UHV transport van multilaagspiegels M. Driessen en T. Tsarfati FOM-Instituut voor Plasma Fysica Rijnhuizen, Nieuwegein, Nederland
|
|
- Maria van de Berg
- 8 jaren geleden
- Aantal bezoeken:
Transcriptie
1 UHV transport van multilaagspiegels M. Driessen en T. Tsarfati FOM-Instituut voor Plasma Fysica Rijnhuizen, Nieuwegein, Nederland Op het FOM Instituut voor Plasmafysica Rijnhuizen is een UHV transportsysteem opgebouwd dat in vacuo XPS- en AES-analyse van aldaar gecoate multilaagspiegels mogelijk maakt. In dit artikel worden toepassingen beschreven en wordt de contaminatie aan de spiegeloppervlakken in het transport- en analysesysteem bepaald om de relevantie van in vacuo analyses te bepalen en een afgewogen beslissing over verder te implementeren analysetechnieken mogelijk te maken. Multilaagspiegels De productie van geïntegreerde schakelingen (IC s) vindt momenteel plaats m.b.v. optische lithografie, d.w.z. met zichtbaar licht. Voor de productie van toekomstige generatie IC s met kleinere structuren is lithografie met extreem ultraviolet licht (EUV) met een golflengte (λ) van 13,5 nm een goede kandidaat. In dit golflengtegebied zijn lenzen vanwege de hoge absorptie onbruikbaar en wordt gebruik gemaakt van multilaagspiegels voor het maken van de afbeeldingen. In multilaagspiegels fungeren gestapelde lagen met groot optisch contrast en geringe absorptie als kunstmatig Bragg-kristal om zo het invallende EUV in fase te reflecteren. De eisen aan periodiciteit en de dikte (d) van de lagen liggen in het sub-monolaaggebied, zodat bij juiste λ en hoek van inval (θ) positieve interferentie optreedt, zoals aangegeven in figuur 1. Maximale reflectie treedt dan op als aan de Bragg-relatie wordt voldaan: nλ = 2d sinθ [1] waarbij n een geheel getal is. Silicium (Si) is in dit golflengtegebied vrijwel transparant en vormt in combinatie met molybdeen (Mo) contrasterende en relatief scherpe grensvlakken, waaraan bij 50 bi-lagen van sub-atomair nauwkeurig gedefinieerde periodiciteit en laagovergangen scherper dan 1 nm een cumulatieve EUV-reflectie tot maar liefst 70% wordt bereikt. EUV bundel λ = 13.5 nm Mo Si d Figuur 1: Het principe van een multilaagspiegel.
2 Opstelling De opdamp- en analyseopstelling is weergegeven in figuur 2. De lagen worden in de coating faciliteit onder ultra hoog vacuüm (UHV, basisdruk ca mbar) op een roterend substraat opgedampt door afwisselend Mo en Si te verdampen m.b.v. een elektronenbundel, waarbij d.m.v. ionenbombardement de Si-lagen nog extra worden vervlakt tot atomaire ruwheden. Dikte en periodiciteit van de lagen wordt in situ met reflectiemetingen en kwartsmicrobalansen gevolgd. Door het bij FOM Rijnhuizen opgebouwde UHV transportsysteem kunnen spiegels direct na fabricage in vacuo met XPS en AES geanalyseerd worden in de analysekamer. Dit biedt grote extra mogelijkheden op het gebied van analyse aan oppervlakken en laagovergangen van extreem dunne lagen, direct na fabricage en eventuele ionen- of radicalenbehandeling en verhitting, zonder tussentijdse blootstelling aan lucht. Op die manier kan bekeken worden hoe materialen in het beginstadium aangroeien op andere materialen, hoe de bedekking plaatsvindt en in welke mate segregatie en diffusie optreden onder verschillende groei- en behandelregimes. In het gehele systeem wordt m.b.v. turbo- en titaan-sublimatiepompen een basisdruk beneden de 10-9 mbar gehandhaafd, zodat verontreiniging van het oppervlak tot een minimum wordt beperkt. Figuur 2: Schematische voorstelling van de opdamp- en analyseopstelling. Transport en analyse in UHV Adsorptie van gassen aan een oppervlak wordt zoals bekend gegeven door vergelijking 2: P.A.s a Adsorptiesnelheid = 2, [2] M.T g waarbij: P = Gasdruk in Pa A = Sampleoppervlak in m 2 s a = Adsorptiekans voor het gasmolecuul M = Massagetal van molecuul in kg T g = Temperatuur van het gas in K
3 In figuur 3 is de gassamenstelling in de distributiekamer van het transfersysteem weergegeven. Figuur 3: Restgasanalyse met channeltron van transfersysteem bij 10-9 mbar. Zoals bij een lekdicht systeem verwacht mag worden blijkt uit het spectrum dat de restgassen voornamelijk waterstof en water zijn. Tevens zijn lagere concentraties methaan, stikstof en kooldioxide waarneembaar. Water zal in principe tot oxidatie leiden, methaan kan op katalytisch actieve oppervlakken in koolstofaangroei resulteren. Oxidatie van zowel het oppervlak als het aangegroeide koolstof zal echter een remmende invloed op de koolstofgroei hebben. Contaminatieonderzoek aan het sampleoppervlak Voor analyse van de spiegeloppervlakken wordt gebruik gemaakt van x-ray photo-electron en Auger electron spectroscopy (XPS en AES). Met XPS en AES wordt zowel fysische als chemische informatie verkregen over de bovenste tientallen monolagen atomen. De technieken zijn gezien de vrije weglengte van de elektronen uitsluitend toepasbaar in UHV. Detectie van de geëmitteerde foto- Figuur 4: XPS en AES (midden) gekoppeld aan transfersysteem en coating faciliteit (rechts).
