Nieuws ASML: we zijn weer vertraagd, maar we gaan het redden

Transcriptie

1 Nieuws ASML: we zijn weer vertraagd, maar we gaan het redden Interview Wie niet vernieuwt, is niet aantrekkelijk voor de jongere garde 9 Maandelijks magazine voor de hightechindustrie // 1 november - 13 december 2013 // Samen ontwikkelen Uitbesteding stimuleert innovatie bij Nefit Bekijk de beurscatalogus online Bits&Chips 2013 online EMBEDDED SYSTEMS

2 Learn, create and make it work! OPEN HUIS! Nieuwsgierig naar jouw carrièremogelijkheden binnen CIMSOLUTIONS? Wij houden OPEN HUIS in onze kantoren in Groningen, Amsterdam en Vianen en je bent van harte welkom! De kans om samen te onderzoeken wat voor jou de mogelijkheden zijn. CIMSOLUTIONS Weekend 2013 in Limburg GRONINGEN vrijdag 1 november, uur zaterdag 2 november, uur AMSTERDAM vrijdag 8 november, uur zaterdag 9 november, uur CIMSOLUTIONS sportdag VIANEN vrijdag 15 november, uur zaterdag 16 november, uur Tijdens het OPEN HUIS presenteren onze specialisten de best practices op het gebied van Kennismanagement, Prince2, DSDM, RUP, Agile/Scrum, Lean, CMMi, UML, TMAP, Microsoft, Java/J2EE, Oracle, Internet en Embedded. In de projectkamers kun je door ons ontwikkelde state-of-the-art applicaties en systemen bekijken. Je proeft de sfeer en ontmoet onze medewerkers, die graag vertellen over hun ervaringen binnen CIMSOLUTIONS. Lunch en drankjes staan de gehele dag voor je klaar. Wij nodigen ambitieuze professionals en starters uit met een voorliefde voor ICT, die klantgericht zijn en zowel zelfstandig als in teamverband goed functioneren. Tevens ben je communicatief en sociaal vaardig en blink je uit in kwaliteit en professionaliteit en beschik je over een HBO- of Universitair diploma. CIMSOLUTIONS is een TOP ICT-Dienstverlener op het gebied van administratieve en industriële automatisering, opererend vanuit onze vestigingen in Amsterdam, Best, Deventer, Groningen, Rotterdam, Vianen en Dhaka (Bangladesh). We zijn ISO gecertificeerd en dit jaar door CRF voor de 6e keer als Top Employer ICT beoordeeld. Onze klanten zijn internationale bedrijven en overheden waar technologie en innovatie hoog in het vaandel staan. Onze uitdaging is om onze klanten succesvol te laten zijn in hun projecten en doelstellingen. Daarvoor leveren wij als onafhankelijke ICT dienstverlener met een eigen Research & Development en ruim 280 professionals hoogwaardige expertise en oplossingen in de volle breedte van het ICT werkveld, al sinds Bezoek voor meer informatie onze website Interesse? Als je langs wilt komen bij ons OPEN HUIS, meld je dan per telefoon of per hrm@cimsolutions.nl aan en stuur bij voorkeur je sollicitatiebrief met CV mee. Indien je niet in staat bent om langs te komen en toch geïnteresseerd bent in een functie bij CIMSOLUTIONS, stuur dan je sollicitatiebrief met CV naar hrm@cimsolutions.nl. Voor meer informatie over ons OPEN HUIS, over onze vacatures en over CIMSOLUTIONS, zie onze website en/of bel met Jos Peek of Djurre van Gulik, telefoon tot uur. Vianen Best Deventer Rotterdam Amsterdam Groningen Dhaka CIMSOLUTIONS B.V. Havenweg 24, 4131 NM Vianen Postbus 183, 4130 ED Vianen The Netherlands Phone: (+31) Fax: (+31) cimsolutions@cimsolutions.nl Internet:

