede als cultural professor. Vijftig studenten meldden zich aan voor zijn masterclass. Slechts twintig van hen kwamen door de selectie. Op 10 en 11 maart zijn zij samen met Van t Hek in Barcelona geweest. Het voornaamste doel was een bezoek aan het Dalí Theater-Museum in Figueras, op anderhalf uur treinen van Barcelona. De studenten krijgen zeven colleges van Van t Hek. Die houdt op 11 mei zijn uittreerede en presenteert dan de resultaten van de masterclass. U hebt zelf niet gestudeerd, kwam nooit verder dan de mavo en dat met vele omwegen. Kunt u zich inleven in studenten? Dat denk ik wel. Toen ik achttien was, ben ik op kamers gaan wonen. Al mijn vrienden studeerden. Ik leefde zoals zij leefden. Alleen maakte ik geen tentamens, maar cabaretvoorstellingen. U stond er in Groningen om bekend dat u na de voorstelling naar studentendiscotheek De Blauwe Engel ging. Doet u dat nog wel eens? Dat was leuk. Dan belandde ik uiteindelijk op de bar bij Albertus (zustervereniging van Virgiel, red.). Ik doe dat jammer genoeg niet meer. De lol is eraf door Youtube en 16

Foto s: Sam Rentmeester Ik denk dat er door sms en e-mail veel meer ruzies ontstaan, doordat mensen zo snel op elkaar reageren 17

Interview Facebook. Toen was het leuk als je er toevallig bij was. Dat had je dan meegemaakt. Nu kijken driehonderdduizend mensen het terug op internet. Eén van onze lezers wilde weten: welke uitvinding had u zelf willen doen? Zoveel. De paperclip. Dat vind ik mooi: die man die aan dat ijzerdraadje heeft zitten draaien: prachtig. Of het wiel. Maar de grootste verandering van de laatste jaren heeft de computer gebracht, denk ik. Zelf ben ik totaal niet technisch. Ja, ik kan een fietsband plakken en een plankje ophangen. Maar als ik mijn computer wil aanzetten en hij doet het niet, dan bel ik meteen iemand om hem te komen maken. Mijn vader zou deze maand honderd zijn geworden. God hebbe zijn ziel, als God bestaat. Wat hij allemaal heeft zien veranderen in de samenleving, ongelooflijk. De wereld is totaal veranderd. Veranderd ten goede of ten slechte? Beide. Als je nu verhuist, klap je je laptop open en kun je verder met je leven. Alles wordt zoveel sneller van computers en mobiele telefoons, terwijl langzaam soms juist mooi is. Vroeger als je verliefd was, schreef je een brief. Die stopte je in een envelop. Je schreef de naam erop en plakte er een postzegel naast. Dan ging je naar de brievenbus, waar je besliste om hem toch maar niet te posten. Nu is dat sms je allang verstuurd. Ik denk dat er door sms en e-mail veel meer ruzies ontstaan, doordat mensen zo snel op elkaar reageren. U zet zich in uw shows af tegen het burgerlijk bestaan, tegen sleur en het verliezen van jeugdidealen. Gaat u uw studenten daarvoor waarschuwen? Studenten zijn vaak heel burgerlijk. Vooral als ze lid zijn van een studentenvereniging, met die stokoude tradities. Alles is van tevoren bedacht, eerder gedaan. Zonen doen wat hun vaders deden. En die vinden het natuurlijk geweldig dat hun zoon nu ook in zo n gekke broek loopt. Daarom vind ik studenten die geen lid zijn vaak leuker. Wees origineel. Na je studie rondtrekken door Australië. Waarom doen mensen allemaal hetzelfde? Hoe kijkt u naar mensen die aan uw schrikbeeld voldoen? Ik vind mensen grappig, juist omdat ze zo voorspelbaar zijn. Ik ga s avonds bijna nooit meer naar de kroeg. Omdat er dan altijd iemand op me af komt die tegen me aan gaat praten. En altijd, altijd, is het oninteressant. Of kijk naar het Gooi, waar ik vandaan kom. Al die mannen gaan golfen. Omdat golfen zo leuk is? Ik denk het niet. Ze doen het omdat iedereen het doet. Omdat ze dan niet echt met elkaar hoeven te praten, omdat het goed is voor zakenrelaties. Of al die mensen die een baby krijgen en een bakfiets kopen. Of begrafenissen. Ik zie telkens weer hetzelfde. Waarom nooit eens een verhaal over waarom