4 elektronen kan hoekafhankelijk plaatsvinden (25-85 ), waardoor over dit gebied ook informatie over de distributie in diepte verkregen kan worden. De belangrijkste eigenschappen van XPS en AES zijn: - Fysische en chemische informatie - Meetbereik: tot ~7 nm diepte voor XPS, tot ~2 nm diepte voor AES - Niet destructief AES is dus gevoeliger voor het oppervlak dan XPS, maar kwantitatief minder nauwkeurig. Door materiaal te sputteren kan tevens over grotere diepte informatie verkregen worden, zelfs door de volledige multilaag heen, al wordt het oorspronkelijke systeem hierdoor wel in zekere mate verstoord. Van belang voor interpretatie van de analyses is de mate van oppervlakteverontreiniging gedurende transport van de coating faciliteit naar analysekamer. Als eerste stap wordt via een load-lock een aan buitenlucht blootgesteld molybdeenkristal in de analysekamer geïntroduceerd. XPS toont aan buitenlucht gevormd molybdeenoxide en een koolstofbedekking van ~ 0,6 nm; ca. drie monolagen. Hieruit blijkt dat in lucht koolstofgroei op molybdeen kan concurreren met oxidatie. Zuurstof en koolstof worden vervolgens volledig weggesputterd met 0.5 kv Ar + -ionen, waarna bij een druk van <10-9 mbar met XPS gedurende langere tijd de oppervlaksamenstelling wordt gevolgd. Na circa 100 minuten treedt verzadiging van de oxidatie op; er is dan in het XPS meetbereik naast het molybdeen 20 % zuurstof en geen koolstof waarneembaar. Uit hoekafhankelijke metingen wordt bepaald dat de laagdikte zuurstof ca. 0,2 nm bedraagt, overeenkomend met één monolaag. Dit is volgens verwachting, daar zich op een gevormde laag zuurstof niet gemakkelijk nieuwe zuurstof zal afzetten. Naast complete zuurstofbedekking kan op grond van het relatief grote aandeel zuurstof van 20 % geconcludeerd worden dat meer dan één monolaag zuurstof aanwezig is en er ook diffusie van zuurstof is opgetreden. Het geoxideerde oppervlak wordt nu gedurende 2,5 uur blootgesteld aan een verhoogde totaaldruk van ~ mbar. XPS wijst uit dat hierbij een koolstoflaag van ~ 0,3 nm is afgezet op de monolaag oxide. Conclusies Met XPS is bepaald dat de vervuiling aan het sample-oppervlak in het UHV typisch bestaat uit koolstof en zuurstof. Bij een druk van 10-9 mbar is het sample na ca. 100 minuten verzadigd met een monolaag oxide van 0,2 nm. Koolstofaangroei blijkt minder snel op te treden. Bij een druk van 10-9 blijkt deze na 100 minuten nog niet binnen de meetnauwkeurigheid waarneembaar. Bij mbar is na 2,5 uur een koolstoflaag van 0,3 nm gevormd; ruim één monolaag. Gebaseerd op deze waarnemingen kan de contaminatie in de loop van de tijd worden bepaald. Sampletransport vanuit de coating faciliteit naar de XPS en AES analysekamer neemt momenteel ongeveer 12 minuten in beslag, bij een basisdruk van 10-9 mbar. Tijdens dit transport zal slechts een oxidelaag van gemiddeld 0,1 nm dikte gevormd worden; een onvolledige bedekking van ca. 50%. Koolstofvervuiling tijdens sampletransport bleek verwaarloosbaar.
5 Gezien het feit dat nauwkeurige XPS en AES analyses zelf aanzienlijk meer tijd in beslag nemen, is de geconstateerde oxidatie en koolstofaangroei acceptabel. Implementatie van technieken als scanning tunneling microscopie (STM) en low energy ion spectroscopie (LEIS), beiden in principe monolaag oppervlakgevoelig, vereist echter wel hoger vacuüm en sneller transport. Mechanische aanpassingen aan het systeem en verbetering van de pompcapaciteit in combinatie met spoelgassen moet hier uitkomst bieden.
Spin-afhankelijk transport over anti-fase grenzen in magnetiet films
Samenvatting Spin-afhankelijk transport over anti-fase grenzen in magnetiet films Introductie Waarom zijn dunne films van magnetiet (Fe 3 O 4 ) interessant? Dit is omdat magnetiet magnetisch en geleidend
Nadere informatieSamenvatting voor de leek
SUMMARY Summary 179 OPERANDO SXRD: A NEW VIEW ON CATALYSIS Samenvatting voor de leek In dit proefschrift presenteer ik de resultaten van mijn onderzoek met behulp van röntgenkristallografie naar de structuur
Nadere informatieCover Page. The handle holds various files of this Leiden University dissertation.