3 Opinie Redactioneel Paul van Gerven is redacteur van Bits&Chips. Overdrijven Marike Stellinga laat in een recente column (NRC Handelsblad, 21 september 2013) haar licht schijnen op de arbeidsmarkt voor technici. Haar advies aan politici: negeer om hulp bedelende techniekbedrijven, die slechts uit zijn op goedkoop en gedwee personeel. Zij moeten het hun personeel maar meer naar de zin maken. Mijn eerste reactie was er een van irritatie, maar na enkele rapporten te hebben bestudeerd en een arbeidsmarkteconoom te hebben geconsulteerd, moet ik constateren dat je de essentie van Stellinga s column niet zonder meer kunt afdoen als simplistische nonsens. Maar er valt wel veel op af te dingen. Eerst een correctie. Stellinga schrijft, zich baserend op een rapport van onderzoeksbureau SEO, dat de arbeidsvoorwaarden en carrièreperspectieven niet aantrekkelijk genoeg zijn in de techniek. Inderdaad valt in het bewuste rapport te lezen dat deze twee factoren vaak worden genoemd door mensen die overstappen van een technische naar een niet-technische branche. Maar dat slaat op álle type werknemers onderscheid tussen lassers of secretaresses wordt er niet gemaakt. Stellinga s conclusie dat werkgevers het hun technici niet naar de zin maken, is dus nergens op gebaseerd. Integendeel, recente cijfers wijzen uit dat technici juist vrij honkvast zijn. Slechts kleine aantallen lekken weg naar de handel of de dienstverlening. Dat wil zeggen: van degenen die na school daadwerkelijk de techniek in zijn gegaan. Van de technisch opgeleide schoolverlaters daarentegen kiest maar liefst veertig procent direct voor een baan buiten de techniek. Hoe dat komt, schrijft SEO, moet nog worden onderzocht. Mijn suggestie aan de sector zou zijn om daar snel opdracht toe te geven, want deze kennis biedt waarschijnlijk waardevolle aanknopingspunten om het Techniekpact dat fors op scholing inzet veel effectiever te maken. Nu de kern van de zaak. In de ogen van Stellinga is er een maatschappelijk belang nodig om overheidsingrijpen op de arbeidsmarkt te rechtvaardigen, en dat is redelijk. Dit belang zou je kunnen definiëren als nettowelvaartswinst voor de samenleving. Maar wat is welvaartswinst? Een hogere export, iets wat bij uitstek de industrie kan bewerkstelligen? Of is welvaartswinst meer handen aan het bed van onze zieken en bejaarden? Beide zou het beste zijn, maar met een krimpende arbeidsmarkt is dat geen optie. Alle (toekomstige) arbeidskrachten die worden verleid om in de techniek te gaan werken, kunnen niet tegelijkertijd in de zorg aan de slag. Als we hier zouden stoppen, is al dan niet ingrijpen in de arbeidsmarkt vooral een politieke keuze. Maar er is meer. Werknemers in de industrie brengen bij uitstek innovaties voort waar de hele samenleving van Op R&D steunende activiteiten rimpelen meer uit dan de meeste andere profiteert en niet alleen als economische activiteit die geld oplevert. De twijfelaar die nu door het Techniekpact wordt verleid de techniek in te gaan, vindt misschien wel een zorgrobot uit die verplegers een boel taken uit handen neemt. Meer algemeen rimpelen op R&D steunende activiteiten meer uit in de samenleving dan de meeste andere. Dat rechtvaardigt dat de overheid een beetje bijstuurt, net zoals ze de loonkosten van onderzoekers subsidieert. Een beetje bijsturen is precies hoe ik het Techniekpact zou willen typeren, want er wordt nu niet bepaald met miljoenen gesmeten en uiteindelijk blijft alle individuele keuzevrijheid behouden. Stellinga moet dus niet zo overdrijven. 9 3

4 Inhoud Deze keer in Bits&Chips Nieuws EUV: nog een jaartje geduld a.u.b. Ondanks een nieuwe vertraging ligt ASML op koers om volgend jaar productiewaardige EUV-machines af te leveren. Interview Time-to-market beheerst productontwikkeling op alle fronten Als nieuwe directeur van Logic Technology is Gilbert Gadet vooral van plan de huidige business voort te zetten. 13 Recore terug 20 Gefascineerd door 34 Philips Hue naar de tekentafel zelforganisatie doorgelicht Nieuws 7 In 140 woorden 8 Overzicht 10 EUV: nog een jaartje geduld a.u.b. 12 Het topsectorenbeleid: meer overheid s.v.p. 13 Recore terug naar de tekentafel 16 TUE-centrum gaat groeiende databergen uitvlooien met bedrijven 31 De eerste koolstofcomputer Opinie 3 Overdrijven Paul van Gerven 17 Samen eens zijn dat je het oneens bent Ludo Zwaan 25 De headhunter Anton van Rossum 29 Wie kan me uitleggen hoe je agile test? Derk-Jan de Grood 37 De communicatietrainer Jaco Friedrich Interview 20 Hans Abbink (Almende) Gefascineerd door zelforganisatie 26 Gilbert Gadet (Logic) Time-to-market beheerst productontwikkeling op alle fronten Achtergrond 32 Beeldverwerkingsketens bekijken met dezelfde bril 34 Philips Hue doorgelicht En verder 66 Trainingen 67 Events 72 Wegwijzer 75 Colofon Op de fiets 19 CPU-FPGA-tandems en de menselijke factor 4 9