diegene zo leuk was, met goeie anekdotes? Mensen blijven hangen in clichés, dat is veilig. Kunt u ze veranderen met uw optredens? Mijn preek duurt maar twee uur. Mensen lachen en gaan weer naar huis. Ik hoop natuurlijk wel dat er iets blijft hangen. Een psycholoog zei laatst tegen me dat ik Nederland meer heb veranderd dan ik denk. Dat er mensen zijn die eerder stoppen met die drukke baan, om met pensioen te gaan en te gaan reizen. Ik weet niet of het waar is, het is maar de mening van één iemand. U hebt altijd uw eigen plan getrokken? Ja. Dat vinden mensen niet altijd leuk. Dat ik niet naar dat feestje ga, omdat ik er niks aan vind. Dat ik met de kerst niet verplicht bij mijn schoonfamilie ga zitten. Ik snap niet dat mensen dat ieder jaar weer doen. Anders kwets ik mijn schoonouders, zeggen ze dan. Durf je eigen keuzes te maken, tegen je ouders in. Die moet je als kind ook een beetje opvoeden. Mijn kinderen hoeven voor mij echt niet verplicht langs te komen. Misschien dat ze daarom zo vaak binnen komen lopen. Mijn ouders hebben mij nooit iets opgelegd en ik heb mijn kinderen ook nooit verteld hoe ze het moesten doen. Als ze maar gelukkig worden. Dat is al moeilijk genoeg. Om je relatie leuk te houden als je het druk hebt met werk en kinderen. Dan helpt het om te doen wat je echt wilt. Durf je eigen keuzes te maken. Wie is Youp van t Hek Als Joep van t Hek (Naarden, 1954) van de lagere school komt, weet hij wat hij worden wil: priester. Hij vertrekt naar het seminarie, maar maakt het eerste jaar niet af. Daarna doet hij negen jaar over de mavo, op verschillende scholen. Op school gaat hij bij het cabaret. In 1973 verandert Joep zijn naam in Youp, nadat een vriendin de P schrijft op zijn shirt met de tekst: We help you. Sinds die tijd maakt Van t Hek theaterprogramma s. Zijn doorbraak komt in 1983 als hij optreedt in het tv-programma De Alles is Anders-show. In december 2011 maakt Van t Hek voor de zevende keer de oudejaarsconference. Hij schrijft columns voor NRC Handelsblad en de Vara Gids en brengt vele boekjes uit. Youp van t Hek is getrouwd, heeft drie kinderen en één kleinkind. U hebt gemakkelijk praten. U hebt een talent en het geld om uw vrijheid te kopen. De eerste tien jaar verdiende ik heel weinig, hoor. Het is me nooit om geld te doen geweest. Daarom is het een succes geworden, denk ik. Privé ben ik vaak genoeg mislukt. Veel mensen durven het niet aan, dat mislukken. Ze blijven daar waar het veilig is. Miljoenen kijken iedere vrijdagavond naar The Voice of Holland en zoeken daarvoor een excuus: ze kijken met de kinderen mee, zeggen ze dan. Dat programma, ik heb er een klein stukje van gezien en veel over gelezen in de krant. Het is zo voorgeproduceerd. En dat sms jes uit mensen trekken, nee. Dit interview verscheen eerder in Delta. 18

Foto: Sam Rentmeester Retorica Bijna wekelijks ben ik wel ergens in Nederland in een buurthuis of zalencentrum te vinden. Daar worden ze namelijk gehouden, de inspraak- en informatieavonden. Het is hier dat de hoeders van het algemeen belang en degene wiens belang zij hoeden, elkaar treffen. Steeds vaker staan overheid en burgers daarbij tegenover elkaar. Dat kan over een windpark zijn, intensiever spoorgebruik, opslag van gas of juist de winning ervan. Altijd speelt technologie een belangrijke rol. Tot ver in de vorige eeuw werd technologie vooral als oplossing gezien, als brenger van voorspoed. Nu is het steeds vaker een probleem, een bedreiging voor ons welzijn. Had diezelfde wind honderd jaar geleden gewaaid, dan was er nu weinig te verdedigen geweest. Column Ir. Remco de Boer is communicatiespecialist techniek & wetenschap Dan waren we door het ontbreken van snel- en spoorwegen nu geen welvarend distributieland. Slochteren zou bij gebrek aan lokaal draagvlak nooit zijn geëxploiteerd. Wie het tegenwoordig waagt de status quo te