Cover Page The handle http://hdl.handle.net/1887/20843 holds various files of this Leiden University dissertation. Author: Schramm, Sebastian Markus Title: Imaging with aberration-corrected low energy
Nadere informatieChemische reinheid van producten. Freek Molkenboer
Chemische reinheid van producten Freek Molkenboer Inhoudsopgave Wat is chemische reinheid, definitie en voorbeelden van werkgebieden waar chemische reinheid essentieel is voor het goed functioneren van
Nadere informatieSamenvatting Vrij vertaald luidt de titel van dit proefschrift: "Ladingstransport in dunne- lm transistoren gebaseerd op geordende organische halfgeleiders". Alvorens in te gaan op de specieke resultaten
Nadere informatieCover Page. The handle holds various files of this Leiden University dissertation
Cover Page The handle http://hdl.handle.net/1887/32852 holds various files of this Leiden University dissertation Author: Kautz, Jaap Title: Low-energy electron microscopy on two-dimensional systems :
Nadere informatieFOM en industrie ontwikkelen multilaagsspiegels voor de chipindustrie; STW financierde de aanzet
FOM en industrie ontwikkelen multilaagsspiegels voor de chipindustrie; STW financierde de aanzet Als je het goed doet, krijg je heel veel prachtige onderzoeksthema s Door het ogenschijnlijk rustige FOM-gebouw
Nadere informatieSamenvatting. Injectie van SiC deeltjes in Al
In technologische toepassingen wordt het oppervlak vaak het meeste belast. Dit heeft geleid tot het ontstaan van een nieuw vakgebied, de oppervlakte technologie. Constructie-onderdelen falen door hoge
Nadere informatieCover Page. The handle holds various files of this Leiden University dissertation
Cover Page The handle http://hdl.handle.net/1887/44732 holds various files of this Leiden University dissertation Author: Torren, Alexander J.H. van der Title: Growing oxide thin films in a low-energy
Nadere informatievan gas moleculen. Bijgevolg verhindert deze laag de adsorptie van watermoleculen op het oppervlak waardoor verdere oxidatie wordt verhinderd.
SAMENVATTING Om tegemoet te komen aan de vraag naar gewichtsreductie van de autocarrosserie zonder in te boeten aan crashweerstand, vervangt de auto-industrie reeds enkele jaren de conventionele staalsoorten
Nadere informatieXIII. Samenvatting. Samenvatting
XIII In dit werk wordt de invloed van dimethyldisulfide (DMDS) en van zeven potentiële additieven op het stoomkraken van n-hexaan onderzocht aan de hand van experimenten in een continu volkomen gemengde
Nadere informatieProgramma Studenten Open Dag FOM-Instituut "Rijnhuizen"
Programma Studenten Open Dag FOM-Instituut "Rijnhuizen" donderdag 15 oktober 2009 Programma Studenten Open Dag FOM-Instituut "Rijnhuizen" donderdag 15 oktober 2009 Na de ontvangst met een kopje thee of
Nadere informatieNEVAC examen Middelbare Vacuümtechniek
NEVAC examen Middelbare Vacuümtechniek Woensdag 10 mei 2000 13.30 16.00 uur Vraagstuk MV- 00-1 25 punten a) Maak een schets van een Bayard-Alpert ionisatiemanometer. Benoem de verschillende elektroden
Nadere informatieNEVAC examen Vacuümtechniek Maandag 7 april 2008, 14:00-16:30 uur
NEVAC examen Vacuümtechniek Maandag 7 april 2008, 14:00-16:30 uur Dit examen bestaat uit 4 vraagstukken en 5 pagina s Vraagstuk 1 (VT-08-1) (15 punten) Een vacuümvat wordt afgepompt met een eentraps draaischuifpomp
Nadere informatieCover Page. The handle holds various files of this Leiden University dissertation
Cover Page The handle http://hdl.handle.net/1887/31602 holds various files of this Leiden University dissertation Author: Cuylle, Steven Hendrik Title: Hydrocarbons in interstellar ice analogues : UV-vis
Nadere informatieInhoud. Over Rijnhuizen. Studenten Open Dag Rijnhuizen
Inhoud Inhoud... - 2 - Over Rijnhuizen... - 2 - Programma Studenten Open Dag... - 3 - Ontvangst... - 3 - Keuzemogelijkheden... - 3 - Toelichting op de te kiezen experimenten en groepen... - 4-1. Plasmawand
Nadere informatieNederlandse samenvatting
De spectroscopie en de chemie van interstellaire ijs analogen Het onderzoek dat in dit proefschrift wordt beschreven richt zich op laboratorium experimenten die astrochemische processen nabootsen onder
Nadere informatieBiaxiaal getextureerde lagen door middel van HIPIMS
Biaxiaal getextureerde lagen door middel van HIPIMS Dunne lagen zijn vaak getextureerd. Dit houdt in dat de opbouwende korrels een welbepaalde kristallografische oriëntatie hebben. Een voorbeeld zijn biaxiaal
Nadere informatieCover Page. The handle holds various files of this Leiden University dissertation
Cover Page The handle http://hdl.handle.net/1887/41415 holds various files of this Leiden University dissertation Author: Spronsen, Matthijs A. van Title: Oxidation catalysis on Pt and Au : complexity
Nadere informatieSTM in Liquids. Een wetenschappelijke proeve op het gebied van de Natuurwetenschappen, Wiskunde & Informatica. Proefschrift
STM in Liquids a scanning tunnelling microscopy exploration of the liquidsolid interface Een wetenschappelijke proeve op het gebied van de Natuurwetenschappen, Wiskunde & Informatica Proefschrift ter verkrijging
Nadere informatieUniversiteitsdagp. Nanomaterialen voor een duurzame toekomst? zaterdag 1 april Prof. Petra de Jongh Jessi van der Hoeven
Universiteitsdagp zaterdag 1 april 2017 Nanomaterialen voor een duurzame toekomst? Prof. Petra de Jongh Jessi van der Hoeven Overzicht Energie Fossiele brandstoffen - geweldig handig! Duurzame energie
Nadere informatieCover Page. The handle http://hdl.handle.net/1887/36145 holds various files of this Leiden University dissertation.