5 Thema Samen ontwikkelen Nieuws Nefit Easy toonbeeld van innovatie voor Bosch In zo n anderhalf jaar stampten Nefit en Inspiro een fonkelnieuwe slimme thermostaat uit de grond. Achtergrond HTNL Award Bits&Chips stelt de drie kanshebbers voor de HTNL Award voor: Demcon, Sorama en Techneco. 49 Een kwestie van 52 Vergeet competitief, 57 Halfwaardetijd vertrouwen word coöperatief van vertrouwen Nieuws 42 Nefit Easy toonbeeld van innovatie voor Bosch Opinie 49 Een kwestie van vertrouwen Wim Hendriksen 57 Halfwaardetijd van vertrouwen Robert Hendriksen 65 Kleine bedrijven en grote wetenschap Joost Backus s online Achtergrond 52 Vergeet competitief, word coöperatief 54 Ontwikkelen over de domeingrenzen 59 Robotendoscoop maakt chirurgie minder belastend 60 Eindhovense geluidscamera zet microtrillingen op de kaart 61 Slimme warmtepomp meet eigen prestaties 62 Innovatieregelingen anno 2014 Bekijk de beurscatalogus online Bits&Chips 2013 EMBEDDED SYSTEMS 9 5

6 Optimized embedded system through System on Chip? Let Adeas be your independent design partner for SoC solutions. Get the innovation and reap the rewards: Boost performance Reduce system power Increase flexibility Improve security Minimize board space Optimize reliability Adeas BV Luchthavenweg EA Eindhoven Telefoon: +31 (0) Visit us at: All programm able ARM process or + FPGA fabri c in one.

7 Analyse In 140 woorden Chips Intel voor de doe-het-zelver De logge tanker die niet snel genoeg van koers kan wijzigen om in een veranderende markt relevant te blijven: dat is het beeld dat spreekt uit Intels anemische marktaandeel binnen smartphones en tablets, die steeds meer terrein winnen op de pc. Maar even afgezien van de ontwikkeling van nieuwe markten en groei in zijn traditionele domeinen, lijkt Chipzilla lessen te hebben getrokken uit het smartphone-debacle. Met het uitbrengen van de Quark-Socs voor embedded toepassingen is de halfgeleidergigant klaar om mee te doen met wat er nog meer komt aan de onderkant, zoals het intelligent maken van apparaten en wearable computing. Beter nog: Intels eerste stap is om de architectuur beschikbaar te maken voor de ingenieurs van morgen via een betaalbaar Arduino-compatibel bordje, waar het er vijftigduizend van weggeeft aan onderwijsinstellingen. PE Consumentenelektronica Liegen in de echte wereld Lies, damned lies and benchmarks is helaas een bekende toespeling in de hightechindustrie op Mark Twains uitspraak over statistiek. Er zijn alom voorbeelden te vinden van software geoptimaliseerd voor de specifieke testparameters van bekende benchmarks. En anders kan een fabrikant nog altijd de punten benadrukken waarop zijn product wel goed scoort (bijvoorbeeld berekeningen per seconde) en de minder welgevallige resultaten weglaten (zoals geheugensnelheid). De resultaten hoeven daarom niet representatief te zijn voor daadwerkelijke prestaties. De laatste jaren zijn de synthetische tests daarom vervangen door realworld benchmarks. Anno 2013 betekent dat echter niet dat er niet meer vals wordt gespeeld. Anandtech betrapte Samsung, HTC, Asus en LG op software in hun smart phones die benchmarks detecteert en simpelweg eventjes de strikte frequentie- en voltagegrenzen verruimt wanneer die draaien. U weet nog steeds niet wat u koopt. PE