veranderen, wordt gewantrouwd. Dat geldt zeker voor ingenieurs. Zij zijn de verpersoonlijking van het gevaar. Ruimte voor nuance is er niet. Je bent voor of tegen. Kennis doet er nauwelijks toe. En laat de ingenieur nu juist dááraan zijn autoriteit ontlenen. En dus heeft die een probleem. Het wordt letterlijk tegen ze gezegd, tijdens die bijeenkomsten. Dat kunt u nu allemaal wel beweren, maar wie zegt ons dat het waar is? Deskundigheid is relatief geworden. Grote hoeveelheden informatie zijn maar een paar muisklikken weg. Iedereen kan er zijn eigen werkelijkheid mee creëren. Kennis is zelfs geen voorwaarde meer om een belangrijke rol in de besluitvorming te spelen. In het verzet tegen de Blankenburgtunnel nam een gepensioneerde ingenieur het met een geboorde variant op tegen Rijkswaterstaat. Verstand van tunnels had hij niet; daarvoor zorgde achter de schermen een Nederlands bouwbedrijf. Lobbyisten van de antitunnelbeweging brachten hem tot in het hart van het Haagse besluitvormingsproces. Daar werd maandenlang zand in de motor gestrooid. Twijfel zaaien is namelijk een van de succesvolste tactieken in de tegen -strijd. De tijd dat ingenieurs zich konden beperken tot alleen de inhoud is definitief voorbij. Het natuurlijke gezag dat ooit automatisch met de bul kwam, is verdampt. Het maatschappelijk debat weegt steeds zwaarder in de besluitvorming. Feiten moeten het daarin opnemen tegen halve waarheden en hele verzinsels. Wil de ingenieur in dat debat een rol van betekenis blijven spelen, dan moet hij overtuigende antwoorden hebben letterlijk. Net als de oude Grieken en Romeinen moet de moderne vernufteling zich in de retorica bekwamen. Alleen dan maakt hij nog kans. Ethos, logos, pathos. Het Forum Romanum is nu een zaaltje in Bathmen, Pieterburen of Scheemda. Alleen wie kennis heeft en ook in die arena weet te overtuigen, zal in staat zijn om technologie te ontwikkelen én ook toegepast te krijgen. Werk in uitvoering Foto: Sam Rentmeester Van Laboratorium voor Algemene en Analytische Chemie tot kraakpand met hiphopstudio. Van opnameset voor de film Zwartboek tot modern studentencomplex met monumentale hal. Het nieuwe studentenonderkomen aan het De Vries van Heijstplantsoen (ingang Michiel de Ruyterweg) is nog geen maand klaar maar kent al een rijke historie. 19

Wetenschap Dimes moet commercieel Uit bezuinigingsoverwegingen heeft het college van bestuur besloten de vaste financiering van Dimes Technology Centre af te bouwen van vier miljoen euro per jaar naar nul in vijf jaar tijd. EWI-decaan prof.dr.ir. Rob Fastenau legt uit hoe Dimes nu zelf geld moet gaan verdienen met onderzoek en productiewerk voor derden. Het is duidelijk dat we niet anders kunnen. Jos Wassink Foto s: Sam rentmeester Onderzoek doen in de cleanroom van Dimes gaat geld kosten. Hoeveel inkomsten verwacht u? Ik weet niet precies de bedragen. Maar stel dat een professor een promovendus heeft die heel veel tijd in de cleanroom besteedt, dan moet hij daar een fee voor betalen van ongeveer vijftigduizend euro per jaar. Dat maakt de promovendus grofweg twee keer duurder dan nu. We gaan ervan uit dat de hoogleraar dat bedrag door kan leggen naar de financier van het onderzoek. Dus een hoogleraar moet zien dat hij nog meer fondsen binnenhaalt voor zijn onderzoek? Dat hij in redelijkheid gefinancierd krijgt wat we aan onderzoek doen. We zitten nu in de fase dat we daar aan moeten wennen, en dat is best een lastig proces. Een aantal hoogleraren vindt het een hoog bedrag, en het maakt hun leven natuurlijk lastiger. Dat wat betreft het onderzoek dat er niet makkelijker op wordt. Bedrijven willen vaak technologie die hier ontwikkeld is ook binnen Dimes produceren, althans een eerste serie. Is Dimes daarvoor in? Ja, we zijn ons zelf aan het voorbereiden om dit soort opdrachten te aanvaarden. Dat heeft te maken met logistiek en het 20