Cover Page The handle http://hdl.handle.net/1887/36145 holds various files of this Leiden University dissertation. Author: Turner, Monica L. Title: Metals in the diffuse gas around high-redshift galaxies
Nadere informatieHoofdstuk 2 Appendix A hoofdstuk 3 hoofdstuk 4 (hoofdstuk 5)
Telecommunicatie beheerst steeds sterker de hedendaagse samenleving en kan niet meer worden weggedacht. De hoeveelheid informatie die de wereld rondgestuurd wordt, groeit elke dag. Het intensief gebruik
Nadere informatieStudenten Open Dag DIFFER
FOM Instituut DIFFER Edisonbaan 14 3439 MN Nieuwegein Postbus 1207, 3430 BE Nieuwegein T 030 609 69 99 (Algemeen) T 030 609 67 49 (Secretariaat Open dagen) T 030 609 69 02 (Coördinator) F 030 609 12 04
Nadere informatieFiguur 1 Schematische opstelling van de STM
Zdenko van Kesteren Scanning Tunneling Microscope Vorige keer bekeken we de Atomic Force Microscope (AFM). De krachtige kijker die een resolutie had in de orde van de grootte van een atoom. Een andere
Nadere informatieTENTAMEN. x 2 x 3. x x2. cos( x y) cos ( x) cos( y) + sin( x) sin( y) d dx arcsin( x)
FACULTEIT TECHNISCHE NATUURWETENSCHAPPEN Opleiding Technische Natuurkunde Kenmerk: 46055907/VGr/KGr Vak : Inleiding Optica (4602) Datum : 29 januari 200 Tijd : 3:45 uur 7.5 uur TENTAMEN Indien U een onderdeel
Nadere informatieEindronde Natuurkunde Olympiade 2015 theorietoets deel 1
Eindronde Natuurkunde Olympiade 2015 theorietoets deel 1 Opgave 1 Botsend blokje (5p) Een blok met een massa van 10 kg glijdt over een glad oppervlak. Hoek D botst tegen een klein vastzittend blokje S
Nadere informatieIntegrated Raman and electron microscopy. Correlative chemical specificity and nanoscale resolution. Frank Timmermans
Integrated Raman and electron microscopy Correlative chemical specificity and nanoscale resolution Frank Timmermans Paranymphs André Timmermans Agustin Enciso Martinez Introductie Remainder of this presentation
Nadere informatieNEVAC examen Middelbare Vacuümtechniek Vrijdag 11 april 2003, 14:00-16:30 uur. Vraagstuk 1 (MV-03-1) (15 punten)
NEVAC examen Middelbare Vacuümtechniek Vrijdag 11 april 2003, 14:00-16:30 uur Dit examen bestaat uit 4 vraagstukken en 5 pagina s Vraagstuk 1 (MV-03-1) (15 punten) Uitstoken en lekkage a) Na enige uren
Nadere informatieSamenvatting voor de leek
Samenvatting voor de leek Niet-vluchtig geheugen (NVG), computergeheugen dat informatie bewaart zelfs als er geen spanning op de chip staat, wordt steeds belangrijker in elektronische apparatuur. De meest
Nadere informatieUitwerking- Het knikkerbesraadsel
Figure 1: Afleiding faseverschuiving eerste laag. Uitwerking- Het knikkerbesraadsel 1. (a) Als de punten C en D in fase zijn, zal er constructieve interferentie optreden [1]. Het verschil in optische padlengte
Nadere informatieCover Page. The handle holds various files of this Leiden University dissertation.
Cover Page The handle http://hdl.handle.net/1887/35972 holds various files of this Leiden University dissertation. Author: Wang, Qiang Title: Photon detection at subwavelength scales Issue Date: 2015-10-27
Nadere informatieGasfasedepositie en vacuümtechnieken
Oppervlaktebehandeling voor de constructeur - VI Gasfasedepositie en vacuümtechnieken Oppervlaktetechnieken zijn bij uitstek geschikt om de functionele eigenschappen van een voorwerp te veranderen of uit
Nadere informatieCursus Vacuümtechniek. Kenniscentrum Mechatronica Eindhoven
Cursus Vacuümtechniek Kenniscentrum Mechatronica Eindhoven Naslagwerken Vacuümtechniek L.Wolterbeek Muller: Vacuümtechniek, beginselen en toepassingen, ISBN 90-2012203-7, Uitg.: Kluwer Technische Boeken
Nadere informatieFysica 2 Practicum. X-stralen
Fysica 2 Practicum X-stralen 1. Theorie 1.1. Ontstaan en productie van X-stralen Een X-stralenspectrum bestaat uit de superpositie van twee verschillende bijdragen. Er is enerzijds een continu spectrum
Nadere informatieCover Page. The handle holds various files of this Leiden University dissertation.