Onderzoek Graag alleen adviseren wat wij willen Wetenschap is leuk, maar ze moet niet denken dat ze de waarheid in pacht heeft. Minister Bussemaker en staatssecretaris Dekker van OCW zetten daarom een dikke streep door het advies van de KNAW om regels op te stellen over hoe de overheid met wetenschappelijk advies om zou moeten gaan. De overheid moet de verleiding weerstaan stevig opgetuigde begeleidingscommissies bij opdrachtonderzoek en gevraagd advies te betrekken, aldus de KNAW. Overheid en politiek moeten zelf besluiten nemen, zonder de wetenschap als adviseur daarin te compromitteren. Nooit meer een rapportje inhoudelijk kunnen bijsturen of moeten uitleggen waarom de overheid anders besluit dan geadviseerd? Hm. Wij zijn geen voorstander van regelgeving voor onderzoek in opdracht van de overheid, schrijven Bussemaker en Dekker. Waarom ze van het advies van de KNAW afwijken, schrijven de bewindslieden niet. PvG Gezocht: recensent voor Tips voor testers Anderis vroeg ruim negenhonderd testprofessionals naar hun adviezen voor de sector. De resultaten heeft het gebundeld in het boek Tips voor testers 101 adviezen uit de praktijk. Veel raadgevingen gaan niet over hard skills, maar over communicatieve en strategische vaardigheden die voor testprofessionals onmisbaar zijn. Wilt u dit boek recenseren voor Bits&Chips? Stuur dan een naar de redactie, redactie@techwatch.nl. Innovatie Nu weten we het wel In het European Competitiveness Report houdt de Europese Commissie eens per jaar de concurrentiepositie van de industrie tegen het licht, zowel voor de hele Unie als per lidstaat. In de editie van 2013, die eind september verscheen, komt Nederland naar voren als een van de toppers, waar het onder meer dankzij het gunstige ondernemingsklimaat, de hoge arbeidsproductiviteit en het hoogstaande onderwijssysteem goed toeven is voor de gemiddelde industriële onderneming. De Commissie geeft echter opnieuw twee bekende waarschuwingen af: Nederlandse bedrijven investeren te weinig in R&D en naar verhouding zijn er erg weinig mensen met een bètaberoep. Hoewel het geen kwaad kan om er wat aan te doen, is het nu echt nodig om ons deze zwaktes te blijven inpeperen? Ja ja, we zijn in de eerste plaats een diensteneconomie dat is toch erg genoeg? PvG Energie Krokodillentranen van energiebedrijven Staat Europa aan de vooravond van een energiecrisis? Ja, zeggen tien CEO s van Europa s grotere energiebedrijven. Op campagne langs Europese hoofdsteden waarschuwden zij voor meer black-outs in de toekomst, omdat gesubsidieerde lokaal opgewekte groene stroom hen in de wielen rijdt. Investeringen blijven daarom achter en er moeten meer centrales dicht, terwijl die nodig zijn om dalen in de energievoorziening op te vangen. Ach gut, wie had nu gedacht dat die gekke zonnepanelen of idiote windmolens ooit zouden aanslaan? De energiebedrijven in ieder geval niet. Zij hebben jaren geleden geïnvesteerd in forse capaciteitsuitbreidingen en huilen nu krokodillentranen. Het geeft te denken over de wijsheid de energiesector te privatiseren. Want net als banken kun je een energiebedrijf niet zomaar laten vallen. PvG 9 7

8 Nieuws Overzicht Draadloos Callewaert stopt als Option-CEO Na 27 jaar legt oprichter Jan Callewaert zijn rol als CEO van Option neer. Frank Deschuytere, voormalig CEO van Xeikon, volgt hem per direct op. Callewaert blijft wel voorzitter van het Leuvense technologiebedrijf, waardoor hij zich meer kan richten op de overkoepelende strategische koers en de externe relaties. PE /option Halfgeleiders Nijmegen krijgt grafeenfabriek De Leidse start-up Applied Nanolayers wil een productiefaciliteit voor grafeen in Nijmegen. Dat heeft CEO Paul Hedges gezegd tijdens de opening van de open-innovatiecampus bij de Nijmeegse NXP-locatie. Hedges zegt het materiaal op 200 mm wafers te willen gaan leveren. Gebruikers kunnen het koolstoflaagje overbrengen op hun eigen applicatie. PE /grafeen ICSense helpt Australiërs met platte speakers ICSense gaat Audio Pixels ondersteunen bij de massaproductie van diens Mems-gebaseerde speakermodules. De Australische fabless werkt samen met de Leuvenaren aan een compleet modulair luidsprekerelement van slechts een millimeter dik. ICSense ontwerpt de hoogspanningsdriver-asic, integreert deze met het Mems-ontwerp en verzorgt de test- en productiediensten van de chip. PE /icsense Lithografie ASML en Imec richten apart lithocentrum op ASML en Imec starten op de Imec-campus in Leuven het Advanced Patterning Center. Dit onderzoekscentrum richt zich op de ontwikkeling van geavanceerde lithografieprocessen in relatie met andere IC-productiestappen om de complexiteit van de komende chipgeneraties het hoofd te kunnen bieden. Er komen naar verwachting honderd ingenieurs te werken. PvG /apc Opto-elektronica VUB opent lichtlab De Vrije Universiteit Brussel heeft een lichtlaboratorium geopend. Het lab is verbonden aan de onderzoeksgroep B- Phot van Hugo Thienpont. Samen met industriële partners gaat het onderzoek doen naar nieuwe lichttoepassingen zoals lasers en leds. NR /lichtlab Beeldverwerking Adimec en TNO samen in beeldverbetering Adimec en TNO bundelen de krachten in beeldverbetering. De Eindhovense specialist in profes- sionele daglichtcamera s gaat algoritmes van de nationale innovatie-instelling inbouwen in zijn systemen. Het betreft een uitgebreid pakket van rekenschema s die corrigeren voor turbulentieeffecten. Bij de integratie hiervan zal TNO Adimec met raad en daad terzijde staan. NR /adimec Kwantumrekenen Nederland wil praktische kwantumcomputer bouwen In Delft komt een instituut waarin de TU, onderzoeksinstituten TNO en SRon en de Nederlandse hightechsector samen gaan werken aan een praktische kwantumcomputer. Dit Qutechinstituut is onderdeel van het innovatiecontract van de topsector HTSM. TU Delft-hoogleraar Leo Kouwenhoven krijgt de leiding. PE /qutech Verkeer en vervoer Automotive-spin-off TNO koopt partner testcrashfaciliteit uit Tass International, waarin TNO begin dit jaar zijn automotiveactiviteiten onderbracht, neemt alle aandelen in de TTAI-testfaciliteit over van de Duitse partner Tüv Rheinland. TTAI ontstond in 2008 toen de twee instellingen besloten hun crashtestfaciliteiten te consolideren. Tass kan hiermee het volledige spectrum van softwaresimulaties tot aan fysieke tests aanbieden. PE /tass Fourtress gaat doorstroming op A67 verbeteren Een mkb-consortium met Fourtress als penvoerder mag aan de slag om een innovatieve mobiliteitsoplossing te ontwikkelen voor de snelweg A67. In het kader van het programma Brabant In-Car III is anderhalf miljoen euro beschikbaar om de doorstroming te verbeteren. Het Fourtress-voorstel is een van de drie uitverkoren projecten. NR /a67 Delft wint WK zonneracen In Australië heeft de Nuna7- zonnewagen van de TU Delft de 2013 Bridgestone World Solar Challenge gewonnen in de Challenger-klasse. The Red Engine Foto: Jorrit Lousberg van de UT eindigde als derde. Het Leuvense Punch Powertrain Solar Team pakte de zesde plek én de Technical Innovation Award voor zijn batterijpakket. NR /nuna7 Eindhovense gezinsauto wint zonnerace De Stella van de TUE heeft de World Solar Challenge gewonnen in de Cruiser-klasse voor gezinsauto s op zonne-energie. De wagen eindigde als tweede in de race en kwam als beste uit de bus bij de jurybeoordeling op praktische aspecten. In het gecombineerde klassement werd de auto eerste. NR /stella Medisch Intel en Vlaams verbond in supercomputers voor biotech Intel, medicijngigant Janssen Pharmaceutica, Imec en vijf Vlaamse universiteiten starten een supercomputercentrum gespecialiseerd in de levenswetenschappen en biotechnologie. Toepassing van brute rekenkracht De volledige artikelen zijn te vinden op gevolgd door het label bij het betreffende stuk. 8 9