Cover Page The handle http://hdl.handle.net/1887/67104 holds various files of this Leiden University dissertation. Author: Jacobse, L. Title: Platinum electrochemistry through a magnifying glass Issue
Nadere informatieSamenvatting Validatie meetmethodieken biogas
Samenvatting Validatie meetmethodieken biogas Onderzoek uitgevoerd door DNV Kema De SDE+ -regeling staat open voor biogasinstallaties die onderdeel uitmaken van een groengashub. Kenmerkend voor zo n hub
Nadere informatieCover Page. The handle holds various files of this Leiden University dissertation
Cover Page The handle http://hdl.handle.net/1887/40161 holds various files of this Leiden University dissertation Author: Ledezma Yanez, Isis Title: The role of water in hydrogen electrocatalysis Issue
Nadere informatieToets 2 Hogere Vacuümtechniek 2002 Dinsdag 10 december 2002, uur
Toets 2 Hogere Vacuümtechniek 2002 Dinsdag 10 december 2002, 16.00-17.30 uur Vraagstukken voorzien van een * uitsluitend voor HV Vraagstuk 1 (30/25 punten) Er zijn met twee verschillende massaspectrometers,
Nadere informatieTNO Quality Services BV
TNO Quality Services BV Retouradres: Postbus 6235, 5600 HE Eindhoven Flameguard B.V. t.a.v. De heer F. Vogelzangs Postbus 6572 6503 GB NIJMEGEN Onderwerp Analyse Flameguard De Rondom 1 Postbus 6235 5600
Nadere informatieSamenvatting Scheikunde Hoofdstuk 1 en 2
Samenvatting Scheikunde Hoofdstuk 1 en 2 Samenvatting door een scholier 918 woorden 13 januari 2005 6,3 193 keer beoordeeld Vak Methode Scheikunde Chemie overal Hoofdstuk 1 1.2: De bouw van een atoom.
Nadere informatieComplementariteit van Micro-XRF en SEM-EDX in materiaalonderzoek. Jens Lenaerts
Complementariteit van Micro-XRF en SEM-EDX in materiaalonderzoek Jens Lenaerts Overzicht Specificaties Micro-XRF Specificaties SEM-EDX Vergelijkende studie van Micro-XRF vs. SEM-EDX Toepassingen in materiaalonderzoek
Nadere informatieSamenvatting. Samenvatting
Samenvatting Een 'quantum dot' is een kristallijne strucuur waarvan de afmetingen in drie dimensies zijn beperkt, zodat de golffuncties van de elektronen opgesloten zijn in dit volume. De typische afmetingen
Nadere informatieSnijprocessen laser snijden proces varianten
Laskennis opgefrist (nr. 40) Snijprocessen laser snijden proces varianten De laser biedt een hoogst nauwkeurig CNC gestuurde methode voor het snijden van metalen, kunststoffen en keramische materialen.
Nadere informatieBrandstof, Remvloeistof, Smeer- en Koelmiddelen (7)
Brandstof, Remvloeistof, Smeer- en Koelmiddelen (7) E. Gernaat (ISBN 978-90-79302-07-9) 1 Vaste smeermiddelen 1.1 Werking Grafiet en molybdeen-disulfide (MoS 2 ) zijn de belangrijkste stoffen die worden
Nadere informatie6.1 Voortplanting en weerkaatsing van licht 6.2 Spiegel en spiegelbeeld
6.1 Voortplanting en weerkaatsing van licht 6.2 Spiegel en spiegelbeeld Lichtbronnen: Directe lichtbronnen produceren zelf licht Indirecte lichtbronnen reflecteren licht. Je ziet een voorwerp als er licht
Nadere informatieZirconia-Reinforced Dental Restorations C. Chen
Zirconia-Reinforced Dental Restorations C. Chen HOOFDSTUK 6 Samenvatting en Conclusies 107 Hoofdstuk 6 De toenemende interesse in de tandheelkunde voor volkeramische restauraties is vooral te danken aan
Nadere informatieUitwerkingen Hertentamen Optica
Uitwerkingen Hertentamen Optica 20 maart 2006 De volgende uitwerkingen zijn mogelijke manieren van oplossen, maar niet noodzakelijk de enige. Opgave 1 a) Dispersie is het fenomeen dat een medium een golflengte
Nadere informatieHoofdstuk 4. Chemische reacties. J.A.W. Faes (2019)
Hoofdstuk 4 Chemische reacties J.A.W. Faes (2019) Hoofdstuk 4 Chemische reacties Paragrafen 4.1 Kenmerken van een reactie 4.2 Reactievergelijkingen 4.3 Rekenen aan reacties Practica Exp. 1 Waarnemen Exp.
Nadere informatieSamenvatting EEN MID INFRAROOD ELLIPSOMETER
SAMENVATTING In het begin van de vorige eeuw werd het fenomeen supergeleiding ontdekt. Als bepaalde materialen worden afgekoeld tot onder een kritische temperatuur geleiden ze stroom zonder weerstand.
Nadere informatieASML heeft de sleutel tot snellere chips
ASML heeft de sleutel tot snellere chips door Tonie van Ringelestijn leestijd: 6 min Alle ogen in de chipindustrie zijn gericht op ASML. De nieuwe machines van het Veldhovense bedrijf zijn cruciaal om
Nadere informatieParagraaf 1: Fossiele brandstoffen
Scheikunde Hoofdstuk 2 Samenvatting Paragraaf 1: Fossiele brandstoffen Fossiele brandstof Koolwaterstof Onvolledige verbranding Broeikaseffect Brandstof ontstaan door het afsterven van levende organismen,
Nadere informatie5,5. Samenvatting door een scholier 1429 woorden 13 juli keer beoordeeld. Natuurkunde
Samenvatting door een scholier 1429 woorden 13 juli 2006 5,5 66 keer beoordeeld Vak Natuurkunde Natuurkunde samenvatting hoofdstuk 3 ioniserende straling 3. 1 de bouw van de atoomkernen. * Atoom: - bestaat
Nadere informatieAls de trapper in de stand van figuur 1 staat, oefent de voet de in figuur 2 aangegeven verticale kracht uit op het rechter pedaal.