9 moet leiden tot versnelling van de research. Het Exascience Life Lab komt op de Imec-campus. PvG /exascience Lucht- en ruimtevaart Thales Alenia Space opent site in Leuven Naast de bestaande vestiging in Charleroi opent Thales Alenia Space komend jaar een site in Leuven. Hier gaat het zich toeleggen op nieuwe subsystemen voor draagraketten en nieuwe converters voor satellieten, om te beginnen met een twintigtal ingenieurs. Het heeft voor Leuven gekozen vanwege de nabijheid van Imec. NR /alenia Elektronica Philips boekt stevige winstgroei Philips heeft ondanks een omzetdaling van 3,5 procent de winst flink verbeterd. Het nettoresultaat bedroeg 281 miljoen euro, tegen 105 miljoen euro dezelfde periode vorig jaar. Topman Frans van Houten schrijft de prestatieverbetering deels toe aan het besparingsprogramma Accelerate, maar deels ook aan minder tastbare zaken, zoals een cultuuromslag. PvG /philips Netwerken KPN gaat innoveren in Eindhoven De gemeente Eindhoven en KPN bundelen de krachten voor innovatie. Het telecombedrijf beschouwt de Brabantse lichtstad als een proeftuin waar het kan zien hoe nieuwe vindingen uitwerken. Voor de ontwikkeling daarvan gaat het meer samenwerken met lokale partijen zoals de TUE en de High Tech Campus Eindhoven. NR /kpn België gespaard in massareorganisatie Alcatel-Lucent Alcatel-Lucent heeft meer details bekendgemaakt van zijn Shift-herstructureringsplan. Eind 2015 moeten er zo n tienduizend banen minder zijn. Voor België vallen de gevolgen mee: in Antwerpen verdwijnen dertig à veertig van de veertienhonderd banen, in Namen mogen alle 53 medewerkers blijven. In Nederland sneuvelen tachtig van de 550 arbeidsplaatsen. PE /alcatel-lucent Innovatie Honderden banen weg bij TNO TNO schrapt vóór eind 2014 honderden banen wegens sterk teruglopende inkomsten. De organisatie heeft nog niet bekendgemaakt bij welke afdelingen de klappen vallen. Het instituut kijkt ook naar andere besparingen en zal onder meer bezuinigen op een aantal voorgenomen investeringen. PE /tno Onderzoek Twentse EWI-faculteit schrapt 35 banen De faculteit Elektrotechniek, Wiskunde en Informatica van de Universiteit Twente gaat 35 banen schrappen, van in totaal 33 fte. Dat is nodig om drie miljoen euro te bezuinigen. Er wordt één vakgroep in zijn geheel opgeheven vanaf volgend collegejaar: de Integrated Optical Microsystems-groep. PE /ut Meest geklikt 1 Lithografie ASML schakelt op ASML ligt op koers om de omzet van vorig jaar te overtreffen. Het verwacht in K4 1,8 miljard euro te kunnen noteren, waar het ruim 1,3 miljard euro nodig heeft om 2012 voorbij te gaan. De upturn houdt in ieder geval tot halverwege 2014 aan. PvG /asml 2 Verkeer en vervoer Zonnegezinsauto TUE rijdt 875 km op één accu Onder een deels bewolkte lucht in Australië heeft de Stella-gezinsauto van de TUE 875 kilometer gereden zonder stroom bij te tanken. De wagen haalt zijn energie grotendeels uit de zonnecellen op het dak, maar heeft ook accu s. De verwachtingen gingen uit van maximaal achthonderd kilometer onder een wolkeloze hemel. NR /875km 3 Lithografie ASML haalt CFO van Western Digital Wolfgang Nickl wordt per 1 december de nieuwe financiële topman van ASML. Hij volgt Peter Wennink op, die afgelopen zomer is doorgeschoven naar de CEO-positie. Nickl is momenteel CFO bij Western Digital. Hij werkt al vanaf 1995 bij de hardeschijfproducent en vervulde sindsdien verschillende financiële en operationele managementfuncties. NR /nickl 4 Halfgeleiders NXP breidt uit in Singapore NXP vestigt zijn mondiale hoofdkwartieren voor standaardproducten en voor operations in Singapore. Ook breidt het zijn R&D-lab daar uit naar tachtig man en tilt het het R&Dbudget voor de komende vijf jaar naar zestig miljoen dollar. Ten slotte krijgt productiedochter SSMC een upgrade ter waarde van 125 miljoen dollar. PvG /nxp 5 Kwantumrekenen Twee katten in Schrödingers doos verraden wel informatie Onderzoekers van de TU Delft hebben een manier gevonden om kwantumtoestanden te bespieden en te manipuleren. Bij een Schrödinger-doos met dubbele inhoud kunnen ze bepalen of de twee katten dezelfde toestand hebben, zonder hun toestand te wijzigen. Dit opent de deur naar foutcorrectie en toestandsbehoud in kwantumcomputers. PvG /katten Foto: TUE/Bart van Overbeeke 9 9

10 Nieuws Lithografie EUV: nog een jaartje geduld a.u.b. Ondanks een nieuwe vertraging ligt ASML op koers om volgend jaar productiewaardige EUV-machines af te leveren, zegt CEO Peter Wennink. Voor de 10-nanometerchip is dat eigenlijk te laat. Paul van Gerven is here and it will happen. Met deze woorden sluit CEO Peter Wennink een video-interview af waarin EUV hij de derdekwartaalcijfers van en de recente ontwikkelingen bij ASML toelicht. Hoewel het bedrijf altijd zijn best heeft gedaan uit te stralen dat zorgenkindje EUV geen doodlopende weg zal blijken, zoals 157-nanometerlithografie tien jaar geleden, drukte het zijn zelfvertrouwen niet eerder zo uitgesproken uit. Niet iedereen deelt dat optimisme. In dit deel van de wereld, waar het is uitgevonden, werd EUV altijd al door een roze bril bekeken. Het is dus geen verrassing dat EUV een nogal zonnige plek toebedeeld kreeg in wat verder een gedetailleerde en gebalanceerde roadmap was, schrijft Rick Merritt van EE Times, verwijzend naar de presentatie die hij begin oktober bij ASML s partner Imec in Leuven bijwoonde. Dit was kort voor de Veldhovenaren hun driemaandelijkse update gaven. Toen die resultaten eenmaal waren gepubliceerd, werd de scepsis van Merritt en anderen ongetwijfeld verder aangewakkerd door een nieuwe vertraging. ASML had beloofd rond deze tijd een EUV-bron gereed te hebben met een vermogen van tachtig watt, maar die mijlpaal bleek enkele maanden te worden uitgesteld naar volgend jaar. En dat terwijl chipmakers eigenlijk eind dit jaar een beslissing zouden nemen over of, hoe en wanneer zij EUV-lithografie in gebruik zouden nemen. Populairder Er blijkt echter nog altijd geen reden tot paniek. Tijdens een teleconferentie met analisten benadrukte Wennink dat de oorzaak van de vertraging bij leveranciers van enkele kritieke componenten ligt en niet duidt op een fundamenteel probleem. Mijlpalen verderop op de roadmap, zoals de 125 watt bron goed voor zeventig wafers per uur (gepland in 2014) en uiteindelijk de 250 watt bron voor 125 wafers per uur (gepland in 2015), worden niet óók vooruitgeschoven. In de tweede plaats hebben ASML s klanten die EUV het hardst nodig hebben de fabrikanten van geavanceerde logic, met name de foundry s een tweeledige strategie ontwikkeld, die hen in staat stelt de beslissing over EUV toch weer zes tot negen maanden voor zich uit te schuiven. Zij hebben namelijk een manier gevonden om 10-nanometerchips te ontwerpen die zowel met immersie- als met EUV-lithografie kunnen worden gemaakt. Ongeacht of EUV op tijd komt, kunnen zij dus de ontwerpregels begin 2014 gereed hebben en alle voorbereidingen starten om in 2015 te gaan produceren. Deze groep klanten rekent erop de eerste series 10-nanometerchips met behulp van hun huidige werkpaard immersielithografie te moeten maken en indien mogelijk later alsnog op EUV over te stappen. Dat was althans de inschatting van hoofd procestechnologie An Steegen van Imec, in eerdergenoemde presentatie. Het was tot voor kort niet eens duidelijk of 10 nanometer met immersie een haalbare kaart was, maar dat