Natuurkunde Havo 1984-II Opgave 1 Fietsen Iemand rijdt op een fiets. Beide pedalen beschrijven een eenparige cirkelbeweging ten opzichte van de fiets. Tijdens het fietsen oefent de berijder periodiek een
Nadere informatieVoorbereiding toelatingsexamen arts/tandarts. Fysica: Licht als golf en als deeltje. 24 juli 2015. dr. Brenda Casteleyn
Voorbereiding toelatingsexamen arts/tandarts Fysica: Licht als golf en als deeltje 24 juli 2015 dr. Brenda Casteleyn Met dank aan: Atheneum van Veurne (http://www.natuurdigitaal.be/geneeskunde/fysica/wiskunde/wiskunde.htm),
Nadere informatieNederlandse samenvatting
Chemie overal is het boek dat op Nederlandse middelbare scholen voor het scheikunde onderwijs wordt gebruikt. Op een paar uitzonderingen na is deze titel inderdaadniet alleen op aarde maar ook ver daarbuiten
Nadere informatieBereken de luchtdruk in bar op 3000 m hoogte in de Franse Alpen. De soortelijke massa van lucht is 1,2 kg/m³. De druk op zeeniveau bedraagt 1 bar.
7. Gaswetten Opgave 1 Opgave 2 Opgave 3 Opgave 4 Opgave 5 Opgave 6 Opgave 7 Bereken de luchtdruk in bar op 3000 m hoogte in de Franse Alpen. De soortelijke massa van lucht is 1,2 kg/m³. De druk op zeeniveau
Nadere informatieHet gezichtsvermogen is één van de meest krachtige zintuigen die we bezitten. Met onze ogen kunnen we, behoorlijk gevoelig, interacties waarnemen
Samenvatting Het gezichtsvermogen is één van de meest krachtige zintuigen die we bezitten. Met onze ogen kunnen we, behoorlijk gevoelig, interacties waarnemen tussen materie en electro-magnetische golven.
Nadere informatieTentamen Optica. 19 februari 2008, 14:00 uur tot 17:00 uur
Tentamen Optica 19 februari 2008, 14:00 uur tot 17:00 uur Zet je naam en studierichting bovenaan elk vel dat je gebruikt. Lees de 8 opgaven eerst eens door. De opgaven kunnen in willekeurige volgorde gemaakt
Nadere informatieOPEN DAG 2009. Welkom op de. Instituut voor Plasmafysica Rijnhuizen. Onderdeel van de landelijke oktober kennismaand
Welkom op de OPEN DAG 2009 Onderdeel van de landelijke oktober kennismaand Instituut voor Plasmafysica Rijnhuizen RIJNHUIZEN Edisonbaan 14 Nieuwegein Telefoon: 030-6096999 http://www.rijnhuizen.nl OPEN
Nadere informatieSamenvatting Chemie Overal 3 havo
Samenvatting Chemie Overal 3 havo Hoofdstuk 3: Reacties 3.1 Energie Energievoorziening Fossiele brandstoffen zijn nog steeds belangrijk voor onze energievoorziening. We zijn druk op zoek naar duurzame
Nadere informatieCursus Vacuümtechniek
Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 2-1 Cursus Vacuümtechniek Kenniscentrum Mechatronica Eindhoven Cursus Hogere Vacuümtechniek Week 2-2 Overzicht Vacuümgebied tijd voor een monolaag (s) 10 8 10 6 10 4 10
Nadere informatieComplexe Processen in Eenvoudige Ijzen
1 Complexe Processen in Eenvoudige Ijzen De eerste chemie Veertien miljard jaar geleden ontstaat uit de Big Bang een heet en stralingsgedomineerd universum waarin zelfs atomen niet kunnen overleven. Het
Nadere informatieSamenvatting nanokristallen gedoteerde spectroscopie
Samenvatting Dit proefschrift behandelt de eigenschappen van een speciale klasse van halfgeleiders (halfgeleiders zijn materialen die veel slechter geleiden dan een metaal, maar nog altijd veel beter dan
Nadere informatieToets HAVO 4 Chemie Hfdst. 2 Schatkamer aarde
Toets HAVO 4 Chemie Hfdst. 2 Schatkamer aarde Opgave 1 Op het etiket van een pot pindakaas staat als een van de ingrediënten magnesium genoemd. Scheikundig is dit niet juist. Pindakaas bevat geen magnesium
Nadere informatieSamenvatting Hoofdstuk 1 hoofdstuk 2
Hoofdstuk 1 geeft een overzicht van de achtergronden van biomateriaalgerelateerde infecties (BAI) en de mogelijke strategieën om deze infecties te voorkomen. De lezer wordt meegenomen in het onderwerp
Nadere informatieVerhogen van energie efficiëntie in industriële heaters
Verhogen van energie efficiëntie in industriële heaters Arthur Groenbos Product Manager Gas Analyzers arthur.groenbos@nl.yokogawa.com M. 0651538935 Introductie Yokogawa gaat dieper in op het verbeteren
Nadere informatieInterstellair Medium. Wat en Waar? - Gas (neutraal en geioniseerd) - Stof - Magneetvelden - Kosmische stralingsdeeltjes
Interstellair Medium Wat en Waar? - Gas (neutraal en geioniseerd) - Stof - Magneetvelden - Kosmische stralingsdeeltjes Neutraal Waterstof 21-cm lijn-overgang van HI Waarneembaarheid voorspeld door Henk
Nadere informatieCover Page. The handle holds various files of this Leiden University dissertation
Cover Page The handle http://hdl.handle.net/1887/28966 holds various files of this Leiden University dissertation Author: Heeres, Erwin Title: Manipulating carbon nanotubes towards the application as novel
Nadere informatieChapter 8b Samenvatting Een katalysator is een stof die de snelheid van een chemische reactie verhoogt, zonder daarbij zelf verbruikt te worden. Boven
Een katalysator is een stof die de snelheid van een chemische reactie verhoogt, zonder daarbij zelf verbruikt te worden. Bovendien kan door middel van een katalysator de selectiviteit van een reactie,
Nadere informatienatuurkunde vwo 2017-II
Elektronen uit metaal stoken Lees onderstaand artikel. Edison Thomas Edison was één van de belangrijkste ontwikkelaars van de gloeilamp. Hij constateerde dat een verhitte gloeidraad niet alleen licht maar
Nadere informatieinnovation in insulation
warmte vocht geluid 2.000 / BW / 07-2003 Bergman Grafimedia Deze uitgave is met de meeste zorg samengesteld. Eventuele wijzigingen en zetfouten ten alle tijde voorbehouden. Warmte Inleiding In de hedendaagse
Nadere informatieCover Page. The handle holds various files of this Leiden University dissertation.
Cover Page The handle http://hdl.handle.net/1887/20105 holds various files of this Leiden University dissertation. Author: Dong, Guocai Title: Formation of graphene and hexagonal boron nitride on Rh(111)
Nadere informatieSpec traal- selectieve oppervlakten.
Spec traal- selectieve oppervlakten. Drs. A.A.M. T. van Heereveld, Drs. E. Voaelzand -"- - Labora torium voor Technische Fysica, Rijksuniversiteit Groningen, Mijenborgh 18,9747 A G Groningen. i. Inleiding
Nadere informatieCover Page. The handle holds various files of this Leiden University dissertation
Cover Page The handle http://hdl.handle.net/1887/25580 holds various files of this Leiden University dissertation Author: Kamran, Muhammad Title: Photosynthetic light reactions at the gold interface Issue
Nadere informatiePRODUCTBROCHURE PRECITEC LR. Optische sensor voor oppervlakken waarbij extreme nauwkeurigheid noodzakelijk is
PRODUCTBROCHURE PRECITEC LR Optische sensor voor oppervlakken waarbij extreme nauwkeurigheid noodzakelijk is 2 PRECITEC LR Optische sensor voor oppervlakken waarbij extreme nauwkeurigheid noodzakelijk
Nadere informatieOefening-examen fysische chemie 2e bachelor materiaalkunde & chemische ingenieurstechnieken
Oefening-examen fysische chemie 2e bachelor materiaalkunde & chemische ingenieurstechnieken Prof. Zeger Hens 16 juni 2009 08:30 Vraag 1 Magnesium (Mg) is een metaal dat tegenwoordig bestudeerd wordt als
Nadere informatieStel je meet calcium bij 423 nm met een acethyleen-lucht vlam van 2400 K. Hoe groot is dan de verhouding N 1/N 0?
Hoofdstuk 10 Atomaire emissiespectrometrie bladzijde 1 Opgave 1 Stel je meet calcium bij 423 nm met een acethyleen-lucht vlam van 2400 K. Hoe groot is dan de verhouding N 1/N 0? h: 6,626 10-34 Ts c: 2,998
Nadere informatieTechnische Universiteit Eindhoven Tentamen Thermische Fysica II 3NB65. 5 juli 2013, uur
Technische Universiteit Eindhoven Tentamen Thermische Fysica II 3NB65 5 juli 2013, 9.00-12.00 uur Het tentamen bestaat uit drie, de hele stof omvattende opgaven, onderverdeeld in 15 deelopgaven die bij
Nadere informatieVoorbereiding toelatingsexamen arts/tandarts. Fysica: Licht als golf en als deeltje. 4 november Brenda Casteleyn, PhD
Voorbereiding toelatingsexamen arts/tandarts Fysica: Licht als golf en als deeltje 4 november 2017 Brenda Casteleyn, PhD Met dank aan: Atheneum van Veurne, Leen Goyens (http://users.telenet.be/toelating)
Nadere informatieNEVAC examen Vacuümtechniek Maandag 19 april 2010, 14:00-16:30 uur
NEVAC examen Vacuümtechniek Maandag 9 april 200, 4:00-6:30 uur Dit examen bestaat uit 3 vraagstukken en 5 pagina s Vraagstuk (VT-0-) (35 punten) In onderstaande figuur is een hoogvacuümsysteem geschetst,
Nadere informatieFysica 2 Practicum. Er bestaan drie types van spectra voor lichtbronnen: lijnen-, banden- en continue spectra.