blijkt wel het geval. Voor de meest complexe IC-lagen zal triple patterning moeten worden toegepast, dus drie belichtingen per laag. Om de pijn van dit soort kunstgrepen te verlichten, heeft ASML overigens zijn immersiescanners verbeterd. In het derde kwartaal verscheepte het de eerste NXT:1970CI, die op twee manieren is aangepast aan het multipatterningtijdperk. Met een doorvoersnelheid van 250 wafers per uur compenseert hij enigszins voor het onvermijdelijke verlies van productiviteit, en met een overlay van twee nanometer is hij in staat tot op twee nanometer nauwkeurig patronen over elkaar heen te leggen. Dat laatste is essentieel wanneer een laag in twee of meer stappen moet worden opgebouwd. ASML biedt daarnaast een uitgebreide suite van tools en software aan om de greep op het chipproductieproces te verstevigen. Nu de complexiteit daarvan blijft toenemen, verkopen dit soort aanvullende pro- Peter Wennink: ja, we zijn weer vertraagd, maar toch gaan we de deadline halen die telt. 10 9

11 ducten steeds beter. Zo heeft ASML inmiddels meer dan honderd Yieldstar-metrologietools aan de man gebracht, die feedback over cru ciale procesparameters voeren aan de scanner. De omzet uit dit soort producten groeit gestaag richting tien procent van het totaal. Tijdrovend Hoewel er dus een duur, maar tamelijk risicoarm pad naar de 10-nanometerchip is, is de beschikbaarheid van EUV op dat knooppunt desalniettemin buitengewoon gewenst. Een EUVscanner kan namelijk de driedubbele belichting in één keer doen, waardoor EUV wat kosten betreft zelfs bij een relatief lage doorvoersnelheid al als winnaar uit de bus komt. Het is dus aantrekkelijk om EUV zo snel mogelijk in te kunnen schuiven, maar er is nog een mogelijkheid, vertelde Steegen. Chipmakers zouden een EUV-tussennode van 9 nanometer kunnen creëren (het volgende officiële knooppunt is 7 nanometer). Met EUV kan het waferoppervlak efficiënter worden benut dan met immersie mogelijk is, maar dat vereist wel een redesign van de chips. Een en ander zal afhangen van de uiteindelijke timing van EUV en de animo voor de 10- of 9-nanometergeneratie. Wat lithografische prestaties betreft, hebben ASML en Imec voor EUV al laten zien aan de eisen van het 10-nanometerknooppunt te kunnen voldoen. Met Wenninks verzekering dat ASML op koers ligt om volgend jaar de beloofde zeventig wafers per uur te leveren en het jaar erop een upgrade naar 125 wafers per uur beschikbaar te stellen, lijken ook de productiviteitseisen afgedekt. Resteert de detectie en reparatie van foutjes in het EUV-masker, een andere potentiële showstopper. Bekend was al dat ASML en Imec werken aan een pellicle, een beschermend vliesje voor het masker dat stofjes afvangt. Aanvankelijk werd deze in de optische lithografie gebruikelijke technologie niet als geschikte oplossing voor EUV beschouwd, omdat bijna alle materialen EUV-straling absorberen. Toen alternatieven zich niet snel genoeg leken te ontwikkelen, heeft ASML alsnog een programma in werking gezet om een pellicle met negentig procent transmissie te ontwikkelen. Hoe het daarmee staat, is niet bekend. Mogelijk nog lastiger zijn defecten in de EUV-optiek, die bestaat uit uiterst secuur gestapelde nanolagen. Defecten kunnen dus zelfs onder het oppervlak zitten, verborgen voor alle bekende meetinstrumenten. Om te voorkomen dat met elk masker een tijdrovende print moet worden gedaan en deze print vervolgens uitgebreid moet worden gecontroleerd op defecten, willen chipmakers over een inspectietool kunnen beschikken. De ontwikkeling daarvan ligt niet bij ASML, maar dat meldt de afgelopen zes maanden een bemoedigende toename van activiteiten in het ecosysteem te zien. 40 years Committed to Excellence Consult Components Logistics Support Tel Rutrnik40 Jahre.indd :24:34