Fysica 2 Practicum Atoomspectroscopie 1. Theoretische uiteenzetting Wat hebben vuurwerk, lasers en neonverlichting gemeen? Ze zenden licht uit met mooie heldere kleuren. Dat doen ze doordat elektronen
Nadere informatieDiffusie Proces in Silicium
Diffusie Proces in Silicium Jan Genoe KHLim Universitaire Campus, Gebouw B B-3590 Diepenbeek www.khlim.be/~jgenoe Diffusie process in Silicium 1 In dit deel bespreken we de verschillende technologische
Nadere informatieNEVAC examen Lagere Vacuümtechniek Woensdag 10 mei 2000, uur
NEVAC examen Lagere Vacuümtechniek Woensdag 10 mei 2000, 13.30 16.00 uur Vraagstuk 1 ( LV 2000 1) 25 punten. In een handbediende opdampinstallatie wordt aluminium op een glasoppervlak opgedampt om dit
Nadere informatieSAMENVATTING. F = k w (C zeewater - C lucht ) (1)
SAMENVATTING Menselijke activiteiten brengen een grote hoeveelheid kooldioxide (CO 2 ) in de atmosfeer. Het wordt nu algemeen erkend dat dit kan leiden tot opwarming van de aarde. Dit inzicht heeft geleid
Nadere informatieExact Periode 5 Niveau 3. Dictaat Licht
Exact Periode 5 Niveau 3 Dictaat Licht 1 1 Wat is licht? In de figuur hieronder zie je een elektromagnetische golf: een golf die bestaat uit elektrische en magnetische trillingen.(zie figuur). Licht is
Nadere informatieTechnische Universiteit Eindhoven
Technische Universiteit Eindhoven Tentamen: Golven en Optica (3BB40) Datum: 24 november 2006 N.B.: Dit tentamen bestaat uit 4 vraagstukken en 5 pagina s met formules (LET OP, formulebladen zijn gewijzigd!!).
Nadere informatieWerkblad 2.3: Elektrondiffractie aan Grafiet
Werkblad 2.3: Elektrondiffractie aan Grafiet In dit experiment wordt de afstand tussen naburige atomen in een grafietkristal bepaald. Grafiet is een kristallijne vorm van koolstof waarbij het kristal is
Nadere informatieNITAI NITREREN, NITROCARBONEREN
NITAI NITREREN, NITROCARBONEREN Thermochemische processen Hoge slijtvastheid bij adhesie Hoge randhardheid Vermindering van de wrijvingscoëfficiënt Verhoging van de corrosiebestendigheid CONVERTING converting
Nadere informatieCover Page. The handle holds various files of this Leiden University dissertation
Cover Page The handle http://hdl.handle.net/1887/33101 holds various files of this Leiden University dissertation Author: Kazandjian, Mher V. Title: Diagnostics for mechanical heating in star-forming galaxies
Nadere informatieHertentamen Optica. 20 maart 2007. Zet je naam, studentennummer en studierichting bovenaan elk vel dat je gebruikt. Lees de 6 opgaven eerst eens door.
Hertentamen Optica 20 maart 2007 Zet je naam, studentennummer en studierichting bovenaan elk vel dat je gebruikt. Lees de 6 opgaven eerst eens door. Opgave 1 Slechts eenmaal heeft God de natuurwetten blijvend
Nadere informatieCover Page. The handle http://hdl.handle.net/1887/20925 holds various files of this Leiden University dissertation.
Cover Page The handle http://hdl.handle.net/1887/20925 holds various files of this Leiden University dissertation. Author: Tabak, F.C. Title: Towards high-speed scanning tunneling microscopy Issue Date:
Nadere informatie6.9. Boekverslag door G woorden 13 december keer beoordeeld. Scheikunde
Boekverslag door G. 1415 woorden 13 december 2016 6.9 13 keer beoordeeld Vak Scheikunde Scheikunde H2: Chemische Reacties 1. Ontledings- en scheidingsreacties (begrippen komen op het einde) Wat zijn de
Nadere informatieAutogeen snijden. Het proces en de gassen
Laskennis opgefrist (nr. 36) Autogeen snijden. Het proces en de gassen Het autogeensnijden is in de metaalindustrie nog altijd het meest toegepaste thermische snijproces. Deze populariteit ontleent het
Nadere informatieHybrid organic spin valves Popinciuc, Mihaita
Hybrid organic spin valves Popinciuc, Mihaita IMPORTANT NOTE: You are advised to consult the publisher's version (publisher's PDF) if you wish to cite from it. Please check the document version below.
Nadere informatieDetectie van kosmische straling
Detectie van kosmische straling muonen? geproduceerd op 15 km hoogte reizen met een snelheid in de buurt van de lichtsnelheid levensduur = 2,2.10-6 s s = 2,2.10-6 s x 3.10 8 m/s = 660 m = 0,6 km Victor
Nadere informatieGridPix: Development and Characterisation of a Gaseous Tracking Detector W.J.C. Koppert
GridPix: Development and Characterisation of a Gaseous Tracking Detector W.J.C. Koppert Samenvatting Deeltjes Detectie in Hoge Energie Fysica De positie waar de botsing heeft plaatsgevonden in een versneller
Nadere informatieNEVAC examen Vacuümtechniek Maandag 6 april 2009, 14:00-16:30 uur
NEVAC examen Vacuümtechniek Maandag 6 april 2009, 14:00-16:30 uur Dit examen bestaat uit 4 vraagstukken en 5 pagina s Vraagstuk 1 (VT-09-1) (20 punten) a. Een moderne draaischuifpomp is voorzien van een
Nadere informatieExamen Middelbare Vacuümtechniek 1999
Examen Middelbare Vacuümtechniek 1999 Vrijdag 23 april 1999, 13.30-16.00 uur Vraagstuk 1 (MV-99-1) (15 punten) a) Maak een schets van een warmtegeleidingsmanometer. b) Leg aan de hand van deze schets de
Nadere informatieNEVAC examen Elementaire Vacuümtechniek Maandag 6 april 2009, 14:00-16:30 uur. p HV p 2 V 3 V 4 V 1. p 1 V 2
NEVAC eamen Elementaire Vacuümtechniek Maandag 6 april 2009, 14:00-16:30 uur Dit eamen bestaat uit 4 vraagstukken en 4 pagina s Vraagstuk 1 (EVT-09-1) (40 punten) p HV p 2 V 4 K V 3 V 1 p 1 V 2 In een
Nadere informatie